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铝合金表面电刷镀碱性铜镀层性能研究
被引量:
3
1
作者
黄元林
朱有利
+1 位作者
李华
马世宁
《热加工工艺》
CSCD
北大核心
2006年第6期22-24,共3页
通过刷镀特殊镍过渡层的方法,在铸铝基体上成功刷镀了较厚的碱性铜镀层,并对镀层的基本性能及摩擦学性能进行了测试和分析。结果表明,镀层厚度分布均匀、致密,镀层与基体界面清晰,未出现氧化物夹层, 镀层的韧性和结合强度均较好;测得碱...
通过刷镀特殊镍过渡层的方法,在铸铝基体上成功刷镀了较厚的碱性铜镀层,并对镀层的基本性能及摩擦学性能进行了测试和分析。结果表明,镀层厚度分布均匀、致密,镀层与基体界面清晰,未出现氧化物夹层, 镀层的韧性和结合强度均较好;测得碱性铜及铸铝基体的显微硬度分别为230.6、74.2HV0.5;碱性铜的镀制使基体表面显微硬度及耐磨性均提高了2倍多,磨损状况明显改善。铸铝电刷镀碱性铜技术可望在重型车辆变速箱轴承外套的磨损修复处理上得到推广应用。
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关键词
电刷镀
铸铝
碱性铜
摩擦学
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职称材料
碱性铜抛光液在65nm多层铜布线平坦化中的应用
被引量:
3
2
作者
刘玉岭
王辰伟
+1 位作者
牛新环
曹阳
《河北工业大学学报》
CAS
北大核心
2013年第1期1-5,共5页
为适应极大规模集成电路(GLSI)集成度按摩尔定律飞速发展的需要,同时解决国际酸性化学机械平坦化(CMP)技术存在的多项问题,本文研发了以多羟多胺为螯合剂的不含副作用大的苯并三唑(BTA)的碱性铜布线抛光液.实验结果表明:研发的碱性铜抛...
为适应极大规模集成电路(GLSI)集成度按摩尔定律飞速发展的需要,同时解决国际酸性化学机械平坦化(CMP)技术存在的多项问题,本文研发了以多羟多胺为螯合剂的不含副作用大的苯并三唑(BTA)的碱性铜布线抛光液.实验结果表明:研发的碱性铜抛光液在常态下对铜几乎不反应(20/min),而在常压(2 psi)CMP下,能够快速地去除铜膜,去除速率(RR)高达8 235/min(工业要求5 000/min).凹处自钝化,凸处快速率,实现了高的平坦化效率.8层铜布线平坦化结果表明,60s可消除约1.162 m的高低差,且单层图形片基本实现平坦化(高低差<10 nm),抛光后表面粗糙度低(0.178 nm),表面洁净度高.
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关键词
极大规模集成电路
碱性铜
抛光液
化学机械平坦化
速率
高低差
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职称材料
碱性铜粗抛液中各组分对铜去除速率的影响
被引量:
5
3
作者
王月霞
刘玉岭
+1 位作者
王辰伟
闫辰奇
《微纳电子技术》
CAS
北大核心
2015年第8期526-530,共5页
针对不含腐蚀抑制剂苯并三唑(BTA)的碱性铜粗抛(P1)液,研究各成分对铜膜去除速率的影响,选出一种合适的具有高速率的碱性铜粗抛液。实验结果表明:当SiO2磨料体积分数为0.25%、螯合剂(FA/OⅡ)体积分数为0.3%、氧化剂体积分数为0.05%、非...
针对不含腐蚀抑制剂苯并三唑(BTA)的碱性铜粗抛(P1)液,研究各成分对铜膜去除速率的影响,选出一种合适的具有高速率的碱性铜粗抛液。实验结果表明:当SiO2磨料体积分数为0.25%、螯合剂(FA/OⅡ)体积分数为0.3%、氧化剂体积分数为0.05%、非离子表面活性剂体积分数为0.3%时,此抛光液铜膜去除速率为602.364 nm/min,达到了工业去除速率的要求,对3英寸(1英寸=2.54 cm)铜膜表面的形貌具有较好的改善作用。
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关键词
碱性铜
粗抛液
化学机械抛光(CMP)
去除速率
磨料
螯合剂
氧化剂
表面活性剂
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职称材料
碱性铜抛光液在CMP工艺中的性能评估
被引量:
3
4
作者
袁浩博
刘玉岭
+2 位作者
蒋勐婷
刘伟娟
陈国栋
《微纳电子技术》
CAS
北大核心
2014年第6期404-408,共5页
研究了一种碱性铜抛光液,其基本组分是硅溶胶磨料、新型FA/O V型螯合剂、非离子表面活性剂和氧化剂(H2O2)。在压力为2 psi(1 psi=6.895 kPa)、抛头转速与抛盘转速分别为97和103 r/min、流量为300 mL/min的条件下,分析了铜膜去除速率随...
研究了一种碱性铜抛光液,其基本组分是硅溶胶磨料、新型FA/O V型螯合剂、非离子表面活性剂和氧化剂(H2O2)。在压力为2 psi(1 psi=6.895 kPa)、抛头转速与抛盘转速分别为97和103 r/min、流量为300 mL/min的条件下,分析了铜膜去除速率随着螯合剂和氧化剂体积分数增加的作用规律。结果表明,加入体积分数2%的螯合剂和体积分数3%的氧化剂时,抛光液具有较好的自钝化能力和较高的铜膜去除速率。同时,研究了工艺参数在抛光过程中对去除速率和片内非均匀性(WIWNU)的影响,平坦化实验的抛光工艺选择压力1.5 psi、抛头和抛盘转速分别为87和93 r/min、流量300 mL/min。实验结果表明:此种抛光液在上述工艺条件下,抛光结束时剩余高低差为63.7 nm,具有较好的平坦化效果,对抛光液商业化提供了参考价值。
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关键词
碱性铜
抛光液
去除速率
片内非均匀性(WIWNU)
高低差
平坦化
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职称材料
碱性铜锡合金镀液中氰化亚铜含量的自动电位滴定
5
作者
丘山
丘星初
+1 位作者
曾家民
丘圣
《涂装与电镀》
2011年第1期38-39,47,共3页
研究了用自动电位滴定测定碱性铜锡合金镀液中氰化亚铜的条件和方法。实验结果表明,与以淀粉为指示剂的硫代硫酸钠滴定法相比,节约了化学试剂的消耗,提高了分析的准确度和精密度,而且方法简便快捷,能在4min以内打印出分析结果。
关键词
氰化亚
铜
测定
自动电位滴定法
碱性铜
锡合金镀液
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职称材料
亚铜盐催化碱性水解法合成氟代苯酚及其工艺优化
6
作者
窦杰
杨俊伟
+3 位作者
李程碑
杭磊
李浩
陈国珍
《应用化工》
CAS
CSCD
北大核心
2017年第2期152-156,共5页
1-卤代氟苯在亚铜盐催化下发生碱性水解反应,生成氟代苯酚,以单因素结合正交实验,对合成工艺进行优化。结果表明,合成五氟苯酚的最佳工艺条件为:全氟苯93.0 g(0.5 mol),Raney Ni 5.0 g,Cu2O 7.5 g,90%工业KOH 65.0 g,水200 g,环丁砜60.0...
1-卤代氟苯在亚铜盐催化下发生碱性水解反应,生成氟代苯酚,以单因素结合正交实验,对合成工艺进行优化。结果表明,合成五氟苯酚的最佳工艺条件为:全氟苯93.0 g(0.5 mol),Raney Ni 5.0 g,Cu2O 7.5 g,90%工业KOH 65.0 g,水200 g,环丁砜60.0 g,转速500 r/min,120℃反应8 h,收率达到80.0%。经过非均相反应、脱色、除氟、分子精馏等工艺,五氟苯酚达到质量标准:含量≥99.8%,单杂含量≤0.1%,掉氟物≤0.01%,水分≤100 mg/kg,溶剂残留≤100 mg/kg,符合液晶中间体和医药中间体的质量要求。
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关键词
氟代苯酚
亚
铜
盐催化
碱性
水解
工艺优化
检测方法
质量标准
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职称材料
二溴对甲基偶氮磺光度法快速测定碱性化学镀铜液中的微量铅
7
作者
陈丽萍
邵谦
《材料保护》
CAS
CSCD
北大核心
2013年第12期67-69,9,共3页
由于大量铜离子的干扰,目前常用的Pb2+含量测试法不能准确测定化学镀铜液中的Pb2+含量。基于酸性条件下Pb2+与二溴对甲基偶氮磺反应生成的蓝色配合物在630am波长处有最大吸收的特性,采用分光光度法对碱性镀铜液中的Pb2+含量进行...
由于大量铜离子的干扰,目前常用的Pb2+含量测试法不能准确测定化学镀铜液中的Pb2+含量。基于酸性条件下Pb2+与二溴对甲基偶氮磺反应生成的蓝色配合物在630am波长处有最大吸收的特性,采用分光光度法对碱性镀铜液中的Pb2+含量进行了测定,并对各测试条件进行了优选,绘制了标准曲线,对化学镀铜液进行了测试及加标回收试验。结果表明:化学镀铜液中Pb2+含量在0—30μg/25mL内符合比耳定律,摩尔吸光系数为7.99×104IM(mol·ClTI),测量相对标准偏差为1.89%,回收率分别为99.6%和101.4%。
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关键词
微量Pb2+测定
分光光度法
碱性
化学镀
铜
液
二溴对甲基偶氮磺
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职称材料
紫外分光光度法测定碱性化学镀铜溶液中的乙醛酸含量
被引量:
1
8
作者
张建刚
冯立明
袁志鹏
《材料保护》
CAS
CSCD
北大核心
2013年第12期63-66,9,共4页
准确测定化学镀铜液中还原剂乙醛酸含量至关重。利用醛基与盐酸羟胺加成生成肟的特征反应,采用紫外分光光度法测定碱性化学镀铜溶液中乙醛酸的含量,研究了化学镀铜溶液中各组分、副产物及测定条件(pH值、温度、放置时间、盐酸羟胺用...
准确测定化学镀铜液中还原剂乙醛酸含量至关重。利用醛基与盐酸羟胺加成生成肟的特征反应,采用紫外分光光度法测定碱性化学镀铜溶液中乙醛酸的含量,研究了化学镀铜溶液中各组分、副产物及测定条件(pH值、温度、放置时间、盐酸羟胺用量)对测定结果的影响。结果表明:测试方法及最优条件为取镀液O.5mL于50mL比色管中,加入2g/L盐酸羟胺3mL,调整pH值至4,于50cc水浴中加热20min,冷却后定容,以稀释100倍、pH值与待测液相同、不合还原剂的化学镀铜基础液为参比,入射波长为230nm,室温下2h内测定吸光度;当镀铜溶液稀释液中乙醛酸浓度为0.025—0.060g/L时,其浓度与吸光度呈良好的线性关系,线性回归方程为Y=14.26x+0.0204,线性相关系数r=0.9982(n=5);测量的平均回收率达99.2%,平均标准差为0.135%。
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关键词
含量测定
乙醛酸
盐酸羟胺
肟化反应
紫外分光光度法
碱性
化学镀
铜
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职称材料
碱性酒石酸铜比色法快速测定硫酸庆大霉素注射液含量
被引量:
3
9
作者
何树华
《中国医院药学杂志》
CAS
CSCD
北大核心
1989年第10期463-464,共2页
药典规定,硫酸庆大霉素注射液的含量应为其标示量的90.0~100.0%,若以成人每日剂量160mg 计,则实际给药剂量的波动范围为144~176mg。庆大霉素属临床监控的药物。
关键词
碱性
酒石酸
铜
庆大霉素
含量
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职称材料
碱性酒石酸铜溶液对还原糖测定的影响
被引量:
4
10
作者
李建新
李诗华
+1 位作者
卿太辉
李超银
《食品安全质量检测学报》
CAS
2020年第1期95-98,共4页
目的考察不同厂家试剂配制的碱性酒石酸铜溶液对还原糖测定的影响,确保还原糖检测的准确性。方法用不同厂家(各3个)的亚铁氰化钾、酒石酸钾钠、氢氧化钠、硫酸铜、亚甲基蓝,配制成酒石酸铜甲液、酒石酸铜乙液,考察其对检测结果的影响,...
目的考察不同厂家试剂配制的碱性酒石酸铜溶液对还原糖测定的影响,确保还原糖检测的准确性。方法用不同厂家(各3个)的亚铁氰化钾、酒石酸钾钠、氢氧化钠、硫酸铜、亚甲基蓝,配制成酒石酸铜甲液、酒石酸铜乙液,考察其对检测结果的影响,分析检测结果是否满足t检验的要求。再选取不满足t检验要求的试剂,用多个厂家的该试剂进行对比,考察其准确度是否满足要求。结果酒石酸钾钠是唯一一个对检测影响较大的试剂,6个厂家的酒石酸钾钠只有一个厂家满足准确度要求。结论由于不同厂家的酒石酸钾钠对还原糖的检测结果有较大的影响,而且不是所有厂家的准确度都能够满足要求,因此在使用前,要对酒石酸钾钠进行验收,确保所用试剂的检测结果满足准确度要求,从而保证还原糖检测的准确度。
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关键词
碱性
酒石酸
铜
溶液
酒石酸钾钠
还原糖
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职称材料
碱性含铜蚀刻废液再生处理及回收铜技术研究现状与发展趋势
被引量:
7
11
作者
刘后传
李丽敏
+4 位作者
吕照辉
李嘉琪
戚健剑
汤宇峰
于少明
《山东化工》
CAS
2021年第3期68-69,71,共3页
介绍了碱性蚀刻液的蚀刻机理、蚀刻废液的产生;综述了碱性含铜蚀刻废液再生方法及回收铜的工艺过程、技术特点和产品质量;简介了碱性含铜蚀刻废液再生处理及回收铜技术的发展趋势等。
关键词
碱性
含
铜
蚀刻废液
再生处理
循环利用
铜
的回收
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职称材料
碱性含铜废水治理工艺
被引量:
2
12
作者
滕农
《电力环境保护》
1995年第4期29-32,共4页
本文提出了工业废水闭路循环工艺流程,用絮凝沉淀法定期处理碱性含铜废水,处理后水质符合污水综合排放标准。该处理系统具有投资少、运行费用低,并能回收金属铜粉等特点。
关键词
碱性
含
铜
废水
闭路循水
絮凝
沉淀
废水处理
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职称材料
H_2O_2在精抛过程中对铜布线平坦化的影响
被引量:
3
13
作者
曹阳
刘玉岭
王辰伟
《功能材料》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014年第B06期48-51,56,共5页
采用自主研发的碱性铜抛光液,使用前稀释50倍加入不同剂量H2O2配制成碱性铜精抛液。实验结果表明,随着H2O2含量的增加,铜的静态腐蚀速率(CuDR)、抛光速率(CuPR)以及阻挡层Ta/TaN均有小幅度的降低,但在MIT854布线片上精抛实验结果表明,...
采用自主研发的碱性铜抛光液,使用前稀释50倍加入不同剂量H2O2配制成碱性铜精抛液。实验结果表明,随着H2O2含量的增加,铜的静态腐蚀速率(CuDR)、抛光速率(CuPR)以及阻挡层Ta/TaN均有小幅度的降低,但在MIT854布线片上精抛实验结果表明,碟形坑随着H2O2含量的增加逐渐降低,加入5%(体积分数)H2O2的精抛液,在粗抛实现初步平坦化后,精抛去除残余铜的过程中,能够实现不同线条尺寸的完全平坦化,碟形坑在工业要求范围内。研究结果表明,H2O2含量的增加对速率影响不明显,但有利于铜布线片的平坦化。此规律对提高CMP全局平坦化具有极重要的作用。
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关键词
化学机械平坦化
碱性铜
精抛液
双氧水
碟形坑
残余
铜
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职称材料
ABS塑料电镀铜工艺的研究
14
作者
陈尔跃
杨子
韩成利
《电镀与精饰》
CAS
北大核心
2013年第5期39-42,共4页
用乙二醛取代甲醛作为还原剂在ABS塑料上化学预镀铜,然后在碱式碳酸铜为主盐的碱性镀铜液电镀。研究了电镀液组成、pH对镀层结构的影响。最佳镀铜工艺为27g/L KNaC4H4O6、25 g/L CuCO3.Cu(OH)2.H2O、250 g/L C6H8O7、10g/L NaHCO3,pH为8...
用乙二醛取代甲醛作为还原剂在ABS塑料上化学预镀铜,然后在碱式碳酸铜为主盐的碱性镀铜液电镀。研究了电镀液组成、pH对镀层结构的影响。最佳镀铜工艺为27g/L KNaC4H4O6、25 g/L CuCO3.Cu(OH)2.H2O、250 g/L C6H8O7、10g/L NaHCO3,pH为8.5,Jκ为1.0A/dm2,t为30min。采用电子扫描电镜观察和X-射线衍射仪分析表征镀层具有单质铜的特征,镀层均匀、致密。结果表明碱性镀液可以有效地保护化学预镀层。
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关键词
ABS塑料
化学镀
铜
碱性
电镀
铜
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职称材料
镀铜材料、其制造方法及镀铜的方法
15
《电镀与涂饰》
CAS
CSCD
2002年第4期68-68,共1页
关键词
镀
铜
材料
制造方法
镀
铜
方法
鹤见曹达株式会社
日本神奈川
碱性
碳酸
铜
热分解
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职称材料
以锌铁合金为节镍镀层的装饰镀铬工艺
被引量:
3
16
作者
曾祥德
《五金科技》
2006年第1期53-56,共4页
锌铁合金从镀层铁含量分,有低铁和高铁两工艺。介绍低铁工艺用于Cu/Cu/Ni/G或Cu/Ni/Cr的节镍镀层,需将原工艺调整为低铁Zn-Fe/碱铜/Ni/Or的组合镀层:高铁工艺用于半光亮镍/高硫镍/亮镍/铬。需调整为高铁Zn-Fe中性Ni/光...
锌铁合金从镀层铁含量分,有低铁和高铁两工艺。介绍低铁工艺用于Cu/Cu/Ni/G或Cu/Ni/Cr的节镍镀层,需将原工艺调整为低铁Zn-Fe/碱铜/Ni/Or的组合镀层:高铁工艺用于半光亮镍/高硫镍/亮镍/铬。需调整为高铁Zn-Fe中性Ni/光亮Ni/Cr的组合镀层。节镍工艺最大特点,锌铁合金为厚镀层(20~30um)其余为薄镀层Cu/Ni/Cr3、5um;三镍铬为10um。Zn-Fe合金除自身的防护性能优异外,加之又是阳极镀层,对基体起机械与电化学双重保护,从而延缓了基体的腐蚀进程。
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关键词
节镍工艺
锌铁合金
碱性铜
中性镍
亮镍亮铬
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职称材料
不锈钢表面油潜指印的高对比度显现技术研究
被引量:
4
17
作者
张晓顺
张开悦
+1 位作者
肖伟
刘建国
《电镀与涂饰》
CAS
CSCD
北大核心
2019年第15期771-776,共6页
通过实验探讨了将化学镀银、电镀铜、碱性化学镀铜及酸性化学镀铜技术用于显现不锈钢表面油潜指印的可行性,发现只有酸性化学镀铜能获得高对比度的显现效果。考察了酸性化学镀铜时间和温度对显现效果的影响。结果表明,对于以硫酸铜为主...
通过实验探讨了将化学镀银、电镀铜、碱性化学镀铜及酸性化学镀铜技术用于显现不锈钢表面油潜指印的可行性,发现只有酸性化学镀铜能获得高对比度的显现效果。考察了酸性化学镀铜时间和温度对显现效果的影响。结果表明,对于以硫酸铜为主盐,N?羟乙基乙二胺三乙酸为配位剂,次磷酸钠为还原剂的酸性化学镀铜溶液,在70°C下反应300 s时显现效果最佳。
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关键词
不锈钢
油潜指印
碱性
化学镀
铜
显现
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职称材料
快速比色法测定硫酸新霉素滴眼剂的含量
被引量:
2
18
作者
何梅凤
吴伟
+1 位作者
王延东
唐细兰
《药品评价》
CAS
2006年第3期202-203,共2页
目的建立快速测定硫酸新霉素滴眼剂含量的方法。方法根据新霉素在碱性条件下能与Cu2+形成蓝色复合物,并有稳定的光吸收的原理,采用比色法测定硫酸新霉素滴眼剂含量,检测波长为594nm。结果新霉素在0.10万u~0.60万u/ml浓度范围内吸收度...
目的建立快速测定硫酸新霉素滴眼剂含量的方法。方法根据新霉素在碱性条件下能与Cu2+形成蓝色复合物,并有稳定的光吸收的原理,采用比色法测定硫酸新霉素滴眼剂含量,检测波长为594nm。结果新霉素在0.10万u~0.60万u/ml浓度范围内吸收度与浓度呈良好的线性关系,相关系数r=0.9998,平均回收率为100.67%,RSD为0.74%。结论本方法简单、快速、准确、重现性好,适合于产品中间体的质量控制和医院制剂的快速分析。
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关键词
硫酸新霉素滴眼液
比色法
含量
碱性
酒石酸
铜
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职称材料
食品中还原糖含量测定的探讨
19
作者
王斐
朱琳
《创新科技》
2014年第16期100-100,共1页
食品中含有大量还原糖,还原糖的测定方法有很多,如碱性铜盐法,酚硫酸法,铁氰化钾法,3,5-二硝基水杨酸比色法,酶-比色法等。本文主要论述这几种方法以及它们各自的特点与适用范围。
关键词
碱性铜
盐法
酚-硫酸法
铁氰化钾法
3
5-二硝基水杨酸比色法
酶-比色法
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职称材料
吃火锅的六要六不要
20
作者
李惠明
《家庭医学(上半月)》
2001年第11期32-32,共1页
火锅味美简单方便,经济实惠。亲朋相聚,围桌而谈,热闹温馨,老少皆宜。但操作不当,食物不洁,有损于身体,甚至危及生命,必须防范于未然。 一要火“旺”不要引发火灾 传统的火锅通常是金属制成的用具,锅中央有炉膛,置炭火。现有不少是用酒...
火锅味美简单方便,经济实惠。亲朋相聚,围桌而谈,热闹温馨,老少皆宜。但操作不当,食物不洁,有损于身体,甚至危及生命,必须防范于未然。 一要火“旺”不要引发火灾 传统的火锅通常是金属制成的用具,锅中央有炉膛,置炭火。现有不少是用酒精、石油液化气等作燃料,还有电火锅。但无论怎么变,它都离不开“火”。近几年因用酒精火锅在加酒精时引起火灾,头面部烧伤者屡见报端。吃火锅时防火意识不可少。
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关键词
石油液化气
一氧化碳中毒
胃十二指肠溃疡
室内空气
六要
老年性痴呆
头面部
老少皆宜
碱性
碳酸
铜
慢性胃炎
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职称材料
题名
铝合金表面电刷镀碱性铜镀层性能研究
被引量:
3
1
作者
黄元林
朱有利
李华
马世宁
机构
装甲兵工程学院装备再制造技术国防科技重点实验室
装甲兵工程学院基础部理化室
出处
《热加工工艺》
CSCD
北大核心
2006年第6期22-24,共3页
文摘
通过刷镀特殊镍过渡层的方法,在铸铝基体上成功刷镀了较厚的碱性铜镀层,并对镀层的基本性能及摩擦学性能进行了测试和分析。结果表明,镀层厚度分布均匀、致密,镀层与基体界面清晰,未出现氧化物夹层, 镀层的韧性和结合强度均较好;测得碱性铜及铸铝基体的显微硬度分别为230.6、74.2HV0.5;碱性铜的镀制使基体表面显微硬度及耐磨性均提高了2倍多,磨损状况明显改善。铸铝电刷镀碱性铜技术可望在重型车辆变速箱轴承外套的磨损修复处理上得到推广应用。
关键词
电刷镀
铸铝
碱性铜
摩擦学
Keywords
brush plating
cast aluminium
alkaline copper
tribology
分类号
TG174.444 [金属学及工艺—金属表面处理]
下载PDF
职称材料
题名
碱性铜抛光液在65nm多层铜布线平坦化中的应用
被引量:
3
2
作者
刘玉岭
王辰伟
牛新环
曹阳
机构
河北工业大学微电子技术与材料研究所
出处
《河北工业大学学报》
CAS
北大核心
2013年第1期1-5,共5页
基金
国家中长期发展规划重大科技专项(2009ZX02308)
天津市自然科学基金重点项目(10JCZDJC15500)
文摘
为适应极大规模集成电路(GLSI)集成度按摩尔定律飞速发展的需要,同时解决国际酸性化学机械平坦化(CMP)技术存在的多项问题,本文研发了以多羟多胺为螯合剂的不含副作用大的苯并三唑(BTA)的碱性铜布线抛光液.实验结果表明:研发的碱性铜抛光液在常态下对铜几乎不反应(20/min),而在常压(2 psi)CMP下,能够快速地去除铜膜,去除速率(RR)高达8 235/min(工业要求5 000/min).凹处自钝化,凸处快速率,实现了高的平坦化效率.8层铜布线平坦化结果表明,60s可消除约1.162 m的高低差,且单层图形片基本实现平坦化(高低差<10 nm),抛光后表面粗糙度低(0.178 nm),表面洁净度高.
关键词
极大规模集成电路
碱性铜
抛光液
化学机械平坦化
速率
高低差
Keywords
giantic large scale integrated circult(GLSI)
alkaline copper waring slurry
chemical mechanical plan arization(CMP)
removal rate
step height reduction(SHR)
分类号
TN305.2 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
碱性铜粗抛液中各组分对铜去除速率的影响
被引量:
5
3
作者
王月霞
刘玉岭
王辰伟
闫辰奇
机构
河北工业大学微电子研究所
出处
《微纳电子技术》
CAS
北大核心
2015年第8期526-530,共5页
基金
国家中长期科技发展规划02科技重大专项(2009ZX02308)
河北省自然科学基金资助项目(E2013202247
+2 种基金
F2012202094)
河北省教育厅资助项目(QN2014208)
河北省青年自然科学基金资助项目(F2015202267)
文摘
针对不含腐蚀抑制剂苯并三唑(BTA)的碱性铜粗抛(P1)液,研究各成分对铜膜去除速率的影响,选出一种合适的具有高速率的碱性铜粗抛液。实验结果表明:当SiO2磨料体积分数为0.25%、螯合剂(FA/OⅡ)体积分数为0.3%、氧化剂体积分数为0.05%、非离子表面活性剂体积分数为0.3%时,此抛光液铜膜去除速率为602.364 nm/min,达到了工业去除速率的要求,对3英寸(1英寸=2.54 cm)铜膜表面的形貌具有较好的改善作用。
关键词
碱性铜
粗抛液
化学机械抛光(CMP)
去除速率
磨料
螯合剂
氧化剂
表面活性剂
Keywords
alkaline copper fast polishing slurry
chemical mechanical polishing (CMP)
removalrate
abrasive
chelating agent
oxidant
surfactant
分类号
TN305.2 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
碱性铜抛光液在CMP工艺中的性能评估
被引量:
3
4
作者
袁浩博
刘玉岭
蒋勐婷
刘伟娟
陈国栋
机构
河北工业大学微电子研究所
出处
《微纳电子技术》
CAS
北大核心
2014年第6期404-408,共5页
基金
国家中长期科技发展规划02科技重大专项资助项目(2009ZX02308)
文摘
研究了一种碱性铜抛光液,其基本组分是硅溶胶磨料、新型FA/O V型螯合剂、非离子表面活性剂和氧化剂(H2O2)。在压力为2 psi(1 psi=6.895 kPa)、抛头转速与抛盘转速分别为97和103 r/min、流量为300 mL/min的条件下,分析了铜膜去除速率随着螯合剂和氧化剂体积分数增加的作用规律。结果表明,加入体积分数2%的螯合剂和体积分数3%的氧化剂时,抛光液具有较好的自钝化能力和较高的铜膜去除速率。同时,研究了工艺参数在抛光过程中对去除速率和片内非均匀性(WIWNU)的影响,平坦化实验的抛光工艺选择压力1.5 psi、抛头和抛盘转速分别为87和93 r/min、流量300 mL/min。实验结果表明:此种抛光液在上述工艺条件下,抛光结束时剩余高低差为63.7 nm,具有较好的平坦化效果,对抛光液商业化提供了参考价值。
关键词
碱性铜
抛光液
去除速率
片内非均匀性(WIWNU)
高低差
平坦化
Keywords
alkaline copper slurry
removal rate
within wafer non-uniformity (WIWNU)
step height
planarization
分类号
TN305.2 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
碱性铜锡合金镀液中氰化亚铜含量的自动电位滴定
5
作者
丘山
丘星初
曾家民
丘圣
机构
广州安纳环境分析测试有限公司
出处
《涂装与电镀》
2011年第1期38-39,47,共3页
文摘
研究了用自动电位滴定测定碱性铜锡合金镀液中氰化亚铜的条件和方法。实验结果表明,与以淀粉为指示剂的硫代硫酸钠滴定法相比,节约了化学试剂的消耗,提高了分析的准确度和精密度,而且方法简便快捷,能在4min以内打印出分析结果。
关键词
氰化亚
铜
测定
自动电位滴定法
碱性铜
锡合金镀液
Keywords
determination of cuprous cyanide
automatic potentiometeric titration
alkaline copper tin alloy plating bath
分类号
TQ223.21 [化学工程—有机化工]
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职称材料
题名
亚铜盐催化碱性水解法合成氟代苯酚及其工艺优化
6
作者
窦杰
杨俊伟
李程碑
杭磊
李浩
陈国珍
机构
陕西省石油化工研究设计院
出处
《应用化工》
CAS
CSCD
北大核心
2017年第2期152-156,共5页
基金
陕西省科技统筹创新工程计划项目(2015KTZDGY07-06)
陕西省延长石油(集团)有限责任公司科技示范中试项目(ycsy2014sfzs-A-1)
文摘
1-卤代氟苯在亚铜盐催化下发生碱性水解反应,生成氟代苯酚,以单因素结合正交实验,对合成工艺进行优化。结果表明,合成五氟苯酚的最佳工艺条件为:全氟苯93.0 g(0.5 mol),Raney Ni 5.0 g,Cu2O 7.5 g,90%工业KOH 65.0 g,水200 g,环丁砜60.0 g,转速500 r/min,120℃反应8 h,收率达到80.0%。经过非均相反应、脱色、除氟、分子精馏等工艺,五氟苯酚达到质量标准:含量≥99.8%,单杂含量≤0.1%,掉氟物≤0.01%,水分≤100 mg/kg,溶剂残留≤100 mg/kg,符合液晶中间体和医药中间体的质量要求。
关键词
氟代苯酚
亚
铜
盐催化
碱性
水解
工艺优化
检测方法
质量标准
Keywords
fluorinated phenol
cuprous salt catalyzed alkaline hydrolysis
process optimization
inspection methods
quality specification
分类号
TQ564.3 [化学工程—炸药化工]
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职称材料
题名
二溴对甲基偶氮磺光度法快速测定碱性化学镀铜液中的微量铅
7
作者
陈丽萍
邵谦
机构
扬州工业职业技术学院化学工程学院
山东科技大学化学与环境工程学院
出处
《材料保护》
CAS
CSCD
北大核心
2013年第12期67-69,9,共3页
文摘
由于大量铜离子的干扰,目前常用的Pb2+含量测试法不能准确测定化学镀铜液中的Pb2+含量。基于酸性条件下Pb2+与二溴对甲基偶氮磺反应生成的蓝色配合物在630am波长处有最大吸收的特性,采用分光光度法对碱性镀铜液中的Pb2+含量进行了测定,并对各测试条件进行了优选,绘制了标准曲线,对化学镀铜液进行了测试及加标回收试验。结果表明:化学镀铜液中Pb2+含量在0—30μg/25mL内符合比耳定律,摩尔吸光系数为7.99×104IM(mol·ClTI),测量相对标准偏差为1.89%,回收率分别为99.6%和101.4%。
关键词
微量Pb2+测定
分光光度法
碱性
化学镀
铜
液
二溴对甲基偶氮磺
Keywords
fast determination of trace amount Pb2+
spectrophotometry
electroless copper plating solution
dibromo-p-methyl-sulfonzo
分类号
O657.3 [理学—分析化学]
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职称材料
题名
紫外分光光度法测定碱性化学镀铜溶液中的乙醛酸含量
被引量:
1
8
作者
张建刚
冯立明
袁志鹏
机构
山东建筑大学材料科学与工程学院
出处
《材料保护》
CAS
CSCD
北大核心
2013年第12期63-66,9,共4页
文摘
准确测定化学镀铜液中还原剂乙醛酸含量至关重。利用醛基与盐酸羟胺加成生成肟的特征反应,采用紫外分光光度法测定碱性化学镀铜溶液中乙醛酸的含量,研究了化学镀铜溶液中各组分、副产物及测定条件(pH值、温度、放置时间、盐酸羟胺用量)对测定结果的影响。结果表明:测试方法及最优条件为取镀液O.5mL于50mL比色管中,加入2g/L盐酸羟胺3mL,调整pH值至4,于50cc水浴中加热20min,冷却后定容,以稀释100倍、pH值与待测液相同、不合还原剂的化学镀铜基础液为参比,入射波长为230nm,室温下2h内测定吸光度;当镀铜溶液稀释液中乙醛酸浓度为0.025—0.060g/L时,其浓度与吸光度呈良好的线性关系,线性回归方程为Y=14.26x+0.0204,线性相关系数r=0.9982(n=5);测量的平均回收率达99.2%,平均标准差为0.135%。
关键词
含量测定
乙醛酸
盐酸羟胺
肟化反应
紫外分光光度法
碱性
化学镀
铜
Keywords
determination of glyoxylic acid
hydroxylamine hydrochlo ride
addition reaction
ultraviolet spectrophotometry
alkaline electroless copper plating solution
分类号
O657.3 [理学—分析化学]
TQ153 [化学工程—电化学工业]
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职称材料
题名
碱性酒石酸铜比色法快速测定硫酸庆大霉素注射液含量
被引量:
3
9
作者
何树华
机构
武汉铁路中心医院
出处
《中国医院药学杂志》
CAS
CSCD
北大核心
1989年第10期463-464,共2页
文摘
药典规定,硫酸庆大霉素注射液的含量应为其标示量的90.0~100.0%,若以成人每日剂量160mg 计,则实际给药剂量的波动范围为144~176mg。庆大霉素属临床监控的药物。
关键词
碱性
酒石酸
铜
庆大霉素
含量
分类号
R927.2 [医药卫生—药学]
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职称材料
题名
碱性酒石酸铜溶液对还原糖测定的影响
被引量:
4
10
作者
李建新
李诗华
卿太辉
李超银
机构
汤臣倍健股份有限公司
出处
《食品安全质量检测学报》
CAS
2020年第1期95-98,共4页
文摘
目的考察不同厂家试剂配制的碱性酒石酸铜溶液对还原糖测定的影响,确保还原糖检测的准确性。方法用不同厂家(各3个)的亚铁氰化钾、酒石酸钾钠、氢氧化钠、硫酸铜、亚甲基蓝,配制成酒石酸铜甲液、酒石酸铜乙液,考察其对检测结果的影响,分析检测结果是否满足t检验的要求。再选取不满足t检验要求的试剂,用多个厂家的该试剂进行对比,考察其准确度是否满足要求。结果酒石酸钾钠是唯一一个对检测影响较大的试剂,6个厂家的酒石酸钾钠只有一个厂家满足准确度要求。结论由于不同厂家的酒石酸钾钠对还原糖的检测结果有较大的影响,而且不是所有厂家的准确度都能够满足要求,因此在使用前,要对酒石酸钾钠进行验收,确保所用试剂的检测结果满足准确度要求,从而保证还原糖检测的准确度。
关键词
碱性
酒石酸
铜
溶液
酒石酸钾钠
还原糖
Keywords
copper basic tartrate solution
sodium potassium tartrate
reducing sugar
分类号
TS207.3 [轻工技术与工程—食品科学]
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职称材料
题名
碱性含铜蚀刻废液再生处理及回收铜技术研究现状与发展趋势
被引量:
7
11
作者
刘后传
李丽敏
吕照辉
李嘉琪
戚健剑
汤宇峰
于少明
机构
泰兴冶炼厂有限公司
合肥工业大学化学与化工学院
出处
《山东化工》
CAS
2021年第3期68-69,71,共3页
基金
合肥工业大学科技合作项目(W2015JSFW0038)。
文摘
介绍了碱性蚀刻液的蚀刻机理、蚀刻废液的产生;综述了碱性含铜蚀刻废液再生方法及回收铜的工艺过程、技术特点和产品质量;简介了碱性含铜蚀刻废液再生处理及回收铜技术的发展趋势等。
关键词
碱性
含
铜
蚀刻废液
再生处理
循环利用
铜
的回收
Keywords
alkaline copper-containing etching waste liquid
regeneration treatment
recycling
copper recovery
分类号
X758 [环境科学与工程—环境工程]
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职称材料
题名
碱性含铜废水治理工艺
被引量:
2
12
作者
滕农
机构
南京电力环境保护科学研究所
出处
《电力环境保护》
1995年第4期29-32,共4页
文摘
本文提出了工业废水闭路循环工艺流程,用絮凝沉淀法定期处理碱性含铜废水,处理后水质符合污水综合排放标准。该处理系统具有投资少、运行费用低,并能回收金属铜粉等特点。
关键词
碱性
含
铜
废水
闭路循水
絮凝
沉淀
废水处理
分类号
X703 [环境科学与工程—环境工程]
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职称材料
题名
H_2O_2在精抛过程中对铜布线平坦化的影响
被引量:
3
13
作者
曹阳
刘玉岭
王辰伟
机构
河北工业大学微电子研究所
出处
《功能材料》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014年第B06期48-51,56,共5页
基金
国家中长期科技发展规划重大专项资助项目(2009ZX02308)
文摘
采用自主研发的碱性铜抛光液,使用前稀释50倍加入不同剂量H2O2配制成碱性铜精抛液。实验结果表明,随着H2O2含量的增加,铜的静态腐蚀速率(CuDR)、抛光速率(CuPR)以及阻挡层Ta/TaN均有小幅度的降低,但在MIT854布线片上精抛实验结果表明,碟形坑随着H2O2含量的增加逐渐降低,加入5%(体积分数)H2O2的精抛液,在粗抛实现初步平坦化后,精抛去除残余铜的过程中,能够实现不同线条尺寸的完全平坦化,碟形坑在工业要求范围内。研究结果表明,H2O2含量的增加对速率影响不明显,但有利于铜布线片的平坦化。此规律对提高CMP全局平坦化具有极重要的作用。
关键词
化学机械平坦化
碱性铜
精抛液
双氧水
碟形坑
残余
铜
Keywords
chemical mechanical planarization
alkaline copper clearing slurry
hydrogen peroxide
dishing
cop-per residue
分类号
TN305.2 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
ABS塑料电镀铜工艺的研究
14
作者
陈尔跃
杨子
韩成利
机构
齐齐哈尔大学化学与化学工程学院
出处
《电镀与精饰》
CAS
北大核心
2013年第5期39-42,共4页
文摘
用乙二醛取代甲醛作为还原剂在ABS塑料上化学预镀铜,然后在碱式碳酸铜为主盐的碱性镀铜液电镀。研究了电镀液组成、pH对镀层结构的影响。最佳镀铜工艺为27g/L KNaC4H4O6、25 g/L CuCO3.Cu(OH)2.H2O、250 g/L C6H8O7、10g/L NaHCO3,pH为8.5,Jκ为1.0A/dm2,t为30min。采用电子扫描电镜观察和X-射线衍射仪分析表征镀层具有单质铜的特征,镀层均匀、致密。结果表明碱性镀液可以有效地保护化学预镀层。
关键词
ABS塑料
化学镀
铜
碱性
电镀
铜
Keywords
ABS plastic
electroless copper plating
alkaline copper electroplating
分类号
TQ153.14 [化学工程—电化学工业]
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职称材料
题名
镀铜材料、其制造方法及镀铜的方法
15
出处
《电镀与涂饰》
CAS
CSCD
2002年第4期68-68,共1页
关键词
镀
铜
材料
制造方法
镀
铜
方法
鹤见曹达株式会社
日本神奈川
碱性
碳酸
铜
热分解
分类号
TQ153.14 [化学工程—电化学工业]
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职称材料
题名
以锌铁合金为节镍镀层的装饰镀铬工艺
被引量:
3
16
作者
曾祥德
机构
成都市新都高新电镀环保工程研究所
出处
《五金科技》
2006年第1期53-56,共4页
文摘
锌铁合金从镀层铁含量分,有低铁和高铁两工艺。介绍低铁工艺用于Cu/Cu/Ni/G或Cu/Ni/Cr的节镍镀层,需将原工艺调整为低铁Zn-Fe/碱铜/Ni/Or的组合镀层:高铁工艺用于半光亮镍/高硫镍/亮镍/铬。需调整为高铁Zn-Fe中性Ni/光亮Ni/Cr的组合镀层。节镍工艺最大特点,锌铁合金为厚镀层(20~30um)其余为薄镀层Cu/Ni/Cr3、5um;三镍铬为10um。Zn-Fe合金除自身的防护性能优异外,加之又是阳极镀层,对基体起机械与电化学双重保护,从而延缓了基体的腐蚀进程。
关键词
节镍工艺
锌铁合金
碱性铜
中性镍
亮镍亮铬
分类号
TQ153.11 [化学工程—电化学工业]
TQ153.2 [化学工程—电化学工业]
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职称材料
题名
不锈钢表面油潜指印的高对比度显现技术研究
被引量:
4
17
作者
张晓顺
张开悦
肖伟
刘建国
机构
中国刑事警察学院
痕迹检验鉴定技术公安部重点实验室
中国科学院金属研究所
出处
《电镀与涂饰》
CAS
CSCD
北大核心
2019年第15期771-776,共6页
基金
公安部科技强警基础工作专项(2017GABJC10)
痕迹检验鉴定技术公安部重点实验室资助课题(2018HJKF10)
沈阳市科技计划项目(18013051)
文摘
通过实验探讨了将化学镀银、电镀铜、碱性化学镀铜及酸性化学镀铜技术用于显现不锈钢表面油潜指印的可行性,发现只有酸性化学镀铜能获得高对比度的显现效果。考察了酸性化学镀铜时间和温度对显现效果的影响。结果表明,对于以硫酸铜为主盐,N?羟乙基乙二胺三乙酸为配位剂,次磷酸钠为还原剂的酸性化学镀铜溶液,在70°C下反应300 s时显现效果最佳。
关键词
不锈钢
油潜指印
碱性
化学镀
铜
显现
Keywords
stainless steel
greasy latent fingerprint
alkaline electroless copper plating
visualization
分类号
TQ153.1 [化学工程—电化学工业]
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职称材料
题名
快速比色法测定硫酸新霉素滴眼剂的含量
被引量:
2
18
作者
何梅凤
吴伟
王延东
唐细兰
机构
中山大学中山眼科中心
出处
《药品评价》
CAS
2006年第3期202-203,共2页
文摘
目的建立快速测定硫酸新霉素滴眼剂含量的方法。方法根据新霉素在碱性条件下能与Cu2+形成蓝色复合物,并有稳定的光吸收的原理,采用比色法测定硫酸新霉素滴眼剂含量,检测波长为594nm。结果新霉素在0.10万u~0.60万u/ml浓度范围内吸收度与浓度呈良好的线性关系,相关系数r=0.9998,平均回收率为100.67%,RSD为0.74%。结论本方法简单、快速、准确、重现性好,适合于产品中间体的质量控制和医院制剂的快速分析。
关键词
硫酸新霉素滴眼液
比色法
含量
碱性
酒石酸
铜
Keywords
neomycin sulfate ophthalmin solution
colorimetry
content
alkalescent coprum tartrate
分类号
R927.2 [医药卫生—药学]
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职称材料
题名
食品中还原糖含量测定的探讨
19
作者
王斐
朱琳
机构
黄淮学院化学化工系
出处
《创新科技》
2014年第16期100-100,共1页
文摘
食品中含有大量还原糖,还原糖的测定方法有很多,如碱性铜盐法,酚硫酸法,铁氰化钾法,3,5-二硝基水杨酸比色法,酶-比色法等。本文主要论述这几种方法以及它们各自的特点与适用范围。
关键词
碱性铜
盐法
酚-硫酸法
铁氰化钾法
3
5-二硝基水杨酸比色法
酶-比色法
分类号
TS231 [轻工技术与工程—粮食、油脂及植物蛋白工程]
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职称材料
题名
吃火锅的六要六不要
20
作者
李惠明
机构
长沙中南大学湘雅医院
出处
《家庭医学(上半月)》
2001年第11期32-32,共1页
文摘
火锅味美简单方便,经济实惠。亲朋相聚,围桌而谈,热闹温馨,老少皆宜。但操作不当,食物不洁,有损于身体,甚至危及生命,必须防范于未然。 一要火“旺”不要引发火灾 传统的火锅通常是金属制成的用具,锅中央有炉膛,置炭火。现有不少是用酒精、石油液化气等作燃料,还有电火锅。但无论怎么变,它都离不开“火”。近几年因用酒精火锅在加酒精时引起火灾,头面部烧伤者屡见报端。吃火锅时防火意识不可少。
关键词
石油液化气
一氧化碳中毒
胃十二指肠溃疡
室内空气
六要
老年性痴呆
头面部
老少皆宜
碱性
碳酸
铜
慢性胃炎
分类号
R155.5 [医药卫生—营养与食品卫生学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
铝合金表面电刷镀碱性铜镀层性能研究
黄元林
朱有利
李华
马世宁
《热加工工艺》
CSCD
北大核心
2006
3
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职称材料
2
碱性铜抛光液在65nm多层铜布线平坦化中的应用
刘玉岭
王辰伟
牛新环
曹阳
《河北工业大学学报》
CAS
北大核心
2013
3
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职称材料
3
碱性铜粗抛液中各组分对铜去除速率的影响
王月霞
刘玉岭
王辰伟
闫辰奇
《微纳电子技术》
CAS
北大核心
2015
5
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职称材料
4
碱性铜抛光液在CMP工艺中的性能评估
袁浩博
刘玉岭
蒋勐婷
刘伟娟
陈国栋
《微纳电子技术》
CAS
北大核心
2014
3
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职称材料
5
碱性铜锡合金镀液中氰化亚铜含量的自动电位滴定
丘山
丘星初
曾家民
丘圣
《涂装与电镀》
2011
0
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职称材料
6
亚铜盐催化碱性水解法合成氟代苯酚及其工艺优化
窦杰
杨俊伟
李程碑
杭磊
李浩
陈国珍
《应用化工》
CAS
CSCD
北大核心
2017
0
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职称材料
7
二溴对甲基偶氮磺光度法快速测定碱性化学镀铜液中的微量铅
陈丽萍
邵谦
《材料保护》
CAS
CSCD
北大核心
2013
0
下载PDF
职称材料
8
紫外分光光度法测定碱性化学镀铜溶液中的乙醛酸含量
张建刚
冯立明
袁志鹏
《材料保护》
CAS
CSCD
北大核心
2013
1
下载PDF
职称材料
9
碱性酒石酸铜比色法快速测定硫酸庆大霉素注射液含量
何树华
《中国医院药学杂志》
CAS
CSCD
北大核心
1989
3
下载PDF
职称材料
10
碱性酒石酸铜溶液对还原糖测定的影响
李建新
李诗华
卿太辉
李超银
《食品安全质量检测学报》
CAS
2020
4
下载PDF
职称材料
11
碱性含铜蚀刻废液再生处理及回收铜技术研究现状与发展趋势
刘后传
李丽敏
吕照辉
李嘉琪
戚健剑
汤宇峰
于少明
《山东化工》
CAS
2021
7
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职称材料
12
碱性含铜废水治理工艺
滕农
《电力环境保护》
1995
2
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职称材料
13
H_2O_2在精抛过程中对铜布线平坦化的影响
曹阳
刘玉岭
王辰伟
《功能材料》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014
3
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职称材料
14
ABS塑料电镀铜工艺的研究
陈尔跃
杨子
韩成利
《电镀与精饰》
CAS
北大核心
2013
0
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职称材料
15
镀铜材料、其制造方法及镀铜的方法
《电镀与涂饰》
CAS
CSCD
2002
0
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职称材料
16
以锌铁合金为节镍镀层的装饰镀铬工艺
曾祥德
《五金科技》
2006
3
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职称材料
17
不锈钢表面油潜指印的高对比度显现技术研究
张晓顺
张开悦
肖伟
刘建国
《电镀与涂饰》
CAS
CSCD
北大核心
2019
4
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职称材料
18
快速比色法测定硫酸新霉素滴眼剂的含量
何梅凤
吴伟
王延东
唐细兰
《药品评价》
CAS
2006
2
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职称材料
19
食品中还原糖含量测定的探讨
王斐
朱琳
《创新科技》
2014
0
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职称材料
20
吃火锅的六要六不要
李惠明
《家庭医学(上半月)》
2001
0
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职称材料
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