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基于硅隔离技术的耐高温压力传感器研究 被引量:8
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作者 赵玉龙 赵立波 蒋庄德 《西安交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第11期1156-1158,共3页
采用硅隔离SoI(SilicononInsulator)技术 ,应用高能氧离子的注入方法 ,在单晶硅材料中形成埋层二氧化硅 ,用以隔离作为测量电路的顶部硅层与体硅之间因温度升高而造成的漏电流 .采用梁膜结合的压力传递机构 ,将被测压力与SoI敏感元件隔... 采用硅隔离SoI(SilicononInsulator)技术 ,应用高能氧离子的注入方法 ,在单晶硅材料中形成埋层二氧化硅 ,用以隔离作为测量电路的顶部硅层与体硅之间因温度升高而造成的漏电流 .采用梁膜结合的压力传递机构 ,将被测压力与SoI敏感元件隔离开来 ,因此避免了被测压力的瞬时高温冲击 .给出了传感器的结构模型和实验数据 ,测试结果表明 ,这种新型结构的耐高压力传感器 ,具有较好的动静态特性 . 展开更多
关键词 硅隔离技术 耐高温压力传感器 压力传递机构 离子注入 敏感元件 压力测量
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耐高温硅隔离压阻力敏芯片的研究 被引量:1
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作者 赵立波 赵玉龙 +3 位作者 方续东 李建波 李勇 蒋庄德 《西安交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第9期59-63,92,共6页
采用微型机械电子系统技术制作出了具有高精度、高频响特点的耐高温硅隔离压阻力敏芯片.根据压阻力敏芯片的版图设计结构,基于弹性薄板小扰度弯曲理论计算分析了压阻力敏芯片的结构尺寸和固有频率.采用静电键合工艺将压阻力敏芯片封装... 采用微型机械电子系统技术制作出了具有高精度、高频响特点的耐高温硅隔离压阻力敏芯片.根据压阻力敏芯片的版图设计结构,基于弹性薄板小扰度弯曲理论计算分析了压阻力敏芯片的结构尺寸和固有频率.采用静电键合工艺将压阻力敏芯片封装在硼硅玻璃环上,形成倒杯式弹性敏感单元,通过有限元仿真分析了玻璃环对压阻力敏芯片性能的影响.根据温度实验数据及计算结果,得到压阻力敏芯片各温度点的热零点漂移的绝对值均小于0.02%FS·℃-1,说明该压阻力敏芯片的准确度等级优于0.1%FS·℃-1,且零点稳定性好. 展开更多
关键词 微型机械电子系统 硅隔离压阻力敏芯片 玻璃环
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基于硅隔离衬底的高深宽比微型杠杆机构研究
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作者 高建忠 赵玉龙 +2 位作者 蒋庄德 杨静 张奇功 《西安交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第9期1007-1010,1020,共5页
针对微机电系统微执行器输出位移小,不能满足实际工作需要的问题,设计了一种微型柔性杠杆位移放大机构,并用有限元方法对放大倍数及影响因素进行了分析.该机构不含任何旋转部件,利用单晶硅微梁的弹性变形来实现微位移的放大,采用深层反... 针对微机电系统微执行器输出位移小,不能满足实际工作需要的问题,设计了一种微型柔性杠杆位移放大机构,并用有限元方法对放大倍数及影响因素进行了分析.该机构不含任何旋转部件,利用单晶硅微梁的弹性变形来实现微位移的放大,采用深层反应离子刻蚀技术将整个机构制作在硅隔离衬底上,并把它置于40%的HF溶液中使其成功释放.对集成加工在同一衬底上的电热微执行器进行了性能测试,测试结果表明,在没有优化的条件下,加工的两级微型杠杆机构在14 V工作电压下的放大倍数为18.9倍,输出位移达到36μm,测试结果与仿真结果相吻合. 展开更多
关键词 微机电系统 微型杠杆机构 高深宽比 硅隔离衬底
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有机硅隔离涂层在海湾扇贝养成中减少生物污损的效能
4
《渔业现代化》 北大核心 2014年第1期72-72,共1页
Netminder是一种水性的硅胶隔离涂层,它在美同纽约州的一个大规模扇贝资源恢复计划中,在海湾扇贝的养成及越冬期间,对减少扇贝养成网笼的生物污损非常有效。与没有经过涂层处理的养殖网笼相比较,存采用涂层处理的养殖网笼中的扇贝... Netminder是一种水性的硅胶隔离涂层,它在美同纽约州的一个大规模扇贝资源恢复计划中,在海湾扇贝的养成及越冬期间,对减少扇贝养成网笼的生物污损非常有效。与没有经过涂层处理的养殖网笼相比较,存采用涂层处理的养殖网笼中的扇贝,可能南于其贝壳附着了更多的附生生物,存此后8个月出现了存活率下降的情况。 展开更多
关键词 海湾扇贝 涂层处理 生物污损 硅隔离 恢复计划 越冬期间 纽约州 网笼
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硅基MEMS悬臂梁支撑的离心驱动隔离装置 被引量:6
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作者 刘章 牛兰杰 +1 位作者 赵旭 范晨阳 《兵器装备工程学报》 CAS 北大核心 2018年第7期162-165,174,共5页
针对微小火工品与引信安全系统工作环境对隔离装置的需求,提出一种硅基MEMS悬臂梁支撑的离心驱动隔离装置。隔离装置由隔断滑块、悬臂梁支撑结构、卡头、卡槽、固定质量块组成。隔离装置能够与飞片起爆方式匹配,并能够满足引信安全系统... 针对微小火工品与引信安全系统工作环境对隔离装置的需求,提出一种硅基MEMS悬臂梁支撑的离心驱动隔离装置。隔离装置由隔断滑块、悬臂梁支撑结构、卡头、卡槽、固定质量块组成。隔离装置能够与飞片起爆方式匹配,并能够满足引信安全系统的工作环境要求。悬臂梁结构简单且悬臂梁与隔断滑块作为一个整体,省去装配环节。仿真结果表明,当转速5 000 r/min以上时,该隔离装置在离心过载的作用下解除隔离并锁定,使微装药与加速膛对正,且在12 m跌落过载与后坐过载下强度仍满足设计要求。 展开更多
关键词 引信安全系统 隔离装置 微小火工品匹配
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耐高温压阻力敏硅芯片及静电键合工艺
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作者 赵立波 赵玉龙 +4 位作者 热合曼.艾比布力 方续东 李建波 李勇 蒋庄德 《北京理工大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第10期1162-1167,共6页
采用微型机械电子系统(MEMS)技术制作出了平膜型硅隔离(SOI)耐高温压阻力敏硅芯片,采用静电键合工艺将该力敏硅芯片封装在硼硅玻璃环上,制作出倒杯式弹性敏感单元.分析了静电键合时力敏硅芯片与玻璃环的对准偏差对力敏硅芯片非线性的影... 采用微型机械电子系统(MEMS)技术制作出了平膜型硅隔离(SOI)耐高温压阻力敏硅芯片,采用静电键合工艺将该力敏硅芯片封装在硼硅玻璃环上,制作出倒杯式弹性敏感单元.分析了静电键合时力敏硅芯片与玻璃环的对准偏差对力敏硅芯片非线性的影响;实验验证了静电键合工艺对硅芯片温度性能的影响以及制作的耐高温压力传感器的性能.结果表明,对准偏差对硅芯片的非线性有较大影响;静电键合工艺对硅芯片的零位时漂和热零点漂移影响较小;制作的耐高温压力传感器具有优良的性能指标,能满足实际的工程应用需求. 展开更多
关键词 耐高温 压阻力敏芯片 硅隔离 静电键合 倒杯式
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一种新的深硅槽工艺技术
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作者 郑宜钧 王明善 +1 位作者 贾永华 洪海燕 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2001年第3期56-58,共3页
提出采用离子注入方法提高主掩膜光刻胶的耐干法腐蚀和腐蚀窗口磋的腐蚀速率,实现了在比较简陋的干法腐蚀设备上采用反应离子腐蚀模式进行深/浅硅槽工艺。
关键词 硅隔离 离子注入 光刻 腐蚀
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1μm宽硅深槽刻蚀技术 被引量:3
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作者 王清平 郭林 +2 位作者 刘兴凤 蔡永才 黄正学 《微电子学》 CAS CSCD 1996年第1期35-39,共5页
介绍了硅深槽刻蚀的基本原理和影响对蚀效果的几个主要工艺因素。提出了一种实现1μm宽的硅深槽刻蚀工艺途径;并给出了1μm宽、8μm深、侧壁及底部光洁的硅深糟刻蚀工艺条件。
关键词 反应离子刻蚀 深槽隔离 微电子器件 工艺
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基于SOI技术高温压力传感器的研制 被引量:11
9
作者 陈勇 郭方方 +3 位作者 白晓弘 卫亚明 程小莉 赵玉龙 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2014年第6期4-6,共3页
针对油气田等领域高温高压环境要求,介绍了一种高温压力传感器芯片的设计及研制,设计的高温压力传感器芯片解决了传统压阻式传感器在高温高压环境下的热稳定性问题。通过静电键合封装技术将耐高温SOI压阻芯片与玻璃片在真空环境下封装... 针对油气田等领域高温高压环境要求,介绍了一种高温压力传感器芯片的设计及研制,设计的高温压力传感器芯片解决了传统压阻式传感器在高温高压环境下的热稳定性问题。通过静电键合封装技术将耐高温SOI压阻芯片与玻璃片在真空环境下封装结合为一体,作为全硅结构的压力传感器的弹性敏感单元,解决高温环境下测量大量程压力的难题。同时,采用高温充硅油技术,用波纹片和高温硅油将被测量介质隔离开来,提高了传感器的适应能力。 展开更多
关键词 高温压力传感器 硅隔离 静电键合 波纹膜片 封装
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倒杯式耐高温高频响压阻式压力传感器 被引量:10
10
作者 赵立波 赵玉龙 +3 位作者 李建波 梁建强 李勇 蒋庄德 《西安交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第7期50-54,共5页
采用微型机械电子系统(MEMS)技术制作出了高精度、高灵敏度的硅隔离(SOI)倒杯式耐高温压阻力敏芯片,利用静电键合工艺将力敏芯片封装到玻璃环上,再通过玻璃浆料烧结工艺或高温胶黏剂将玻璃环装配到齐平式机械结构上,从而避免了管腔效应... 采用微型机械电子系统(MEMS)技术制作出了高精度、高灵敏度的硅隔离(SOI)倒杯式耐高温压阻力敏芯片,利用静电键合工艺将力敏芯片封装到玻璃环上,再通过玻璃浆料烧结工艺或高温胶黏剂将玻璃环装配到齐平式机械结构上,从而避免了管腔效应的影响,实现了耐高温高频响压阻式压力传感器的基本制作.通过有限元仿真和实验,分析了安装预紧力对传感器性能的影响,由传感器静态和动态实验得到传感器的精确度为±0.114%FS,动态响应频率为694.4kHz,均满足火工品爆破测试等高温高频动态压力测试的要求. 展开更多
关键词 微型机械电子系统 硅隔离倒杯式压阻力敏芯片 齐平式 预紧力
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基于SIMOX技术的高温压力传感器研制 被引量:3
11
作者 赵玉龙 赵立波 蒋庄德 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第2期149-151,共3页
应用氧离子注入 (Separation by Implantation of Oxygen) SIMOX技术 ,制作适合于高温环境条件下的固态压阻式硅隔离 (SOI)压力敏感元件。采用了一种新型梁膜结合封装工艺 ,有效地解决了被测压力高温冲击问题 ,可应用于航空、航天发动... 应用氧离子注入 (Separation by Implantation of Oxygen) SIMOX技术 ,制作适合于高温环境条件下的固态压阻式硅隔离 (SOI)压力敏感元件。采用了一种新型梁膜结合封装工艺 ,有效地解决了被测压力高温冲击问题 ,可应用于航空、航天发动机等恶劣环境下的压力测量。 展开更多
关键词 氧离子注入 SIMOX技术 高温压力传感器 研制 硅隔离 封装
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GaAs相关多普勒放大器的抗静电设计 被引量:1
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作者 纪新峰 李宏民 +2 位作者 胡丹 张红旗 张好军 《兵器装备工程学报》 CAS CSCD 北大核心 2021年第3期253-257,共5页
静电放电严重影响砷化镓器件的可靠性,为了提高砷化镓相关多普勒放大器(简称相关多放)的抗静电能力,设计了一种硅隔离和双二极管网络的抗静电保护电路;硅器件建立了敏感芯片核心区域和电压及电流的缓冲隔离,双向对称导通的双二极管网络... 静电放电严重影响砷化镓器件的可靠性,为了提高砷化镓相关多普勒放大器(简称相关多放)的抗静电能力,设计了一种硅隔离和双二极管网络的抗静电保护电路;硅器件建立了敏感芯片核心区域和电压及电流的缓冲隔离,双向对称导通的双二极管网络有利于泄放大电流;基于静电放电人体模型,运用静电模拟仪器对相关多放进行了模拟试验,并对其性能进行测试;结果表明:器件的抗静电能力从200 V提高到了1400 V,开关选通前后沿小于5 ns,开关延迟不大于10 ns,控制信号泄露不大于40 mV,开关输出幅度不小于1 V。抗静电能力改进后,模块的开关性能保持不变,雷达接收机增益和噪声一致。导弹系统试验证明,抗静电措施稳定、有效,提高了产品的可靠性。 展开更多
关键词 GaAs开关 静电释放 静电放电模型 静电防护 硅隔离 双二极管网络
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Novel Substrate pn Junction Isolation for RF Integrated Inductors on Silicon 被引量:5
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作者 刘畅 陈学良 严金龙 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第12期1486-1489,共4页
A new method for reducing the substrate rated losses of integrated spiral inductors is presented.The method is to block the eddy currents induced by spiral inductors by directly forming pn junction isolation in the S... A new method for reducing the substrate rated losses of integrated spiral inductors is presented.The method is to block the eddy currents induced by spiral inductors by directly forming pn junction isolation in the Si substrate. The substrate pn junction can be realized by using the standard silicon technologies without any additional processing steps.Integrated inductors on silicon are designed and fabricated. S parameters of the inductor based equivalent circuit are investigated and the inductor parameters are calculated.The impacts of the substrate pn junction isolation on the inductor quality factor are studied.The experimental results show that substrate pn junction isolation in certain depth has achieved a significant improvement.At 3GHz,the substrate pn junction isolation increases the inductor quality factor by 40%. 展开更多
关键词 Si integrated inductor quality factor eddy current pn junction isolation
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Fabrication of a solid superacid with temperature-regulated silica-isolated biochar nanosheets
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作者 Zengtian Chen Yuxue Xiao +8 位作者 Chao Zhang Zaihui Fu Ting Huang Qingfeng Li Yuanxiong Yao Shutao Xu Xiaoli Pan Wenhao Luo Changzhi Li 《Chinese Journal of Catalysis》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2020年第4期698-709,共12页
This paper reports a new strategy for the structural reconstruction of biomass carbon sulfonic acid(BCSA)to its solid superacid counterpart.In this approach,a cheap layered biomass carbon(BC)source is chemically exfol... This paper reports a new strategy for the structural reconstruction of biomass carbon sulfonic acid(BCSA)to its solid superacid counterpart.In this approach,a cheap layered biomass carbon(BC)source is chemically exfoliated by cetyltrimethyl ammonium bromide and then converted to silica-isolated carbon nanosheets(CNSs)by a series of conversion steps.The state of the silica-isolated CNSs and the stacking density of their nanoparticles are regulated by the dehydration temperature.Only the highly isolated and non-crosslinked CNSs with loose particle stacking structures obtained upon dehydration at 250℃ can be turned into superacid sites(with stronger acidity than that of 100%H2 SO4)after sulfonation.This is accompanied by the creation of abundant hierarchical slit pores with high external surface area,mainly driven by the strong hydrogen bonding interactions between the introduced sulfonic acid groups.In typical acid-catalyzed esterification,etherification,and hydrolysis reactions,the newly formed superacid exhibits superior catalytic activity and stability compared to those of common BCSA and commercial Amberlyst-15 catalysts,owing to its good structural stability,highly exposed stable superacidic sites,and abundance of mesoporous/macroporous channels with excellent mass transfer rate.This groundbreaking work not only provides a novel strategy for fabricating bio-based solid superacids,but also overcomes the drawbacks of BCSA,i.e.,unsatisfactory structural stability,acidity,and porosity. 展开更多
关键词 Biomass conversion Bio-based sulfonic acid Silica isolation Solid superacid Acid catalysis
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