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利用AFM和碱溶液在单晶硅表面微加工及其电化学机理
1
作者
袁福龙
郭永峰
+2 位作者
梁迎春
李丽
闫永达
《黑龙江大学自然科学学报》
CAS
北大核心
2006年第3期289-293,297,共6页
用AFM在单晶硅片(100)表面上加工出一微结构表面,而且加工过程中单晶硅的表面生成很薄的二氧化硅保护层,使其置于氢氧化钾溶液中刻蚀加工可得到微结构(长×宽:10μm×10μm)。加工过程中利用二氧化硅和单晶硅与氢氧化钾溶液化...
用AFM在单晶硅片(100)表面上加工出一微结构表面,而且加工过程中单晶硅的表面生成很薄的二氧化硅保护层,使其置于氢氧化钾溶液中刻蚀加工可得到微结构(长×宽:10μm×10μm)。加工过程中利用二氧化硅和单晶硅与氢氧化钾溶液化学反应速率的不同,以及单晶硅不同晶面与氢氧化钾溶液反应速率的各向异性达到加工目的,并应用化学键理论—能带理论对在KOH水溶液中加工反应的机理进行了分析。
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关键词
单晶硅
原子力显微镜(AFM)
微结构
碱溶液刻蚀
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职称材料
沸石材料的多级结构化及其在生命科学中新应用
2
作者
魏峰
曹毅
朱建华
《江苏化工》
2008年第1期1-4,16,共5页
当前沸石材料研究的一个热点是在通常只具有微孔结构的沸石中产生介孔,以增加活性位的可接触性,加快反应物在沸石孔道里的扩散,提高沸石吸附和催化的效率。综述了近年来在沸石多级结构化方面的研究进展,着重介绍了碱溶液刻蚀法、介孔间...
当前沸石材料研究的一个热点是在通常只具有微孔结构的沸石中产生介孔,以增加活性位的可接触性,加快反应物在沸石孔道里的扩散,提高沸石吸附和催化的效率。综述了近年来在沸石多级结构化方面的研究进展,着重介绍了碱溶液刻蚀法、介孔间隙合成法和碳模板剂法等各种途径,并简介了沸石材料在生命科学中的一些新应用,包括沸石止血材料、控释药物和生物芯片。
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关键词
沸石多级结构化
碱溶液刻蚀
法
介孔间隙合成法
模板剂法合成
生命科学
沸石止血材料
控释药物
生物芯片
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职称材料
题名
利用AFM和碱溶液在单晶硅表面微加工及其电化学机理
1
作者
袁福龙
郭永峰
梁迎春
李丽
闫永达
机构
哈尔滨工业大学精密工程研究所
黑龙江大学化学化工与材料学院
出处
《黑龙江大学自然科学学报》
CAS
北大核心
2006年第3期289-293,297,共6页
基金
国家自然科学基金资助项目(20271019
20576027)
+1 种基金
黑龙江省自然科学基金资助项目(B200504)
黑龙江省教育厅资助项目(11511270)
文摘
用AFM在单晶硅片(100)表面上加工出一微结构表面,而且加工过程中单晶硅的表面生成很薄的二氧化硅保护层,使其置于氢氧化钾溶液中刻蚀加工可得到微结构(长×宽:10μm×10μm)。加工过程中利用二氧化硅和单晶硅与氢氧化钾溶液化学反应速率的不同,以及单晶硅不同晶面与氢氧化钾溶液反应速率的各向异性达到加工目的,并应用化学键理论—能带理论对在KOH水溶液中加工反应的机理进行了分析。
关键词
单晶硅
原子力显微镜(AFM)
微结构
碱溶液刻蚀
Keywords
crystalline silicon
Atomic Force Microscope (AFM)
micro machining
etching alkaline solution
分类号
O647 [理学—物理化学]
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职称材料
题名
沸石材料的多级结构化及其在生命科学中新应用
2
作者
魏峰
曹毅
朱建华
机构
南京大学化学化工学院
出处
《江苏化工》
2008年第1期1-4,16,共5页
基金
国家自然科学基金资助(20373024
20673053和20773061)
文摘
当前沸石材料研究的一个热点是在通常只具有微孔结构的沸石中产生介孔,以增加活性位的可接触性,加快反应物在沸石孔道里的扩散,提高沸石吸附和催化的效率。综述了近年来在沸石多级结构化方面的研究进展,着重介绍了碱溶液刻蚀法、介孔间隙合成法和碳模板剂法等各种途径,并简介了沸石材料在生命科学中的一些新应用,包括沸石止血材料、控释药物和生物芯片。
关键词
沸石多级结构化
碱溶液刻蚀
法
介孔间隙合成法
模板剂法合成
生命科学
沸石止血材料
控释药物
生物芯片
Keywords
hierarchical zeolite
alkaline-tailored method
confined space synthesis
template method
life science
zeolite hemostatic dressings
controllable releasing drug
biochip
分类号
Q741+.5 [生物学—分子生物学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
利用AFM和碱溶液在单晶硅表面微加工及其电化学机理
袁福龙
郭永峰
梁迎春
李丽
闫永达
《黑龙江大学自然科学学报》
CAS
北大核心
2006
0
下载PDF
职称材料
2
沸石材料的多级结构化及其在生命科学中新应用
魏峰
曹毅
朱建华
《江苏化工》
2008
0
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职称材料
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