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液相外延用碲镉汞母液晶锭的组分均匀性
1
作者
陈建才
孔金丞
马庆华
《红外》
CAS
2011年第3期19-22,共4页
开展了液相外延用碲镉汞母液晶锭的合成工艺优化研究。通过优化合成温度、合成时间、摇炉速率和淬火工艺,有效提高了碲镉汞晶锭的纵向组分均匀性。用改进工艺后合成的碲镉汞母液晶锭生长了28个外延薄膜样品,其组分平均偏差为0.95%,满足...
开展了液相外延用碲镉汞母液晶锭的合成工艺优化研究。通过优化合成温度、合成时间、摇炉速率和淬火工艺,有效提高了碲镉汞晶锭的纵向组分均匀性。用改进工艺后合成的碲镉汞母液晶锭生长了28个外延薄膜样品,其组分平均偏差为0.95%,满足第二代红外焦平面探测器研制对探测器材料组分均匀性的要求。
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关键词
液相外延
碲镉汞母液
组分均匀性
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职称材料
题名
液相外延用碲镉汞母液晶锭的组分均匀性
1
作者
陈建才
孔金丞
马庆华
机构
昆明物理研究所
出处
《红外》
CAS
2011年第3期19-22,共4页
文摘
开展了液相外延用碲镉汞母液晶锭的合成工艺优化研究。通过优化合成温度、合成时间、摇炉速率和淬火工艺,有效提高了碲镉汞晶锭的纵向组分均匀性。用改进工艺后合成的碲镉汞母液晶锭生长了28个外延薄膜样品,其组分平均偏差为0.95%,满足第二代红外焦平面探测器研制对探测器材料组分均匀性的要求。
关键词
液相外延
碲镉汞母液
组分均匀性
Keywords
liquid-phase epitaxy(LPE)
HgCdTe solution
composition uniformity
分类号
TN304.26 [电子电信—物理电子学]
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题名
作者
出处
发文年
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1
液相外延用碲镉汞母液晶锭的组分均匀性
陈建才
孔金丞
马庆华
《红外》
CAS
2011
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