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一种生长巴基洋葱的新方法──射频CVD法
被引量:
3
1
作者
杨杭生
张孝彬
+3 位作者
陈抗生
齐仲甫
徐铸德
李文铸
《Chinese Journal of Chemical Physics》
SCIE
CAS
CSCD
1999年第6期646-650,共5页
在用射频CVD法沉积碳的实验中,发现有较多量碳巴基洋葱生成.电镜观察表明,该方法只生成碳巴基洋葱,并无碳纳米管等伴随生成,因而制得的巴基洋葱纯度较高。为制取纯净的碳巴基洋葱提供了一种可能的新途径.讨论了射频CVD法中...
在用射频CVD法沉积碳的实验中,发现有较多量碳巴基洋葱生成.电镜观察表明,该方法只生成碳巴基洋葱,并无碳纳米管等伴随生成,因而制得的巴基洋葱纯度较高。为制取纯净的碳巴基洋葱提供了一种可能的新途径.讨论了射频CVD法中碳巴基洋葱的可能生长机理。认为在等离子作用下使甲烷的部分氢原子解离生成碳氢自由基,在催化剂的作用下,生成的碳烯为了消除碳悬键而卷曲,而碳氢自由基则在表面不断沉积生长而成碳巴基洋葱.
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关键词
碳巴基洋葱
射频等离子
射频CVD法
钴
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职称材料
题名
一种生长巴基洋葱的新方法──射频CVD法
被引量:
3
1
作者
杨杭生
张孝彬
陈抗生
齐仲甫
徐铸德
李文铸
机构
浙江大学物理系
浙江大学材料系
浙江大学信电系
浙江大学化学系
出处
《Chinese Journal of Chemical Physics》
SCIE
CAS
CSCD
1999年第6期646-650,共5页
基金
浙江大学自然科学基金
文摘
在用射频CVD法沉积碳的实验中,发现有较多量碳巴基洋葱生成.电镜观察表明,该方法只生成碳巴基洋葱,并无碳纳米管等伴随生成,因而制得的巴基洋葱纯度较高。为制取纯净的碳巴基洋葱提供了一种可能的新途径.讨论了射频CVD法中碳巴基洋葱的可能生长机理。认为在等离子作用下使甲烷的部分氢原子解离生成碳氢自由基,在催化剂的作用下,生成的碳烯为了消除碳悬键而卷曲,而碳氢自由基则在表面不断沉积生长而成碳巴基洋葱.
关键词
碳巴基洋葱
射频等离子
射频CVD法
钴
Keywords
Carbon onions Radio frequency plasma Cobalt
分类号
O635.1 [理学—高分子化学]
O646.9 [理学—物理化学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
一种生长巴基洋葱的新方法──射频CVD法
杨杭生
张孝彬
陈抗生
齐仲甫
徐铸德
李文铸
《Chinese Journal of Chemical Physics》
SCIE
CAS
CSCD
1999
3
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