基于硅MEMS腔体技术的微波带通滤波器

基于硅MEMS腔体技术的微波带通滤波器是微波通信系统中的关键器件。开发了一种利用硅MEMS腔体技术制作的微波带通滤波器。采用梳状结构四分之一波长谐振器级联形成微波带通滤波器,利用全波三维电磁场仿真设计软件进行了设计、建模、仿真和优化,并使用微机械加工(MEMS)工艺技术在高阻硅衬底上加工,形成滤波器。仿真和实测结果表明,硅MEMS腔体带通滤波器的尺寸仅为8 mm×4 mm×0.8 mm,质量不足0.1 g,并且所得仿真和实测性能结果一致性较好。与传统的金属矩形/圆形波导滤波器以及LC滤波器相比,硅MEMS腔体带通滤波器的体积和质量是前者的几百分之一。此外硅MEMS腔体带通滤波器还具有高抑制度、一致性好及易于集成等优点。