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洗净工程中的静电现象 被引量:1
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作者 王青 《洗净技术》 2003年第12M期53-54,共2页
本文主要介绍静电在洗净工程中带来的危害性及危险性,并对不同情况下的静电防护措施进行了简要说明。
关键词 静电 洗净工程 碳氢类清洗剂 硅片 PCB
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