TiCN涂层的制备及其微观结构和性能

采用直流磁控溅射法在AZ31镁合金上制备了TiCN涂层。采用X射线荧光光谱仪、扫描电镜和X射线衍射仪表征了涂层的化学成分、表面形貌和物相,并采用电化学阻抗谱、浸泡试验、显微硬度测试和磨损试验考察了基体偏压(−40、−60和−80 V)对涂层性能的影响。结果表明,涂层由TiCN和TiN组成。随着负偏压增大,涂层中Ti、C元素含量增加,N元素含量减小,而显微硬度提高,物相组成和择优取向发生变化。−60 V偏压下所制涂层的表面粗糙度最小,耐蚀性最好。3种偏压下所制涂层的摩擦因数均小于0.3,磨损率在10−6 mm3/(N·m)数量级。