管式炉扩散法制备20%效率的n型双面电池

采用一种管式扩散炉工艺制备了平均效率为20%的n型双面晶硅太阳电池。制得的n型双面晶硅电池峰值正面效率为20.30%、背面效率为17.59%。硼、磷扩散工艺分别在硼、磷高温管式扩散炉中实现,POCl_3气氛的高温扩散工艺沉积PSG/SiO_x层,BBr3气氛的高温扩散工艺沉积BSG/SiO_x层。电化学电容-电压法测试显示正面硼发射极没有受到POCl_3高温扩散的影响。采用电致发光测试方法研究了该n型双面电池的边缘漏电情况。该n型双面电池工艺制作流程采用常规的产线设备,适合大规模生产。