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功能薄膜火焰法沉积中硼化合物助剂的影响
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作者 贾毅 刘刚 +2 位作者 武晓峰 岳仁亮 陈运法 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2013年第S1期64-67,共4页
研究了不同添加量的硼助剂对火焰法沉积SiO2薄膜的形貌、结构及性能的影响。通过在含有硅和硼前驱物的同流扩散火焰上方沉积,获得了纳米结构的SiO2薄膜。SEM图像表明硼助剂导致了膜层颗粒物尺寸先增大后减小,薄膜沉积速率随着硼含量的... 研究了不同添加量的硼助剂对火焰法沉积SiO2薄膜的形貌、结构及性能的影响。通过在含有硅和硼前驱物的同流扩散火焰上方沉积,获得了纳米结构的SiO2薄膜。SEM图像表明硼助剂导致了膜层颗粒物尺寸先增大后减小,薄膜沉积速率随着硼含量的增加逐渐增加。AFM的纳米力学定量测量(QNM,Bruker)结果表明:多种硼助剂添加量下,沉积膜的力学性能均得到了明显的提升。沉积膜经疏水化处理后,其超疏水性能变化体现了表面形貌、结构的差异。本文初步探索了硼助剂对沉积膜形貌、结构及性能影响的机理。 展开更多
关键词 火焰法沉积 硼化合物助剂 超疏水 纳米力学
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