基于SiAlCN温度传感器的信号收发系统设计

硅铝碳氮(SiAlCN)温度传感器是一种由PDC高温陶瓷基制作而成的无线无源型传感器。本文在研究SiAlCN温度传感器物理特征的基础上,利用R&S公司的FSVA13频谱分析仪和ZNB40型号矢量网络分析仪,对SiAlCN温度传感器在不同温度条件下的S11等参数进行测量,获取传感器谐振频率与实时温度的耦合关系后,设计研发出一套由FPGA作为主控制器的基于SiAlCN温度传感器的信号收发系统用于恶劣环境中的温度参数测量。该系统将扫频信号通过波导以无线形式发射至传感器,测试传感器返回信号功率,建立传感器谐振频率与温度的关系,从而实现对环境温度的实时可观性。