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题名砂浆对固结磨具研磨垫研磨SiC工件的影响
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作者
金振弘
朱永伟
墨洪磊
王子琨
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机构
南京航空航天大学机电学院
航天八院
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出处
《金刚石与磨料磨具工程》
CAS
北大核心
2018年第6期54-60,共7页
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基金
国家自然科学基金(No.51675276)
江苏省精密与微细制造技术重点实验室。
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文摘
为高效、稳定加工SiC工件,采用碳化硅砂浆辅助亲水性固结磨具研磨垫精研的方法,实验比较砂浆辅助固结磨具研磨垫研磨与传统固结磨具研磨垫研磨的差异,并研究砂浆中碳化硅的颗粒尺寸和质量分数对SiC工件精研去除率和表面形貌的影响。通过测算研磨垫的溶胀率和磨损率,探索碳化硅砂浆的作用机制。结果表明:在砂浆中添加颗粒尺寸为3~5μm、质量分数为3%的SiC时,精研过程的平均材料去除率为1.424 6μm/min,工件表面粗糙度R_a为84.6nm;而没有砂浆辅助精研时,材料去除率为0.040 0μm/min,表面粗糙度R_a为61.4nm。碳化硅砂浆的加入能有效提高亲水性固结磨具研磨垫的自修整能力,其自修整能力随砂浆中碳化硅的尺寸和质量分数增大而增强,材料的去除率提高,工件表面质量略降。
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关键词
亲水性固结磨具研磨垫
碳化硅砂浆
自修整
辅助精研
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Keywords
hydrophilic fixed abrasive pad
SiC slurry
self-conditioning
auxiliary finishing
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分类号
TG58
[金属学及工艺—金属切削加工及机床]
TG73
[金属学及工艺—刀具与模具]
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题名固结金刚石聚集体磨料垫高效研磨氧化锆陶瓷背板
被引量:6
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作者
王子琨
凌顺志
黄道万
陈佳鹏
李军
朱永伟
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机构
南京航空航天大学江苏省精密与微细制造技术重点实验室
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出处
《金刚石与磨料磨具工程》
CAS
2017年第6期12-18,共7页
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基金
国家自然科学基金(51675276)
南京航空航天大学研究生创新基地开放基金(kfjj20160502)
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文摘
氧化锆陶瓷背板的高效低损伤研磨加工是其在5G通讯应用中的前提。针对氧化锆材料的硬脆特性造成磨粒磨损严重的特点,以金刚石单晶和聚集体为磨料,制备固结磨料垫(FAP),并对比研究其加工性能,探索了研磨液中碳化硅磨粒在固结磨料研磨垫自修整过程中的作用机理。结果表明:采用金刚石聚集体作为固结磨料垫的磨料,辅以碳化硅砂浆,能够明显提高研磨速度,改善表面加工质量。采用粒度230/270的金刚石聚集体固结磨料研磨垫,辅以颗粒尺寸3~5μm的绿碳化硅砂浆,氧化锆陶瓷研磨时材料去除率达2.5μm/min以上,表面粗糙度值Ra为74.9nm。
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关键词
去除速率
表面粗糙度
自修整
碳化硅砂浆
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Keywords
removal rate
surface roughness
self dressing
SiC slurry
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分类号
TG74
[金属学及工艺—刀具与模具]
TG176
[金属学及工艺—金属表面处理]
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