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多晶硅还原炉调功器调功方案及应用经验探讨 被引量:1
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作者 韩健伟 陈真生 +1 位作者 黄开均 陈杰 《工业控制计算机》 2012年第8期112-113,131,共3页
多晶硅是太阳能光伏产业和电子工业的基础原料,其发展前景光明。还原炉调功器是多晶硅生产的核心装置,对还原炉生产多晶硅的产品质量和单位能耗影响较大。阐述了多晶硅的生长原理和电气特性、调功器调功方案以及调功器在大型多晶硅生产... 多晶硅是太阳能光伏产业和电子工业的基础原料,其发展前景光明。还原炉调功器是多晶硅生产的核心装置,对还原炉生产多晶硅的产品质量和单位能耗影响较大。阐述了多晶硅的生长原理和电气特性、调功器调功方案以及调功器在大型多晶硅生产装置中的应用经验。 展开更多
关键词 还原炉调功器 调功方案 硅芯击穿 恒温加热
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