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多层HgCdTe异质外延材料的热退火应力分析 被引量：1
1
作者 沈川 顾仁杰 +1 位作者 陈路 何力 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2013年第2期122-127,共6页
前期研究采用高温热处理方法,获得了抑制位错的最佳退火条件.通过比对实验,发现不同衬底上HgCdTe表面的CdTe钝化层在热处理过程中对位错的抑制作用各有不同.结合晶格失配应力和热应力对不同异质结构进行理论计算,借助X射线摇摆曲线的倒... 前期研究采用高温热处理方法,获得了抑制位错的最佳退火条件.通过比对实验,发现不同衬底上HgCdTe表面的CdTe钝化层在热处理过程中对位错的抑制作用各有不同.结合晶格失配应力和热应力对不同异质结构进行理论计算,借助X射线摇摆曲线的倒易空间分析,解释了CdTe钝化层对HgCdTe位错抑制的影响作用. 展开更多
关键词 碲镉汞 碲化镉钝化层 热退火 位错 应力
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