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功能薄膜火焰法沉积中硼化合物助剂的影响
1
作者
贾毅
刘刚
+2 位作者
武晓峰
岳仁亮
陈运法
《稀有金属材料与工程》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013年第S1期64-67,共4页
研究了不同添加量的硼助剂对火焰法沉积SiO2薄膜的形貌、结构及性能的影响。通过在含有硅和硼前驱物的同流扩散火焰上方沉积,获得了纳米结构的SiO2薄膜。SEM图像表明硼助剂导致了膜层颗粒物尺寸先增大后减小,薄膜沉积速率随着硼含量的...
研究了不同添加量的硼助剂对火焰法沉积SiO2薄膜的形貌、结构及性能的影响。通过在含有硅和硼前驱物的同流扩散火焰上方沉积,获得了纳米结构的SiO2薄膜。SEM图像表明硼助剂导致了膜层颗粒物尺寸先增大后减小,薄膜沉积速率随着硼含量的增加逐渐增加。AFM的纳米力学定量测量(QNM,Bruker)结果表明:多种硼助剂添加量下,沉积膜的力学性能均得到了明显的提升。沉积膜经疏水化处理后,其超疏水性能变化体现了表面形貌、结构的差异。本文初步探索了硼助剂对沉积膜形貌、结构及性能影响的机理。
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关键词
火焰法沉积
硼化合物助剂
超疏水
纳米力学
原文传递
题名
功能薄膜火焰法沉积中硼化合物助剂的影响
1
作者
贾毅
刘刚
武晓峰
岳仁亮
陈运法
机构
中国科学院过程工程研究所
多相复杂系统国家重点实验室
中国科学院大学
出处
《稀有金属材料与工程》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013年第S1期64-67,共4页
基金
中国科学院重大科研装备项目(YZ200722)
国家自然科学基金(NSFC)(51002154)
文摘
研究了不同添加量的硼助剂对火焰法沉积SiO2薄膜的形貌、结构及性能的影响。通过在含有硅和硼前驱物的同流扩散火焰上方沉积,获得了纳米结构的SiO2薄膜。SEM图像表明硼助剂导致了膜层颗粒物尺寸先增大后减小,薄膜沉积速率随着硼含量的增加逐渐增加。AFM的纳米力学定量测量(QNM,Bruker)结果表明:多种硼助剂添加量下,沉积膜的力学性能均得到了明显的提升。沉积膜经疏水化处理后,其超疏水性能变化体现了表面形貌、结构的差异。本文初步探索了硼助剂对沉积膜形貌、结构及性能影响的机理。
关键词
火焰法沉积
硼化合物助剂
超疏水
纳米力学
Keywords
flame deposition
boron compound additive
superhydrophobic
nanomechanical measurement
分类号
TB383.2 [一般工业技术—材料科学与工程]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
功能薄膜火焰法沉积中硼化合物助剂的影响
贾毅
刘刚
武晓峰
岳仁亮
陈运法
《稀有金属材料与工程》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013
0
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