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在烧结氧化中Se气氛对真空微电子平板摄像管CdSe靶面性能的影响 被引量:3
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作者 吕永积 邵佑军 +2 位作者 刘光诒 施化芬 罗运良 《液晶与显示》 CAS CSCD 2002年第3期189-192,共4页
CdSe是研制高灵敏真空微电子平板摄像管光导靶材材料 ,在CdSe靶材的结晶过程中Se气氛对形成完整的晶格结构起了至关重要的作用。介绍了精确控制Se气氛的实验装置和Se气氛对CdSe光导靶性能影响的实验结果。
关键词 烧结氧化 Se气氛 CdSe靶 真空微电子 平板摄像管 硒气氛 六角形结构 化镉靶 靶面材料 晶格结构
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