平板直流负偏压碰撞鞘层Child-Langmuir定律的拟合公式

采用流体动力学模型研究了离子与中性粒子的电荷交换碰撞效应对直流偏压鞘层厚度的影响。对于平板鞘层,结果表明随着碰撞参数的增大,鞘层厚度明显地变小。根据数值结果,给出了碰撞情况下的Child-Lang-muir定律的拟合式。研究了柱形和球形靶的靶半径对鞘层厚度的影响。