期刊文献+
共找到18篇文章
< 1 >
每页显示 20 50 100
首个硅锗工艺制造的功率放大器
1
《电子元器件应用》 2002年第1期64-64,共1页
关键词 硅锗工艺 制造 功率放大器
下载PDF
基于锗硅BiCMOS工艺的射频带隙基准电流源设计 被引量:1
2
作者 孙楷添 丁星火 张甘英 《电子与封装》 2017年第6期23-26,共4页
射频电路偏置电流源对噪声的要求越来越高,引进的噪声不容忽视,带隙基准源在保证温漂系数的同时要求有较低的噪声。设计了一款不采用运放结构简单的射频带隙基准源电路,电源电压3.3 V,基准电压V_(REF)为3.14 V,采用PNP双极管和电阻,利... 射频电路偏置电流源对噪声的要求越来越高,引进的噪声不容忽视,带隙基准源在保证温漂系数的同时要求有较低的噪声。设计了一款不采用运放结构简单的射频带隙基准源电路,电源电压3.3 V,基准电压V_(REF)为3.14 V,采用PNP双极管和电阻,利用缓冲器负载实现输出DC点和输出摆幅不变,改善了温度系数并且降低了噪声。基于0.18μm SiGeBiCMOS工艺的仿真结果表明,在-55~125℃温度范围内,温漂系数为9.613×10^(-6)/℃;7.5 GHz频率下,100 kHz处噪声为6.164 nV/sqrt(Hz),总输出噪声低至2.08×10^(-6) V。 展开更多
关键词 工艺 射频 带隙基准 温漂系数 噪声
下载PDF
基于锗硅工艺的77GHz压控振荡器设计
3
作者 刘建峰 《电子世界》 2018年第17期150-151,共2页
车载毫米波传感器雷达是汽车高级辅助驾驶系统(ADAS)的重要组成部分,支持完成自适应巡航、盲点检测、车道切换辅助、防碰撞预警等功能。车载毫米波雷达一般采用线性调频体制,依靠高精度的频率源实现雷达的高分辨率。本文重点研究了线性... 车载毫米波传感器雷达是汽车高级辅助驾驶系统(ADAS)的重要组成部分,支持完成自适应巡航、盲点检测、车道切换辅助、防碰撞预警等功能。车载毫米波雷达一般采用线性调频体制,依靠高精度的频率源实现雷达的高分辨率。本文重点研究了线性调频频率源的核心模块——压控振荡器(VCO),基于锗硅0.13um BiCMOS工艺,进行了77GHz的VCO设计,仿真结果表明该VCO具有6GHz的调谐范围以及-92dBc/Hz@1MHz的相位噪声性能,满足车载毫米波雷达对频率源的带宽及噪声性能要求。 展开更多
关键词 压控振荡器 77GHz 工艺
下载PDF
28 nm锗硅工艺极微小颗粒缺陷监控方法与改善措施研究
4
作者 龙吟 范荣伟 罗兴华 《集成电路应用》 2019年第8期31-33,共3页
针对28 nm产品锗硅工艺产生的极微小颗粒缺陷,应用光学检测系统,探索了缺陷检测方法,建立缺陷的在线监控指标。据此建立缺陷失效模型和评估了缺陷的改善方案。对缺陷检测方法进行了系统的研究:通过热扫描检出缺陷样本,收集并分析缺陷样... 针对28 nm产品锗硅工艺产生的极微小颗粒缺陷,应用光学检测系统,探索了缺陷检测方法,建立缺陷的在线监控指标。据此建立缺陷失效模型和评估了缺陷的改善方案。对缺陷检测方法进行了系统的研究:通过热扫描检出缺陷样本,收集并分析缺陷样本在不同扫描条件组合下的信号噪声比,最终确定缺陷检测条件。根据工艺特性以及相关试验结果建立了缺陷失效模型,据此推导缺陷改善方向,并最终通过实验验证了改善措施的有效性。最终通过优化锗硅工艺前湿法清洗、优化锗硅工艺前氧化硅薄膜质量以及优化锗硅工艺选择比等条件,使缺陷问题得到解决。针对极微小颗粒缺陷的系统性研究,最终建立了有效的缺陷在线监控指标,为缺陷改善带来了便利,加快了先进制程的研发进度。 展开更多
关键词 集成电路制造 工艺 极微小颗粒缺陷 缺陷检测方法 28nm产品
下载PDF
锗硅工艺开发过程中的缺陷改善
5
作者 周海锋 高剑琴 +5 位作者 谭俊 黄秋铭 钟健 桑宁波 方精训 彭树根 《中国集成电路》 2015年第6期71-74,共4页
随着IC芯片特征尺寸进入45nm以后,锗硅(Si Ge)选择性外延工艺已成为不可或缺的关键性技术。虽然此技术可提升PMOS器件的性能,但其提升程度与器件中的缺陷息息相关。这些缺陷的产生不仅与外延工艺本身相关,也与工艺集成直接有关,会影响... 随着IC芯片特征尺寸进入45nm以后,锗硅(Si Ge)选择性外延工艺已成为不可或缺的关键性技术。虽然此技术可提升PMOS器件的性能,但其提升程度与器件中的缺陷息息相关。这些缺陷的产生不仅与外延工艺本身相关,也与工艺集成直接有关,会影响到后续多道工艺的缺陷检测,更会影响到器件的良率与可靠性。然而,关于此工艺在开发过程中遇到的常见性缺陷并未见相关报道。本文对这些常见性的缺陷进行归类并给出了产生的机理及相应的解决方案,为正在进行锗硅工艺开发的半导体公司和研究者们提供参考与指导。 展开更多
关键词 选择性外延工艺 缺陷 位错 残留缺陷 缺陷扫描
下载PDF
基于锗硅工艺0.01~2GHz低温低噪声放大器设计
6
作者 潘北军 张诚 +1 位作者 陆勤龙 宾峰 《低温与超导》 CAS 北大核心 2024年第8期17-22,共6页
低频超宽带低噪声放大器是低温超导测试系统中核心器件之一。本文采用锗硅异质结双极型晶体管,单电源两级放大电路结构,通过电阻负反馈电路设计,实现了一款频率范围为0.01~2 GHz的低温低噪声放大器,该放大器增益大于33 dB,输入输出回波... 低频超宽带低噪声放大器是低温超导测试系统中核心器件之一。本文采用锗硅异质结双极型晶体管,单电源两级放大电路结构,通过电阻负反馈电路设计,实现了一款频率范围为0.01~2 GHz的低温低噪声放大器,该放大器增益大于33 dB,输入输出回波损耗小于-10 dB,15 K测试环境中,平均噪声温度10 K,功耗15 mW。该放大器目前已应用于超导信号测试系统中,解决了低温超导测试中极微弱信号放大难题,提高了测试系统灵敏度和测试效率。 展开更多
关键词 低温 低噪声放大器 超导 工艺
原文传递
基于0.13-μm SiGe BiCMOS工艺的W波段T型布局功率放大器设计
7
作者 黄硕 程国枭 +1 位作者 康炜 吴文 《微波学报》 CSCD 北大核心 2023年第S01期152-155,共4页
本文提出了一种在W波段采用0.13-μm SiGe BiCMOS工艺的单端T型结构布局功率放大器。功率放大器由三级组成,每一级采用级联cascode结构设计。匹配链路中采用自主设计的MOM电容取代工艺中的MIM电容,从而减少MIM电容品质因素较低对输出性... 本文提出了一种在W波段采用0.13-μm SiGe BiCMOS工艺的单端T型结构布局功率放大器。功率放大器由三级组成,每一级采用级联cascode结构设计。匹配链路中采用自主设计的MOM电容取代工艺中的MIM电容,从而减少MIM电容品质因素较低对输出性能的影响。直流偏置采用自适应偏置电路降低输入信号功率的改变对晶体管偏置点的偏移程度。同时,为了减小晶体管布线的寄生效应,版图采用了T型布局。在88 GHz到104 GHz范围内EM仿真获得了至少18 dB的小信号增益,在94 GHz时达到峰值22.5 dB。同时,仿真得到的峰值功率附加效率和输出参考1 dB压缩点分别为7.6%和14.6 dBm。 展开更多
关键词 毫米波集成电路 功率放大器 工艺 T型布局
下载PDF
28nm栅极顶部锗硅冗余生长缺陷的优化分析
8
作者 冯奇艳 《集成电路应用》 2022年第8期32-34,共3页
阐述集成电路锗硅工艺中栅极顶部边缘锗硅冗余生长缺陷的产生机理,工艺流程改进,控制栅极氮化硅掩模层的残留量来解决该缺陷,探讨锗硅沟槽刻蚀的调整和调整栅极氮化硅掩模层厚度来增加栅极氮化硅掩模层的残留量,使栅极顶部边缘得以充分... 阐述集成电路锗硅工艺中栅极顶部边缘锗硅冗余生长缺陷的产生机理,工艺流程改进,控制栅极氮化硅掩模层的残留量来解决该缺陷,探讨锗硅沟槽刻蚀的调整和调整栅极氮化硅掩模层厚度来增加栅极氮化硅掩模层的残留量,使栅极顶部边缘得以充分保护,在锗硅外延工艺中不产生冗余生长物。 展开更多
关键词 集成电路制造 工艺缺陷 冗余生长 氮化残留量 栅极 栅极掩模层
下载PDF
基于SiGe BiCMOS的全集成射频功率放大器设计
9
作者 傅海鹏 项德才 《湖南大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第2期104-110,共7页
提出了一种基于SiGe BiCMOS工艺的适用于移动设备的紧凑全集成功率放大器.设计采用cascode驱动级与共发射极功率级级联以提高放大器的功率增益,片上集成CMOS电源以提供偏置电流,采用分布式的镇流电阻和具有热负反馈效果的偏置电路补偿... 提出了一种基于SiGe BiCMOS工艺的适用于移动设备的紧凑全集成功率放大器.设计采用cascode驱动级与共发射极功率级级联以提高放大器的功率增益,片上集成CMOS电源以提供偏置电流,采用分布式的镇流电阻和具有热负反馈效果的偏置电路补偿结温以防止放大器在高温工作时失效,并且采用一种紧凑的电路级的热耦合模型对所提出的热稳定措施进行仿真验证.后仿结果表明:PA在3.3 V供电下、2.4~2.5 GHz的工作范围内输出增益为32.5 dB,S11&S22<-10 dB,1 dB压缩点处的输出功率为25.4 dBm,在25℃的环境温度下最高结温小于65℃(饱和).芯片面积仅为1.25×0.76 mm^(2).测试结果表明:在-45~85℃的工作环境下,可以在增益要求为26.5~32.9 dB的应用中正常工作.1 dB压缩点处的输出功率为24.3 dBm.采用20 MHz 64-QAM OFDM信号测试,DEVM达到-30 dB的输出功率为18.1 dBm. 展开更多
关键词 功率放大器 异质结双极晶体管 工艺
下载PDF
SiGe HBT的Mextram 504模型温度参数提取与模型改进 被引量:2
10
作者 任铮 胡少坚 +2 位作者 蒋宾 王勇 赵宇航 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第5期960-964,共5页
针对IMEC0.13μm准自对准SiGe BiCMOS工艺制成的基区Ge组分二阶分布结构SiGe异质结双极晶体管,在25~125℃温度范围内,对其进行了包括Early电压,Gummel图形等在内的完整双极晶体管特性曲线测量,提取了该器件在25~125℃范围内的温... 针对IMEC0.13μm准自对准SiGe BiCMOS工艺制成的基区Ge组分二阶分布结构SiGe异质结双极晶体管,在25~125℃温度范围内,对其进行了包括Early电压,Gummel图形等在内的完整双极晶体管特性曲线测量,提取了该器件在25~125℃范围内的温度可变Mextram 504模型参数.在此基础上,为Mextram 504模型对0.13μm基区Ge组分二阶分布SiGe异质结双极晶体管探索了完整的模型提取方案.提出了对Mextram 504模型温度参数提取方法的改进,优化了提取流程.对SiGe异质结双极晶体管雪崩电流受温度影响的特性进行了讨论,为Mextram模型提出了雪崩外延层的有效厚度的温度变化经验公式和新的雪崩电流温度变化参数,提高了Mextram模型对不同温度下SiGe双极型晶体管进行模拟仿真的精确度. 展开更多
关键词 Mextram模型 0.13μm工艺 异质结双极晶体管 参数提取
下载PDF
Motorola智能动态时钟驱动器
11
《电子产品世界》 2003年第07A期75-76,共2页
关键词 Motorola公司 时钟驱动器 硅锗工艺 系统可靠性 MPC9893 技术参数 扇出缓冲器
下载PDF
满足低功耗需求BiCom-Ⅲ实现新一代应用
12
作者 James Karki 《电子测试(新电子)》 2004年第8期28-32,共5页
新一代无线应用、自动化测试与计量、医疗仪器及成像、便携式计算设备等都需要高性能模拟器件,而且对低功耗的要求越来越高。各公司均推出先进工艺技术以满足上述要求,如最近推出的第三代完全绝缘的补偿双极工艺BiCom-Ⅲ便是其中之一。
关键词 BiCom-Ⅲ 低功耗 模拟集成电路 电介质绝缘 硅锗工艺
下载PDF
摩托罗拉智能动态时钟驱动器系列
13
《世界电子元器件》 2003年第9期45-46,共2页
全新的硅锗时钟驱动器提供单片时钟生成和切换解决方案,有效提高计算。
关键词 摩托罗拉公司 智能动态时钟驱动器 冗余故障保护 硅锗工艺 MPC9893 MPC9894 MPC9993 时钟交换器 器件性能
下载PDF
一种新型自适应偏置线性功率放大器 被引量:3
14
作者 吴拓 陈弘毅 钱大宏 《微电子学与计算机》 CSCD 北大核心 2009年第11期5-8,共4页
为了改善常用电压偏置功率放大器对偏置电压、温度和工艺的敏感影响,提出了一种新型的低耦合自适应偏置电路结构,并采用改进的负载牵引仿真方法,通过在Jazz SiGe BiCMOS0.35μm工艺上的设计实现表明,最大线性功率可以有效地提高2dB,效... 为了改善常用电压偏置功率放大器对偏置电压、温度和工艺的敏感影响,提出了一种新型的低耦合自适应偏置电路结构,并采用改进的负载牵引仿真方法,通过在Jazz SiGe BiCMOS0.35μm工艺上的设计实现表明,最大线性功率可以有效地提高2dB,效率可以提高12.5%.工作在2.4GHz频段上的此功率放大器可以适用于蓝牙增强数据率模式和无线局域网802.11b/g等采用线性调制的发送端. 展开更多
关键词 线性功率放大器 自适应偏置 工艺 异质结双极型晶体管
下载PDF
一种低功耗245 GHz次谐波接收机 被引量:1
15
作者 毛燕飞 鄂世举 +1 位作者 SCHMALZ Klaus SCHEYTT J.Christoph 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2019年第6期739-744,共6页
介绍了一种应用于气体频谱分析传感器的低功耗245 GHz次谐波接收机,该接收机具有低功耗、高线性度和高集成度的特点.该接收机由四级共基极低噪声放大器、二次次谐波无源反接并联二极管对(APDP)混频器、120GHz推推型压控振荡器-分频器链... 介绍了一种应用于气体频谱分析传感器的低功耗245 GHz次谐波接收机,该接收机具有低功耗、高线性度和高集成度的特点.该接收机由四级共基极低噪声放大器、二次次谐波无源反接并联二极管对(APDP)混频器、120GHz推推型压控振荡器-分频器链路、120 GHz功率放大器和中频放大器构成,采用了特征频率为300 GHz、最大振荡频率为500 GHz的锗硅BiCMOS工艺实现.该接收机芯片实现了10.6 dB的转换增益和13 GHz的带宽,噪声系数为20 dB,输入1dB压缩点仿真结果为-9 dBm,接收机如果不包括120 GHz压控振荡器-功率放大器链路功耗为99.6 mW,接收机包括120 GHz压控振荡器-功率放大器链路功耗为312 mW. 展开更多
关键词 245 GHz 次谐波接收机 BiCMOS工艺 低功耗 共基极低噪声放大器 二次次谐波无源反接并联二极管对混频器 中频放大器
下载PDF
A 10 Gb/s laser diode driver in 0.35 μm SiGe BiCMOS technology
16
作者 吴松昌 冯军 +1 位作者 章丽 李伟 《Journal of Southeast University(English Edition)》 EI CAS 2009年第3期309-312,共4页
This paper discusses the design of a 10 Gb/s laser diode driver implemented in SiGe BiCMOS technology. The laser diode driver is composed of an input buffer, a predriver circuit and an output current switch stage. Wit... This paper discusses the design of a 10 Gb/s laser diode driver implemented in SiGe BiCMOS technology. The laser diode driver is composed of an input buffer, a predriver circuit and an output current switch stage. With the current mode logic (CML) structure, the input buffer and the predriver circuit have the capability of transmission and amplification of high speed data. By employing MOS-HBT cascode structure as the output stage, the laser diode driver exhibits very high speed and efficiency working at the 10 Gb/s data rate. The core circuit is operated under a 3. 3 V supply, while the output stage is operated under 5.5 V for sufficient headroom across the laser diode. The chip occupies a die area of 600 μm × 800μm. Measurements on chip show clear electrical eye diagrams over 10 Gb/s, which can well meet the specifications defined by SDH STM64/SONET OC192 and a 10 Gb/s Ethemet eye mask. Under a 5. 5 V supply voltage, the maximum output swing is 3.0 V with a 50 12 load (the corresponding modulation current is 60 mA), and the total power dissipation is 660 mW. 展开更多
关键词 laser diode driver MOS-HBT cascode SiCJe BiCMOS technology
下载PDF
一种改进LC匹配电路的Class-F射频功率放大器
17
作者 吴拓 陈弘毅 钱大宏 《微电子学与计算机》 CSCD 北大核心 2010年第1期165-168,共4页
为了改善传统F类射频功放LC输出匹配电路二阶阻抗不为零而造成的效率损害,提出了一种更加理想的新型LC输出匹配电路.根据双极型功放的特点,提出的新型LC输入匹配电路可以进一步提高输出效率.通过在Jazz SiGe BiCMOS 0.35μm工艺上的电... 为了改善传统F类射频功放LC输出匹配电路二阶阻抗不为零而造成的效率损害,提出了一种更加理想的新型LC输出匹配电路.根据双极型功放的特点,提出的新型LC输入匹配电路可以进一步提高输出效率.通过在Jazz SiGe BiCMOS 0.35μm工艺上的电路仿真设计表明,效率可以由63%增加到73%.工作在2.4 GHz频段上的此F类功率放大器可以适用于采用非线性调制的射频发送端. 展开更多
关键词 功率放大器 F类 工艺 异质结双极型晶体管
下载PDF
SiGe为3G无线通信提供技术支撑
18
作者 LouHutter 李应 《电子产品世界》 2004年第03A期42-43,共2页
关键词 3G 无线通信 SiGe0 工艺 BICMOS工艺 多媒体通信 互补工艺 CMOS晶体管 互补双极晶体管
下载PDF
上一页 1 下一页 到第
使用帮助 返回顶部