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题名硅芯炉托盘控制系统的设计与实现
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作者
雷小博
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机构
西安理工大学晶体生长设备研究所
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出处
《电子工业专用设备》
2007年第4期45-48,共4页
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文摘
在介绍硅芯炉籽晶托盘构成及工作原理的基础上,重点介绍了以单片机Aduc812为控制核心的控制系统,并对控制系统硬件设计和软件设计进行了详细分析。
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关键词
多晶硅
硅芯炉
籽晶托盘
控制系统
单片机
ADUC812
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Keywords
Polysilicon
Silicon core growing fumace
Seed crystal tray
The control system
Aduc812 single chip microcomputer
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分类号
TP273
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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题名浅谈高频干扰对硅芯炉的影响及防护措施
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作者
吴斌
姚婕
雷小博
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机构
西安理工晶体科技有限公司
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出处
《电子工业专用设备》
2012年第4期13-15,39,共4页
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文摘
高频电源是硅芯生产设备中的重要组成部分。目前硅芯炉都具备单炉次拉制多根硅芯的能力。与早期拉制单根设备相比需要母料的体积加大,直径不断加粗。母料体积越大,就越难熔化,因此高频电源都需要提高振荡频率来熔化更粗的母料。伴随着振荡频率增加高频噪声也相应增加。同时对硅芯炉电气控制柜及其内部的电气元件的干扰也就随之增大。主要分析高频噪声对硅芯炉运行产生的干扰及其原因和危害,同时针对这些干扰提出一些防护措施。
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关键词
高频电源
硅芯炉
高频噪声
防护措施
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Keywords
Silicon Core Furnace
High-frequency electrical noise
Protection ways
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分类号
TF806.9
[冶金工程—有色金属冶金]
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题名硅芯炉速度控制系统设计方案探讨
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作者
吴斌
畅行利
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机构
西安理工晶体科技有限公司
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出处
《电子工业专用设备》
2012年第2期5-8,47,共5页
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文摘
介绍了早期硅芯炉速度控制单元,此单元多采用直流伺服控制系统。由于其中间环节复杂,信号传输慢,易受干扰,长期使用稳定性差等问题,提出了几种速度控制系统改进方案。经实验验证,采用全数字交流伺服控制系统为最佳设计方案。
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关键词
硅芯炉
速度控制系统
设计方案
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Keywords
Silicon Core Furnace
Speed Control System
Design Scheme
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分类号
TF806.9
[冶金工程—有色金属冶金]
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题名新型硅芯晶体炉的开发与设计
被引量:3
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作者
董淑梅
李言
王建春
郑伟民
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机构
西安理工大学晶体生长设备研究所
西安理工大学机仪学院
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出处
《电子工业专用设备》
2005年第8期7-9,12,共4页
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文摘
从分析硅芯晶体生长的工艺特点出发,简要介绍了硅芯晶体生长设备的设计思想以及新近开发设计的新型硅芯晶体炉的机械结构及电气控制系统。
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关键词
硅芯炉
工艺特点
机械结构
电气控制
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Keywords
Silicon core furnace
Technique characteristic
Mechanical structure: Electric control
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分类号
TF806.9
[冶金工程—有色金属冶金]
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题名一次生长多根硅芯设备的结构设计
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作者
宋艳玲
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机构
西安理工晶体科技有限公司
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出处
《机电产品开发与创新》
2012年第4期70-71,61,共3页
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文摘
多晶硅是单晶硅生产中必不可少的主要原料,硅芯是多晶硅生产过程中生长多晶的载体。而硅芯炉,主要用于生产多晶硅载体-硅芯。硅芯炉是在惰性气氛下,以高频感应加热,采用区熔法生长硅芯的设备,可一次同时生长多根硅芯,一炉次生产多组硅芯的设备。该设备由机械部分、电气控制部分以及高频电源三大部分组成。论文只对机械结构部份论述,其结构由底座、槽路支架、下传动、炉室、过渡付室、提拉头、真空系统、充气系统、水路等部分构成。
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关键词
硅芯
多晶
硅芯炉
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Keywords
Silicon Core
Polysilicon
Silicon Core Furnace
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分类号
TB47
[一般工业技术—工业设计]
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