酸性条件下的CdSe波片抛光工艺研究

利用自然解理和X射线衍射仪对气相法制备的大尺寸CdSe单晶定向,并沿光轴方向切割出20 mm×20 mm×3 mm的CdSe波片初胚。采用酸性化学机械抛光方法对波片初胚进行表面处理,将5%溴甲醇与W0.25(粒度为0.25μm)的金刚石悬浮液按1∶10的体积比混合并用盐酸调节抛光液的pH值。结果表明:当抛光液pH=5时,样品表面平整划痕较少,粗糙度约为0.8 nm,平行度公差f=0.00275 mm,样品的红外透过率在2-20μm波段均达到65%-70%,其吸收系数在0.01~0.06

CdSe波片6~12μm波段增透膜研究

采用垂直无籽晶气相升华法生长出直径37 mm的优质硒化镉(CdSe)单晶体,并沿光轴方向切割出20 mm×20 mm×3 mm的CdSe波片初胚。经研磨和抛光,在2~20μm波段CdSe波片的红外透过率约为70%。为进一步提高波片的透过率,采用Essential-Macleod软件辅助设计方案,选用YF3和ZnS为双层增透膜材料,并获得最佳的膜系厚度。镀膜后的CdSe波片在6~12μm波段透过率达到90%,在10.5μm处的透过率最高,峰值高达99%。