研究了复合材料表面 CVD Si C涂层的制备工艺 ,并对涂层的表面致密化性能进行分析。在不同的工艺条件下制备 Si C涂层 ,探讨了温度、载气流速、时间等因素对涂层的影响。利用扫描电镜和 X-射线衍射仪 ,对涂层晶型进行分析 ,讨论不同条件...研究了复合材料表面 CVD Si C涂层的制备工艺 ,并对涂层的表面致密化性能进行分析。在不同的工艺条件下制备 Si C涂层 ,探讨了温度、载气流速、时间等因素对涂层的影响。利用扫描电镜和 X-射线衍射仪 ,对涂层晶型进行分析 ,讨论不同条件下 Si C的结晶形态 ,从而得出制备致密涂层的较好工艺。展开更多
文摘研究了复合材料表面 CVD Si C涂层的制备工艺 ,并对涂层的表面致密化性能进行分析。在不同的工艺条件下制备 Si C涂层 ,探讨了温度、载气流速、时间等因素对涂层的影响。利用扫描电镜和 X-射线衍射仪 ,对涂层晶型进行分析 ,讨论不同条件下 Si C的结晶形态 ,从而得出制备致密涂层的较好工艺。