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等离子体沉积碳氟聚合物薄膜的纳米摩擦性能研究
被引量:
3
1
作者
鲍海飞
熊斌
+2 位作者
陆德仁
李昕欣
王跃林
《摩擦学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004年第4期304-307,共4页
利用原子力显微镜研究了感应等离子体刻蚀加工过程中单晶硅表面形成的不同厚度的碳氟聚合物薄膜的纳米摩擦特性,并针对几种不同的摩擦模式探讨了原子力显微镜探针在不同厚度的碳氟聚合物薄膜表面的摩擦行为.结果表明,同硅基体相比,聚合...
利用原子力显微镜研究了感应等离子体刻蚀加工过程中单晶硅表面形成的不同厚度的碳氟聚合物薄膜的纳米摩擦特性,并针对几种不同的摩擦模式探讨了原子力显微镜探针在不同厚度的碳氟聚合物薄膜表面的摩擦行为.结果表明,同硅基体相比,聚合物薄膜的摩擦力信号明显较弱,薄膜的纳米摩擦特性同其厚度密切相关;碳氟聚合物薄膜在同Si3N4针尖接触过程中可向针尖表面转移,从而对针尖起修饰作用,以减轻微观摩擦磨损.
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关键词
碳氟聚合物
薄膜
纳米摩擦特性
微机电系统
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职称材料
一种新型厌水性碳氟聚合物薄膜的制备
被引量:
1
2
作者
曾雪锋
岳瑞峰
+3 位作者
吴建刚
胡欢
董良
刘理天
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004年第z1期271-272,共2页
利用ICP-CVD工艺制备出一种新型厌水性碳氟聚合物薄膜,并给出了制备薄膜的工艺参数。通过观测该薄膜的表面形貌和它与去离子水之间的接触角,结果表明,该薄膜均匀致密。
关键词
ICP-CVD
碳氟聚合物
厌水材料
TEFLON
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职称材料
ICP-CVD制备高质量疏水性碳氟聚合物薄膜的研究
被引量:
1
3
作者
岳瑞峰
曾雪锋
+2 位作者
吴建刚
康明
刘理天
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006年第3期168-171,共4页
在室温下以c-C4F8为反应气体,采用电感耦合等离子体化学气相淀积(ICP-CVD)法制备出碳氟聚合物薄膜,研究了工艺条件与薄膜的光、电性能和结构与疏水性的相关性。结果表明,薄膜结构均匀致密,主要由C-CFX、CF、CF2和CF3组成;当射频功率为40...
在室温下以c-C4F8为反应气体,采用电感耦合等离子体化学气相淀积(ICP-CVD)法制备出碳氟聚合物薄膜,研究了工艺条件与薄膜的光、电性能和结构与疏水性的相关性。结果表明,薄膜结构均匀致密,主要由C-CFX、CF、CF2和CF3组成;当射频功率为400 W,c-C4F8的流量为40 sccm时,制备出的薄膜和去离子水之间的接触角高达112°。
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关键词
碳氟聚合物
薄膜
疏水性
感应耦合等离子体化学气相淀积
化学键结构
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职称材料
题名
等离子体沉积碳氟聚合物薄膜的纳米摩擦性能研究
被引量:
3
1
作者
鲍海飞
熊斌
陆德仁
李昕欣
王跃林
机构
中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室
出处
《摩擦学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004年第4期304-307,共4页
基金
国家973重大基础研究集成微光机电系统项目资助(G1999033101).
文摘
利用原子力显微镜研究了感应等离子体刻蚀加工过程中单晶硅表面形成的不同厚度的碳氟聚合物薄膜的纳米摩擦特性,并针对几种不同的摩擦模式探讨了原子力显微镜探针在不同厚度的碳氟聚合物薄膜表面的摩擦行为.结果表明,同硅基体相比,聚合物薄膜的摩擦力信号明显较弱,薄膜的纳米摩擦特性同其厚度密切相关;碳氟聚合物薄膜在同Si3N4针尖接触过程中可向针尖表面转移,从而对针尖起修饰作用,以减轻微观摩擦磨损.
关键词
碳氟聚合物
薄膜
纳米摩擦特性
微机电系统
Keywords
Fluorocarbons
Friction
Nanotechnology
Plasmas
Polymers
Silicon
分类号
TH117.3 [机械工程—机械设计及理论]
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职称材料
题名
一种新型厌水性碳氟聚合物薄膜的制备
被引量:
1
2
作者
曾雪锋
岳瑞峰
吴建刚
胡欢
董良
刘理天
机构
清华大学微电子学研究所
出处
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004年第z1期271-272,共2页
基金
清华大学基础研究基金资助项目(JC2003060)
文摘
利用ICP-CVD工艺制备出一种新型厌水性碳氟聚合物薄膜,并给出了制备薄膜的工艺参数。通过观测该薄膜的表面形貌和它与去离子水之间的接触角,结果表明,该薄膜均匀致密。
关键词
ICP-CVD
碳氟聚合物
厌水材料
TEFLON
Keywords
ICP-CVD Fluorocarbon polymer Hydrophobic materials Teflon
分类号
TH7-55 [机械工程—精密仪器及机械]
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职称材料
题名
ICP-CVD制备高质量疏水性碳氟聚合物薄膜的研究
被引量:
1
3
作者
岳瑞峰
曾雪锋
吴建刚
康明
刘理天
机构
清华大学微电子学研究所
出处
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006年第3期168-171,共4页
基金
国家自然科学基金资助项目(No.10472055)
清华大学基础研究基金资助项目(No.JC2003060)
文摘
在室温下以c-C4F8为反应气体,采用电感耦合等离子体化学气相淀积(ICP-CVD)法制备出碳氟聚合物薄膜,研究了工艺条件与薄膜的光、电性能和结构与疏水性的相关性。结果表明,薄膜结构均匀致密,主要由C-CFX、CF、CF2和CF3组成;当射频功率为400 W,c-C4F8的流量为40 sccm时,制备出的薄膜和去离子水之间的接触角高达112°。
关键词
碳氟聚合物
薄膜
疏水性
感应耦合等离子体化学气相淀积
化学键结构
Keywords
Fluorocarbon polymer film, Hydrophobicity, ICP-CVD, Bonding configuration
分类号
O484.4 [理学—固体物理]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
等离子体沉积碳氟聚合物薄膜的纳米摩擦性能研究
鲍海飞
熊斌
陆德仁
李昕欣
王跃林
《摩擦学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004
3
下载PDF
职称材料
2
一种新型厌水性碳氟聚合物薄膜的制备
曾雪锋
岳瑞峰
吴建刚
胡欢
董良
刘理天
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004
1
下载PDF
职称材料
3
ICP-CVD制备高质量疏水性碳氟聚合物薄膜的研究
岳瑞峰
曾雪锋
吴建刚
康明
刘理天
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006
1
下载PDF
职称材料
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