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一种生长巴基洋葱的新方法──射频CVD法 被引量:3
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作者 杨杭生 张孝彬 +3 位作者 陈抗生 齐仲甫 徐铸德 李文铸 《Chinese Journal of Chemical Physics》 SCIE CAS CSCD 1999年第6期646-650,共5页
在用射频CVD法沉积碳的实验中,发现有较多量碳巴基洋葱生成.电镜观察表明,该方法只生成碳巴基洋葱,并无碳纳米管等伴随生成,因而制得的巴基洋葱纯度较高。为制取纯净的碳巴基洋葱提供了一种可能的新途径.讨论了射频CVD法中... 在用射频CVD法沉积碳的实验中,发现有较多量碳巴基洋葱生成.电镜观察表明,该方法只生成碳巴基洋葱,并无碳纳米管等伴随生成,因而制得的巴基洋葱纯度较高。为制取纯净的碳巴基洋葱提供了一种可能的新途径.讨论了射频CVD法中碳巴基洋葱的可能生长机理。认为在等离子作用下使甲烷的部分氢原子解离生成碳氢自由基,在催化剂的作用下,生成的碳烯为了消除碳悬键而卷曲,而碳氢自由基则在表面不断沉积生长而成碳巴基洋葱. 展开更多
关键词 碳巴基洋葱 射频等离子 射频CVD法
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