脉冲碳等离子体源发射特性研究

研究讨论了在脉冲工作方式下,碳等离子体源的发射特性.根据离子束流分布和膜层厚度测试结果,分析了影响脉冲碳等离子体源发射特性的因素.给出了改善脉冲碳等离子体源发射特性的途径.

类金刚石薄膜的拉曼光谱研究

利用脉冲碳等离子体源可以直接在Si和Ge片镀制类金刚石薄膜.被镀制的类金刚石薄膜一般采用激光拉曼光谱仪进行定性分析.实验结果表明:SP^3成分含量与SP^2成分含量之比,与放电回路的电压有关,在一定电压范围内,随电压的增加,SP^3与SP^2之比增大,从而选择出镀制类金刚石薄膜的最佳工艺参数.