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双联碳膜解决纳米晶体在TEM中碳污染的研究
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作者 暴丽霞 常晓雪 +1 位作者 曲双全 邵瑞文 《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2023年第2期223-229,共7页
在透射电子显微镜(TEM)中,电子束会引起碳污染,为了研究纳米晶体在TEM表征过程中碳污染问题的解决方案,选取油胺中合成的Au2Bi纳米晶体,分别用超薄碳膜和超薄双联碳膜制备样品,并用TEM进行表征。研究结果表明,利用超薄双联碳膜制备样品... 在透射电子显微镜(TEM)中,电子束会引起碳污染,为了研究纳米晶体在TEM表征过程中碳污染问题的解决方案,选取油胺中合成的Au2Bi纳米晶体,分别用超薄碳膜和超薄双联碳膜制备样品,并用TEM进行表征。研究结果表明,利用超薄双联碳膜制备样品,明显降低了纳米晶体的碳污染现象,大大提高了电子显微镜图像的质量。同时,从碳污染形成的原理方面,分析了超薄双联碳膜能够缓解碳污染产生的原因,是因为两层碳膜将样品固定在一起,可以有效阻止有机配体的扩散。这种有效且简便的方法有助于TEM研究受配体诱导污染的纳米晶体材料。 展开更多
关键词 碳污染 透射电子显微镜 超薄双联
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直拉单晶硅生长中的碳污染
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作者 王大海 邓昌联 《广东化工》 CAS 2023年第10期90-91,112,共3页
直拉单晶硅主要应用于微电子集成电路和太阳能电池方面。碳的污染可通过形成碳诱导缺陷导致硅晶片退化。因此,本文聚焦硅晶体生长过程,探索碳迁移机制和减少碳污染的方法。坩埚和基座之间的接触反应是一氧化硅和一氧化碳的来源。在熔炼... 直拉单晶硅主要应用于微电子集成电路和太阳能电池方面。碳的污染可通过形成碳诱导缺陷导致硅晶片退化。因此,本文聚焦硅晶体生长过程,探索碳迁移机制和减少碳污染的方法。坩埚和基座之间的接触反应是一氧化硅和一氧化碳的来源。在熔炼过程中,硅原料中碳元素的积累取决于一氧化碳的反向扩散。有边界的气体流动可以抑制反扩散,并且增加气体流量可以比降低压力更有效地减少熔体中的碳积累。根据碳污染的积累机制,总结了减少碳生成和掺入的策略,比如通过降低一氧化碳生成速率、减少持续时间、增加气体流速、应用碳化硅涂层等减少碳污染。 展开更多
关键词 直拉法 单晶硅 碳污染 接触反应 反向扩散
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广州市住宅室内、外PM_(2.5)中碳污染来源解析 被引量:10
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作者 黄虹 李顺诚 +3 位作者 曹军骥 邹长伟 陈新庚 范绍佳 《华南师范大学学报(自然科学版)》 CAS 2007年第4期85-91,共7页
旨在对大气PM2.5中碳污染来源进行解析,以寻求科学合理的预防与污染控制对策.在广州市9个居民住宅的室内、室外同步采集了PM2.5样品,对PM2.5中有机碳(OC)、元素碳(EC)组分采用热光反射分析法(TOR)分析.IMPROVE-TOR法分析OC、EC的过程中... 旨在对大气PM2.5中碳污染来源进行解析,以寻求科学合理的预防与污染控制对策.在广州市9个居民住宅的室内、室外同步采集了PM2.5样品,对PM2.5中有机碳(OC)、元素碳(EC)组分采用热光反射分析法(TOR)分析.IMPROVE-TOR法分析OC、EC的过程中,根据固定的温度梯级将OC和EC区分为8个组分(OC1、OC2、OC3、OC4、EC1、EC2、EC3和OPC).分析了广州市9个采样住宅夏、冬季室内和室外PM2.5中8个碳组分占总碳(TC)的平均丰度及其规律和启示.采用因子分析法对PM2.5中碳污染主要来源的定量贡献进行解析,找出广州市PM2.5中碳污染主要来源及其贡献率.采用简化模型,对室内OC、EC源对室内总碳的相对贡献率,室外OC、EC源对室内总碳的相对贡献率进行了定量化研究. 展开更多
关键词 PM2.5 碳污染 有机(OC) 元素(EC) 源解析
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在SPS过程中碳污染的研究 被引量:7
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作者 席晓丽 郭艳群 +2 位作者 聂祚仁 杨建参 左铁镛 《北京工业大学学报》 CAS CSCD 北大核心 2004年第1期59-62,共4页
为了研究放电等离子烧结(SPS)过程中采用石墨模具对烧结材料的污染情况,以金属W为原料,用石墨模具,压力为30 MPa,分别在1 500℃和1 900℃下进行放电等离子烧结.对烧结体的表层和表层下0.5 mm处进行了X衍射物相分析,用扫描电镜对1 900℃... 为了研究放电等离子烧结(SPS)过程中采用石墨模具对烧结材料的污染情况,以金属W为原料,用石墨模具,压力为30 MPa,分别在1 500℃和1 900℃下进行放电等离子烧结.对烧结体的表层和表层下0.5 mm处进行了X衍射物相分析,用扫描电镜对1 900℃下烧结体的横截面进行了形貌观察和线扫描,并对化学反应进行了热力学计算.结果表明:石墨模具与物料金属W会直接发生化学反应;污染产物碳化物存在于W烧结体表层300nm以内区域,表层下0.5 mm处仅有单质W存在;1 500℃表层有W2C和WC生成,1 900℃仅有WC生成. 展开更多
关键词 放电等离子烧结 X射线衍射 碳污染
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极紫外光刻机多层膜反射镜表面碳污染的清洗 被引量:3
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作者 宋源 卢启鹏 +2 位作者 龚学鹏 王依 彭忠琦 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第11期2835-2844,共10页
针对极紫外(EUV)光刻机工作过程中,多层膜反射镜表面沉积碳污染造成的反射率下降问题展开研究,讨论了多层膜反射镜表面碳污染清洗方法。首先描述了在EUV曝光过程中多层膜表面的碳污染形成过程,简单阐述了碳污染对多层膜反射镜的危害。... 针对极紫外(EUV)光刻机工作过程中,多层膜反射镜表面沉积碳污染造成的反射率下降问题展开研究,讨论了多层膜反射镜表面碳污染清洗方法。首先描述了在EUV曝光过程中多层膜表面的碳污染形成过程,简单阐述了碳污染对多层膜反射镜的危害。然后从清洗机理、速率以及效果等方面详细描述了多种EUV多层膜表面碳污染清洗方法,分析对比了各清洗技术在清洗速率和效果等方面的优缺点。分析表明:离子体氧和活化氧清洗速率相差不多,可达到2nm/min,但清洗过程中容易造成表面氧化;等离子体氢和原子氢的清洗速率相对较慢,一般在0.37nm/min左右,但清洗过程中不易产生氧化。最后针对不同方法应用于在线清洗EUV多层膜反射镜过程中将遇到的问题和难点进行了讨论。 展开更多
关键词 极紫外光刻机 碳污染 清洗技术 多层膜反射镜
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同步辐射光源光束线光学元件碳污染原位清洗研究 被引量:1
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作者 尉伟 张波 +7 位作者 洪远志 裴香涛 范乐 王勇 潘海滨 闫文盛 王峰 王秋平 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第6期552-555,共4页
通过采用射频等离子体对由于表面碳污染减少光通量的同步辐射光学元件进行原位清洗实验,利用质谱仪、X射线电子能谱对清洗过程以及表面变化进行监测,并对清洗过程截止点进行研究。结果表明射频等离子体清洗方法可有效去除严重影响光束... 通过采用射频等离子体对由于表面碳污染减少光通量的同步辐射光学元件进行原位清洗实验,利用质谱仪、X射线电子能谱对清洗过程以及表面变化进行监测,并对清洗过程截止点进行研究。结果表明射频等离子体清洗方法可有效去除严重影响光束线使用效率的碳污染,提高光束线使用效率;通过监测气体成分变化能为截止点判断提供有效依据。 展开更多
关键词 同步辐射光束线 光学元件 碳污染 原位清洗
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隐含碳污染贸易条件的地区差异研究 被引量:4
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作者 胡剑波 高鹏 彭劲松 《改革》 CSSCI 北大核心 2018年第5期131-138,共8页
借鉴污染贸易条件分析方法,构建对外贸易隐含碳排放的污染贸易条件指数,并基于2012年《中国地区投入产出表》,从总体、产品部门和三次产业视角测度和剖析中国30个省份(除西藏外)的隐含碳污染贸易条件状况。推进低碳贸易发展和控制贸易... 借鉴污染贸易条件分析方法,构建对外贸易隐含碳排放的污染贸易条件指数,并基于2012年《中国地区投入产出表》,从总体、产品部门和三次产业视角测度和剖析中国30个省份(除西藏外)的隐含碳污染贸易条件状况。推进低碳贸易发展和控制贸易污染转移,应转变贸易增长方式、优化调整进出口产品结构;根据进出口隐含碳排放的地区差异,健全不同污染指标的统计分析制度;提高减排技术水平标准,引进国外先进的低碳减排技术。 展开更多
关键词 隐含碳污染贸易条件 对外贸易 绿色发展
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碳污染对钛膜吸氢能力影响的研究 被引量:1
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作者 张强基 漆其鸿 +3 位作者 曹昭 赵鹏骥 翟国良 牟方明 《真空科学与技术》 CSCD 北大核心 1997年第1期45-50,共6页
在钼基底上蒸镀钛膜,用乙炔(C2H2)在钛膜表面引入碳污染,用X射线光电子谱和俄歇电子谱研究钛膜表面的碳的化学状态,以及表面的碳污染对钛膜吸氢能力的影响。实验发现,碳在钛表面以两种到三种化学状态存在。碳在钛表面将使钛膜的... 在钼基底上蒸镀钛膜,用乙炔(C2H2)在钛膜表面引入碳污染,用X射线光电子谱和俄歇电子谱研究钛膜表面的碳的化学状态,以及表面的碳污染对钛膜吸氢能力的影响。实验发现,碳在钛表面以两种到三种化学状态存在。碳在钛表面将使钛膜的吸氢能力下降,而且不同化学状态的碳对钛膜吸氢能力的影响也不同。实验结果表明,呈TiC状态的碳是降低钛膜吸氢能力的主要因素,其原因是它使解离吸附位置减少。 展开更多
关键词 钛膜 碳污染 薄膜 俄歇电子谱 吸氢量
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碳气氛中熔炼金属时控制碳污染研究
9
作者 肖云峰 蒋驰 +2 位作者 税毅 王术刚 刘春荣 《铸造技术》 CAS 北大核心 2003年第1期62-63,共2页
进行碳气氛中陶瓷坩埚、带喷涂涂层石墨坩埚熔炼纯铁、铀、铀铌合金工艺试验 ,结果表明 ,与不带盖熔炼比较 。
关键词 金属 碳污染 气氛 坩埚 熔炼 增量
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(Ga,In)As半导体MOVPE生长过程中源物质的热分解及半导体碳污染的分析
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作者 李长荣 王冈 +1 位作者 李静波 张维敬 《稀有金属》 EI CAS CSCD 北大核心 1999年第3期209-213,共5页
运用相平衡分析的方法,对(Ga,In)As半导体MOVPE生长过程中源物质热分解后的气相物种分压进行了分析,得到了沉积物种的生成率随各生长参数的变化规律,同时对气相物种分压与半导体碳污染的关系也进行了分析。
关键词 半导体 热分解 碳污染 MOVPE 砷化镓 砷化铟
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离子注入中碳污染膜的研究(英文)
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作者 阎鹏勋 《甘肃科学学报》 1992年第3期45-50,共6页
本文研究了离子注入过程中样品表面碳污染的来源,以及各种注入因素对碳膜厚度的影响。文中对碳膜沉积对离子注入样品的性能影响也给予了适当的讨论。
关键词 离子注入 碳污染
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微通道板表面碳污染的去除 被引量:2
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作者 蔡华 曹振博 +5 位作者 李方骏 薄铁柱 李庆 徐滔 王彩丽 刘辉 《中国建材科技》 2017年第1期33-35,共3页
基于微通道板材料和结构特性,采用俄歇电子能谱仪(AES)分析了不同清洗条件下微通道板表面碳污染情况。研究结果表明:微通道板表面均存在一定程度的碳污染,且包边区碳污染程度高于端面通道区通道壁表面。紫外臭氧清洗能有效去除微通道板... 基于微通道板材料和结构特性,采用俄歇电子能谱仪(AES)分析了不同清洗条件下微通道板表面碳污染情况。研究结果表明:微通道板表面均存在一定程度的碳污染,且包边区碳污染程度高于端面通道区通道壁表面。紫外臭氧清洗能有效去除微通道板表面的碳污染,且使微通道板端面通道区通道壁表面K元素含量提高20%~35%。 展开更多
关键词 微通道板 碳污染 紫外臭氧清洗
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GaAs,GaP,InP,GaInAs,GaInPAs晶体表面碳污染的去除
13
作者 陶兆民 夏长虹 +1 位作者 潘晓丹 潘峡 《电子科学学刊》 CSCD 1989年第1期107-112,共6页
本文以UV/O_3法去除GaAs,GaP,InP,GaInAs,OaInPAs晶体表面碳的污染,实验给出不同的结果并给予解释。
关键词 晶体表面 碳污染 UV/O3法 AES
全文增补中
放电等离子烧结钛酸钡陶瓷的碳污染及脱碳工艺研究
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作者 赵国林 黄俊 汪涛 《陶瓷学报》 CAS 2006年第4期376-381,共6页
为了研究放电等离子烧结钛酸钡陶瓷过程中的碳污染及脱碳工艺,以钛酸钡粉体为原料,用石墨模具,以碳纸为脱模包覆材料,在1150℃、50MPa条件下进行放电等离子烧结。用XRD对脱碳前后烧结体进行物相分析,用能谱仪对不同脱碳时间下的烧结体... 为了研究放电等离子烧结钛酸钡陶瓷过程中的碳污染及脱碳工艺,以钛酸钡粉体为原料,用石墨模具,以碳纸为脱模包覆材料,在1150℃、50MPa条件下进行放电等离子烧结。用XRD对脱碳前后烧结体进行物相分析,用能谱仪对不同脱碳时间下的烧结体的碳元素的分布进行线分析,用扫描电镜观察脱碳时间对组织的影响。结果表明:石墨模具会污染钛酸钡烧结体,碳元素沿烧结体半径方向呈梯度分布;脱碳温度为800℃时,保温2小时能够完全除去烧结体内的碳污染,并得到致密、组织均匀的钛酸钡陶瓷。 展开更多
关键词 放电等离子烧结 钛酸钡 碳污染
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真空油淬炉的碳污染 被引量:1
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作者 叶丽梅 刘连生 《金属加工(热加工)》 2017年第9期95-96,共2页
弹性敏感元件多采用碳含量很低的奥氏体不锈钢、沉淀硬化不锈钢、高温合金、精密弹性合金等板带材制造,由于真空油淬炉固溶处理存在碳污染,不仅提高了材料的冷作硬化率,破坏了成形性能,而且也改变了材料的性质。
关键词 真空油淬炉 碳污染 弹性敏感元件
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美国控制道路机动车碳污染的法律措施
16
作者 成锴 《河南省政法管理干部学院学报》 CSSCI 2011年第5期221-225,共5页
控制机动车碳污染直接关乎美国国家温室气体减排目标的实现与否。近年来美国联邦政府在继续推行公司平均燃料经济标准并提高其要求的同时,鼓励生产销售与购买环保车辆,还相继创建并不断完善可再生燃料标准、低碳燃料标准和碳污染物排放... 控制机动车碳污染直接关乎美国国家温室气体减排目标的实现与否。近年来美国联邦政府在继续推行公司平均燃料经济标准并提高其要求的同时,鼓励生产销售与购买环保车辆,还相继创建并不断完善可再生燃料标准、低碳燃料标准和碳污染物排放标准制度,以期能有效控制其道路机动车的碳排放水平。 展开更多
关键词 机动车碳污染 公司平均燃料经济标准 可再生燃料标准 燃料标准
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中国进出口产品的隐含碳污染贸易条件变化研究
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作者 韦政伟 杨川 《价格月刊》 北大核心 2022年第10期58-62,共5页
改革开放以来,中国全面加大对外贸易开放力度,进出口贸易企业不断增多,为促进中国贸易经济发展起到了积极的推动作用。但随着全球贸易竞争日益激烈,加之自然与气候环境的恶化,进出口贸易企业面临的碳排放和碳税成本增长压力也越来越大... 改革开放以来,中国全面加大对外贸易开放力度,进出口贸易企业不断增多,为促进中国贸易经济发展起到了积极的推动作用。但随着全球贸易竞争日益激烈,加之自然与气候环境的恶化,进出口贸易企业面临的碳排放和碳税成本增长压力也越来越大。鉴于此,在探讨近些年中国进出口产品隐含碳污染情况的基础上,着重研究了中国进出口产品隐含碳污染贸易条件变化的原因,最后提出了优化中国进出口产品结构、加强海关及贸易监管、加强碳污染排放管控、提高能源整合利用效率、加强技术研发改善能源结构等对策建议。 展开更多
关键词 进出口产品 隐含碳污染 贸易条件
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金融发展调控下碳污染减排效应评价模型构建研究
18
作者 黄文耿 《环境科学与管理》 CAS 2022年第9期26-31,共6页
为实现更全面的碳污染减排效应评价,在金融发展调控下设计一种碳污染减排效应评价模型。在金融发展调控的大背景下,构建碳污染减排效应评价模型。在标准化处理中,采用的处理方法为最小方差中值处理方法。通过网络层次分析法计算模型指... 为实现更全面的碳污染减排效应评价,在金融发展调控下设计一种碳污染减排效应评价模型。在金融发展调控的大背景下,构建碳污染减排效应评价模型。在标准化处理中,采用的处理方法为最小方差中值处理方法。通过网络层次分析法计算模型指标权重。对于获得的模型评价指标对应稳定权重值,通过灰色聚类法对其实施权重聚类分析处理,主要是根据制定的灰类集合,通过白化权函数模型实施权重值的聚类分析处理。利用设计模型对某地区的碳污染减排效应进行评价。测试结果表明该模型能够实现省、市的碳污染减排效应评价,具有良好的评价性能。 展开更多
关键词 金融发展调控 碳污染 标准化处理 减排效应评价模型 企业能源利用率
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内河船舶碳排放监测技术探究
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作者 魏坤昊 李涛 +1 位作者 鲁盛静 吴新华 《交通节能与环保》 2024年第2期6-11,共6页
开展内河船舶碳排放监测可以为船舶碳减排政策的制定提供数据支撑,有助于国家“双碳”目标的推进。本文总结了国内外船舶碳排放监测技术的应用现状,包括排放因子监测法、台架试验法、现场人工监测法、在线监测法和远程监测法。分析了各... 开展内河船舶碳排放监测可以为船舶碳减排政策的制定提供数据支撑,有助于国家“双碳”目标的推进。本文总结了国内外船舶碳排放监测技术的应用现状,包括排放因子监测法、台架试验法、现场人工监测法、在线监测法和远程监测法。分析了各监测技术的特点、优势及不足,探究了各监测技术在我国内河航运的适用性,最后提出了相关建议。 展开更多
关键词 船舶尾气 碳污染 监测方法
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向碳污染妥协?
20
作者 娜奥米·奥雷斯克斯 红猪(翻译) 《环球科学》 2023年第5期94-94,共1页
“现实主义者”说石油和天然气不会很快退场。真要是那样,我们的气候就完蛋了。2022年接近尾声时,一家科学学会举办了一系列科学会议。我在一场有关气候变化的会议上担任小组成员。会议快结束时,一位知名科学家宣布我们都要“现实一点”... “现实主义者”说石油和天然气不会很快退场。真要是那样,我们的气候就完蛋了。2022年接近尾声时,一家科学学会举办了一系列科学会议。我在一场有关气候变化的会议上担任小组成员。会议快结束时,一位知名科学家宣布我们都要“现实一点”,他说石油和天然气在短期内不会被废除,我们在尝试解决气候危机的时候必须要接受这一点。 展开更多
关键词 科学学会 气候危机 碳污染 气候变化 小组成员 石油和天然气
原文传递
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