多晶硅线切割废料中硅粉的回收提纯技术进展

多晶硅线切割废料中含有约30%以上的高纯硅粉,若能经济地提纯回收再作为太阳能多晶硅使用,将具有很高的利用价值。深度分离提纯的难点主要集中在两个方面,一是碳化硅碎粒,二是硼、磷杂质。对以上两个方面的分离提纯进展做了评述,指出了今后努力的方向。