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TiO_2碳还原氮化法制备TiN粉末 被引量:9
1
作者 张国军 《硅酸盐学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1990年第3期277-281,共5页
本文报道了用TiO_2碳还原氮化法制备TiN粉末的实验结果,当用N_2为氮化剂时影响皮应的主要因素为温度和时间,而用分解氨为氮化剂时分解氨的流量也成为重要的影响因素。采用XRD法探讨了反应过程的机制,初步确定了还原过程的中间产物为Tj_... 本文报道了用TiO_2碳还原氮化法制备TiN粉末的实验结果,当用N_2为氮化剂时影响皮应的主要因素为温度和时间,而用分解氨为氮化剂时分解氨的流量也成为重要的影响因素。采用XRD法探讨了反应过程的机制,初步确定了还原过程的中间产物为Tj_3O5。 展开更多
关键词 氧化钛 碳还原氮化法 氮化 粉末
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TiO_2碳还原氮化法制备TiN的实验规律
2
作者 张国军 成龙胜 《中国陶瓷》 CAS CSCD 北大核心 1989年第1期6-9,共4页
本文报道了采用TiO_2-C-N_2(或NH_3)系制备TiN粉末的实验规律,指出了分别采用N_2和分解氨(N_2+3H_2)为氮化剂时影响合成反应进行的因素,并初步摸索出了合成单相TiN粉末的条件。
关键词 TIO2 碳还原氮化法 氮化
全文增补中
高品级氮化铝粉体及其碳热还原氮化工艺研究进展
3
作者 秦运璞 张智睿 +15 位作者 赵勇智 王永 刘鸾 张一铭 徐海峰 吉晓霞 张泽鹏 王月隆 何庆 鲁慧峰 张德印 吴昊阳 浦恩祥 贾宝瑞 曲选辉 秦明礼 《粉末冶金技术》 CAS CSCD 北大核心 2024年第3期215-225,共11页
氮化铝(AlN)具有高导热、绝缘、低膨胀、无磁等优异性能,是半导体、电真空等领域高端装备的关键材料,特别是在航空航天、轨道交通、新能源装备、高功率LED、5G通讯、电力传输、工业控制等领域功率器件中具有不可取代的作用。高品级粉体... 氮化铝(AlN)具有高导热、绝缘、低膨胀、无磁等优异性能,是半导体、电真空等领域高端装备的关键材料,特别是在航空航天、轨道交通、新能源装备、高功率LED、5G通讯、电力传输、工业控制等领域功率器件中具有不可取代的作用。高品级粉体是制备高性能陶瓷的基础,氮化铝粉体的性质直接影响了后续成形、烧结等工艺以及材料的组织和性能。碳热还原氮化法制备氮化铝粉体具有纯度高、粒度细和烧结性好等特点,本文综述了氮化铝粉末的评价指标以及碳热还原氮化法制备氮化铝粉末的研究进展,提出未来研究与产业化的方向与趋势。 展开更多
关键词 氮化 还原氮化 粉体制备 粉末指标
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碳热还原氮化硅藻土制备Si_(2)N_(2)O/SiC复合粉体
4
作者 万赣 匡猛 +3 位作者 黄思源 张琎珺 王平 张声洲 《硅酸盐通报》 CAS 北大核心 2024年第7期2680-2684,共5页
氧氮化硅(Si_(2)N_(2)O)是性能优良的耐火材料和高温结构材料,具有优异的抗蠕变性、耐腐蚀性和抗氧化性等优点。本工作利用硅藻土作为硅源,乙炔炭黑作为还原剂,通过碳热还原氮化法在硅藻土表面原位合成Si_(2)N_(2)O/SiC复合粉体。采用X... 氧氮化硅(Si_(2)N_(2)O)是性能优良的耐火材料和高温结构材料,具有优异的抗蠕变性、耐腐蚀性和抗氧化性等优点。本工作利用硅藻土作为硅源,乙炔炭黑作为还原剂,通过碳热还原氮化法在硅藻土表面原位合成Si_(2)N_(2)O/SiC复合粉体。采用X射线衍射(XRD)分析、扫描电子显微镜(SEM)和N_(2)吸附/脱附等温线对样品进行表征。结果表明,在原料配比m(硅藻土)∶m(乙炔炭黑)=1∶1条件下,1 450℃煅烧4 h后,SiO_(2)完全转变成Si_(2)N_(2)O和β-SiC物相,样品整体呈球状形貌,大颗粒周围分布大量片层状小颗粒,并存在介孔结构。Si_(2)N_(2)O/SiC复合粉体作为性能优良的高温结构材料,有望在结构复合材料中得到广泛的应用。 展开更多
关键词 Si_(2)N_(2)O/SiC 硅藻土 还原氮化 多孔结构 高温结构材料 复合粉体
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碳热还原氮化法制备β-Sialon粉体的研究 被引量:9
5
作者 刘明 高立春 +3 位作者 徐利华 仉小猛 王缓 王体壮 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第5期1260-1263,共4页
采用山西大同土为主要原料,利用碳热还原氮化法(CRN)制备了β-Sialon材料,并利用SEM、XRD等检测手段对其进行了检测分析。研究了温度、N2流量、保温时间以及配碳量等因素对制备β-Sialon的影响,采用正交设计的方法确定了反应的最佳工艺... 采用山西大同土为主要原料,利用碳热还原氮化法(CRN)制备了β-Sialon材料,并利用SEM、XRD等检测手段对其进行了检测分析。研究了温度、N2流量、保温时间以及配碳量等因素对制备β-Sialon的影响,采用正交设计的方法确定了反应的最佳工艺参数,并在此基础上讨论了α-Si3N4晶种对生成产物的影响。实验结果表明,烧结温度为1500℃,氮气流量为1 L/min,保温时间为2 h,配碳量为0.8化学计量时可以生成较多的β-Sialon相。SEM微观形貌表明具有一定长径比的β-Sialon柱状晶呈均匀分布。此外,加入3%的晶种α-Si3N4可促使晶粒大小均匀并获得高品质细密结构的粉体。 展开更多
关键词 大同土 Sialon粉 还原氮化
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几种碳源对碳热还原氮化法制备Ti(C,N)粉末的影响 被引量:7
6
作者 余鹏飞 叶金文 +3 位作者 刘颖 何旭 王杰 杨嘉 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第5期850-853,共4页
以纳米TiO2和不同碳源为原料,采用碳热还原氮化法,制备了Ti(C,N)粉末。通过X射线衍射分析、热分析、扫描电镜、化学成分分析等手段研究了TiO2碳热还原氮化过程的反应机理和不同碳源对制备碳氮化钛粉末的影响。结果表明,在TiO2碳热还原... 以纳米TiO2和不同碳源为原料,采用碳热还原氮化法,制备了Ti(C,N)粉末。通过X射线衍射分析、热分析、扫描电镜、化学成分分析等手段研究了TiO2碳热还原氮化过程的反应机理和不同碳源对制备碳氮化钛粉末的影响。结果表明,在TiO2碳热还原氮化过程中,前期主要为TiO2/C固-固反应,后期CO参与的气-固反应变为主要反应;当碳黑为碳源时,比之活性碳和石墨,反应最为完全,而且粉末产物粒度较为细小均匀;同时随着碳黑比表面积的增大,碳氮比随之降低,游离碳和氧含量随之减小;当以比表面积为600m2/g的碳黑为碳源时,配碳量为28.8%的混合物在加热到1700℃,保温3h,氮气流量为1000mL/min的条件下,得到了游离碳含量<0.2%、氧含量<0.5%,总碳为11.42%的碳氮化钛粉末。 展开更多
关键词 不同 还原氮化 TI(C N) 反应机理 氮比
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碳热还原氮化法制备AlN超细粉体新工艺 被引量:6
7
作者 赵志江 林生 +2 位作者 余寒峰 吴马辉 孙旭东 《机械工程材料》 CAS CSCD 北大核心 2009年第2期49-51,66,共4页
为降低碳热还原氮化法制备AlN粉体的反应温度,减小粉体粒径、缩短反应时间,以勃母石(-γAlOOH)为铝源、蔗糖为碳源,采用碳热还原氮化法在不同温度下制备了AlN超细粉体,用XRD、TEM等方法分析了所制备粉体的物相组成与形貌。结果表明:在1 ... 为降低碳热还原氮化法制备AlN粉体的反应温度,减小粉体粒径、缩短反应时间,以勃母石(-γAlOOH)为铝源、蔗糖为碳源,采用碳热还原氮化法在不同温度下制备了AlN超细粉体,用XRD、TEM等方法分析了所制备粉体的物相组成与形貌。结果表明:在1 480℃、流通氮气氛中保温1 h可制备出平均粒径为350 nm的AlN粉体,大幅度降低了反应温度,缩短了反应时间;在高温下,-γAlOOH分解成Al2O3,部分Al2O3被碳还原成气态铝和铝的低价氧化物(Al2O,AlO),它们与氮气直接反应生成AlN和中间相AlON,随后中间相AlON也发生反应生成AlN。 展开更多
关键词 勃母石 蔗糖 AlN粉体 还原氮化
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基于非水解sol-gel法的碳热还原氮化合成氮化铝超细粉体 被引量:8
8
作者 魏颖娜 魏恒勇 +3 位作者 赵冬梅 卜景龙 于云 王瑞生 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第17期2546-2549,共4页
以无水氯化铝和异丙醚为原料,采用非水解溶胶-凝胶法制备出氧化铝凝胶。其经800℃煅烧才析出少量γ-Al2O3晶体,γ-Al2O3向α-Al2O3晶型转变在1200℃附近,经900℃煅烧后比表面积仍高达145m2/g,具有介孔结构。以该高活性氧化铝凝胶作为铝... 以无水氯化铝和异丙醚为原料,采用非水解溶胶-凝胶法制备出氧化铝凝胶。其经800℃煅烧才析出少量γ-Al2O3晶体,γ-Al2O3向α-Al2O3晶型转变在1200℃附近,经900℃煅烧后比表面积仍高达145m2/g,具有介孔结构。以该高活性氧化铝凝胶作为铝源,采用碳热还原氮化工艺合成氮化铝粉体。结果表明,氧化铝凝胶经300℃预煅烧,按n(C)/n(Al)=7.8与碳黑混合,在流量80mL/min高纯N2中,于1450℃还原氮化2h便可合成出平均粒径在400nm的高纯六方相AlN粉体。 展开更多
关键词 非水解溶胶-凝胶 还原氮化 氮化 超细粉体
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碳热还原氮化法制备β’-SiAlON的工艺条件研究 被引量:6
9
作者 王瑞生 谷小华 +2 位作者 王志发 卜景龙 范增为 《耐火材料》 CAS 北大核心 2007年第1期50-53,共4页
采用质量分数80%的粘土(广西高岭土或吉林球粘土)和20%的炭黑为原料,以白云石、CaO、TiO2为烧结助剂,经碳热还原氮化反应制备了β’-SiAlON材料。研究了烧成温度、保温时间、烧结助剂、成型压力和粘土种类等因素对制备β’-SiAlON材料... 采用质量分数80%的粘土(广西高岭土或吉林球粘土)和20%的炭黑为原料,以白云石、CaO、TiO2为烧结助剂,经碳热还原氮化反应制备了β’-SiAlON材料。研究了烧成温度、保温时间、烧结助剂、成型压力和粘土种类等因素对制备β’-SiAlON材料的影响。结果表明,烧成温度以1450℃为宜,延长保温时间有利于β’-SiAlON相的形成;烧结助剂的催化效果以TiO2最好,白云石次之;随着成型压力的增大,合成试样中β’-SiAlON相减少;粘土原料的化学组成(m(SiO2)/m(Al2O3))对β’-SiAlON的Z值产生影响,m(SiO2)/m(Al2O3)减小时,Z值趋于增大。 展开更多
关键词 还原氮化 SIALON材料 烧结助剂
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高岭土的化学组成对碳热还原-氮化法合成β′-sialon粉末的影响 被引量:8
10
作者 万隆 唐绍裘 +2 位作者 余润洲 刘才群 杜海清 《硅酸盐学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1999年第1期116-119,共4页
研究了以不同化学组成的高岭土为主要原料并采用碳热还原-氮化法合成的sialon粉末的相组成.结果表明:合成粉末的物相组成及β′-sialon的Z值与高岭土的m(SiO2)/m(Al2O3)比值密切相关.
关键词 高岭土 化学组成 还原-氮化 合成 β′-sialon粉末 影响 氧化硅 氧化铝 质量比 陶瓷粉末
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球磨对碳热还原氮化法制备氮化铝粉末的作用 被引量:4
11
作者 刘新宽 马明亮 周敬恩 《耐火材料》 CAS 北大核心 1998年第6期313-315,318,共4页
研究了高能球磨对氧化铝碳热还原反应制备氮化铝的作用。结果表明:氧化铝及没料经高能球磨后,碳热还原反应开始温度降低,完全反应的温度降至1250℃。与未经球磨的反应相比,反应进行程度提高。球磨产生的机械化学作用,如细化晶粒、... 研究了高能球磨对氧化铝碳热还原反应制备氮化铝的作用。结果表明:氧化铝及没料经高能球磨后,碳热还原反应开始温度降低,完全反应的温度降至1250℃。与未经球磨的反应相比,反应进行程度提高。球磨产生的机械化学作用,如细化晶粒、晶格畸变和大量缺陷及表面断健作用是球磨促进碳热还原反应的主要原因。 展开更多
关键词 氮化 还原氮化 球磨 陶瓷
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碳热还原氮化法制备β-Sialon的影响因素 被引量:3
12
作者 姜涛 杨建 薛向欣 《材料导报》 EI CAS CSCD 2004年第3期21-23,31,共4页
综述了采用碳热还原氮化法制备β-Sialon的影响因素。详细分析了各种因素,如反应温度、恒温时间、N_2流量和分压、配C量、碳源、添加剂以及原料组成和粒度对反应速率、反应氮化率、产物相组成和粒度等的影响。
关键词 还原氮化 Β-SIALON 粒度 添加剂 耐火材料
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木屑种类对SiO_2碳热还原氮化法制备氮化硅粉体的影响 被引量:2
13
作者 马啸尘 尹洪峰 +1 位作者 张军战 任耘 《耐火材料》 CAS 北大核心 2015年第2期96-100,共5页
为了确定SiO2碳热还原氮化法制备氮化硅时合适的木屑种类,分别以松、桐两种木屑和SiO2质量分数为2.5%、5%、7.5%、10%、15%、20%的硅溶胶为原料,采用真空常压浸渍-碳热还原氮化法(成型压力10 MPa,氮气流量400 m L·min-1,反应温度1 ... 为了确定SiO2碳热还原氮化法制备氮化硅时合适的木屑种类,分别以松、桐两种木屑和SiO2质量分数为2.5%、5%、7.5%、10%、15%、20%的硅溶胶为原料,采用真空常压浸渍-碳热还原氮化法(成型压力10 MPa,氮气流量400 m L·min-1,反应温度1 500℃,反应时间9 h)制备了氮化硅粉体,并对采用本法制备Si3N4粉体的传质机制进行了初步探讨。结果表明:松、桐两种木屑分别经w(SiO2)=7.5%的硅溶胶浸渍后,经碳热还原氮化反应均可制得高α-Si3N4和β-Si3N4含量的混合粉体,但用松木屑制得的Si3N4粉体中α相含量明显较桐木屑的高,更适合用此法制备氮化硅粉体;本试验中碳热还原氮化反应采用的是形成气相中间产物的传质形式,C颗粒是氮化物颗粒的前驱物,其基本反应过程是:木屑炭化→原位还原SiO2→生成气体中间产物→N2参与反应→完成碳热还原氮化反应。 展开更多
关键词 氮化 松木屑 桐木屑 硅溶胶 浸渍 还原氮化
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碳热还原氮化法合成AlON粉体的表征及透明陶瓷的制备 被引量:3
14
作者 雷景轩 施鹰 石坚波 《硅酸盐通报》 CAS CSCD 北大核心 2018年第5期1520-1524,共5页
以γ-Al_2O_3和炭黑为原料,通过碳热还原氮化法合成AlON粉体,经球磨后得到了亚微米级AlON粉体,无压烧结制备了透明AlON陶瓷,利用SEM、XRD、FTIR、电子能量损失谱(EELS)和氧氮分析仪对粉体进行了分析表征。结果表明:合成的AlON粉体经1 h... 以γ-Al_2O_3和炭黑为原料,通过碳热还原氮化法合成AlON粉体,经球磨后得到了亚微米级AlON粉体,无压烧结制备了透明AlON陶瓷,利用SEM、XRD、FTIR、电子能量损失谱(EELS)和氧氮分析仪对粉体进行了分析表征。结果表明:合成的AlON粉体经1 h球磨后得到了平均粒度为0.65μm,比表面积为12.6 m^2/g的AlON粉体,粉体中Al含量与Al_5O_6N相的接近,氧含量稍微偏高,氮含量偏低。该粉体添加0.08wt%Y_2O_3+0.02wt%La_2O_3为烧结助剂,在1875℃无压烧结24 h制备了光学直线透过率为71.5%@900 nm的透明AlON陶瓷(1 mm厚)。 展开更多
关键词 还原氮化 AlON粉 电子能量损失谱 透明陶瓷
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碳热还原氮化法制备SiAlON陶瓷材料 被引量:5
15
作者 王体壮 徐利华 +2 位作者 钱扬保 刘明 姚云 《佛山陶瓷》 2004年第8期33-36,共4页
碳热还原氮化工艺是近年来制备低成本高性能SiAlON陶瓷材料的一种实用方法,具有产业化生产潜力。本文对碳热还原氮化法制备SiAlON的进展进行了综述,归纳分析了不同条件对生成物性能的影响,对今后的研究进行了展望。
关键词 还原氮化 制备 SIALON陶瓷 高岭土
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碳热还原氮化法制备氮化钒铁合金的研究 被引量:8
16
作者 吴跃东 张国华 周国治 《铁合金》 2017年第6期31-35,共5页
提出了一种以五氧化二钒或者三氧化二钒、氧化铁和石墨为原料,以高温碳热还原氮化反应制备氮化钒铁合金的新工艺,分别研究配碳比、反应温度、取样方式、合金牌号对于氮化钒铁产品质量(氮含量、氧含量、碳含量、密度)的影响。以此工艺制... 提出了一种以五氧化二钒或者三氧化二钒、氧化铁和石墨为原料,以高温碳热还原氮化反应制备氮化钒铁合金的新工艺,分别研究配碳比、反应温度、取样方式、合金牌号对于氮化钒铁产品质量(氮含量、氧含量、碳含量、密度)的影响。以此工艺制备氮化钒铁,所得产品具有高氮、低碳、低氧及高密度等特性,能够满足合金化过程的需求。 展开更多
关键词 氮化钒铁 还原氮化 氧化钒
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非水解溶胶—凝胶碳热还原氮化法制备TiN粉体研究 被引量:3
17
作者 崔燚 卜景龙 +5 位作者 魏恒勇 王瑞生 魏颖娜 于云 于洋 严昊苏 《陶瓷》 CAS 2014年第1期26-30,共5页
首先,以四氯化钛为原料,异丙醚为氧供体,二氯甲烷为溶剂,采用非水解溶胶-凝胶法合成高活性的TiO2凝胶;其次以其为钛源,选用分子量为1 300 000的聚乙烯吡咯烷酮为碳源,采用碳热还原氮化法合成TiN粉体。X射线衍射仪、场发射扫描电镜和激... 首先,以四氯化钛为原料,异丙醚为氧供体,二氯甲烷为溶剂,采用非水解溶胶-凝胶法合成高活性的TiO2凝胶;其次以其为钛源,选用分子量为1 300 000的聚乙烯吡咯烷酮为碳源,采用碳热还原氮化法合成TiN粉体。X射线衍射仪、场发射扫描电镜和激光粒度仪测试结果表明,与水解法相比,采用非水解法合成的TiO2凝胶经800℃煅烧0.5h仍为活性较高的锐钛矿相,以该凝胶为钛源,经1 200℃碳热还原氮化2h可合成纯度相对较高的TiN粉体,将合成温度升至1 300℃还原氮化5h可合成更高纯度的TiN粉体。TiN粉体颗粒呈近似球形,发育较好,粒径在1μm以下,激光粒度测定粒径主要集中在10μm左右,d50为8μm。 展开更多
关键词 非水解溶胶-凝胶 还原氮化 氮化 粉体
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碳热还原氮化法制备超细AlN粉体的过程及特性 被引量:1
18
作者 魏鑫 张浩 +4 位作者 孙登琼 田晨光 刘翔宇 崔嵩 汤文明 《粉末冶金材料科学与工程》 EI 北大核心 2018年第6期624-631,共8页
将超细Al_2O_3粉、纳米碳黑和有机粘结剂混合,通过挤压成形和排胶处理制成多孔前驱体,然后高温煅烧发生碳热还原氮化反应,最后脱除残余的碳,得到AlN粉体。对AlN粉体的形貌、结晶度、晶粒尺寸、平均粒度以及O、N、C含量进行观察与分析。... 将超细Al_2O_3粉、纳米碳黑和有机粘结剂混合,通过挤压成形和排胶处理制成多孔前驱体,然后高温煅烧发生碳热还原氮化反应,最后脱除残余的碳,得到AlN粉体。对AlN粉体的形貌、结晶度、晶粒尺寸、平均粒度以及O、N、C含量进行观察与分析。结果表明,经360℃/2 h排胶后的前驱体为多孔结构,比表面积大,孔隙为球形。1 650℃以上温度下煅烧的产物中无Al_2O_3,AlN合成过程趋于完成,与热力学计算结果相吻合。脱碳温度对粉末C含量影响最大,其次是进料速率。多孔前驱体在1 700℃下煅烧12 h,然后在温度为700℃、纯氧气氛、进料速率为4 kg/h的条件下脱碳,得到的AlN粉体O,N,C含量分别为0.77%,33.42%和323×10^(-6),粉末颗粒圆整,粒径分布范围较窄,平均粒径d_(50)=1.36μm。AlN粉体特性与国外同类产品接近。 展开更多
关键词 氮化铝粉体 还原氮化 前驱体 粉体特性 煅烧
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开放体系下碳热还原氮化法制备(Cr,Ta)_2CN固溶体粉末的研究
19
作者 张豪 叶金文 +1 位作者 刘颖 马世卿 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第B06期71-74,共4页
以Cr2O3、Ta2O5和纳米碳黑为原料,在开放体系的流动N2气氛条件下,采用碳热还原氮化法制备出了(Cr,Ta)2CN固溶体粉末,利用XRD、SEM、EDS等分析测试手段对制备过程中的物相演变规律和微观形貌变化进行了研究。研究结果表明,碳热还原氮化... 以Cr2O3、Ta2O5和纳米碳黑为原料,在开放体系的流动N2气氛条件下,采用碳热还原氮化法制备出了(Cr,Ta)2CN固溶体粉末,利用XRD、SEM、EDS等分析测试手段对制备过程中的物相演变规律和微观形貌变化进行了研究。研究结果表明,碳热还原氮化法制备(Cr,Ta)2CN固溶体粉末过程中物相演变顺序为Cr2O3、Ta2O5、C→Cr2O3、Cr3C2、Cr7C3、Cr Ta O4、C→Cr2O3、Cr7C3、Cr Ta O4→(Cr,Ta)2CN。在N2流量为500 m L/min、烧结温度为1 500℃保温2 h的条件下,可制备出粒度约5μm、游离碳和氧含量分别为0.16%,0.085%的单相(Cr,Ta)2CN固溶体粉末。 展开更多
关键词 开放体系 还原氮化 物相演变 固溶体
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温度对碳热还原/氮化法合成氮化硅的影响 被引量:3
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作者 万小涵 张广清 +1 位作者 Oleg Ostrovski Hal Aral 《中国工程科学》 北大核心 2015年第1期62-66,共5页
碳热还原/氮化合成Si3N4在1300~1600℃下N2或N2-H2混合气中进行。反应物由非晶SiO2与C粉以1∶4.5摩尔比混合、压片。产生的CO由红外传感器监测,样品中氧、氮、碳含量由LECO元素分析仪测得,混合物各相由X射线衍射(XRD)检测。SiO2还... 碳热还原/氮化合成Si3N4在1300~1600℃下N2或N2-H2混合气中进行。反应物由非晶SiO2与C粉以1∶4.5摩尔比混合、压片。产生的CO由红外传感器监测,样品中氧、氮、碳含量由LECO元素分析仪测得,混合物各相由X射线衍射(XRD)检测。SiO2还原反应在1300℃以下开始,速率随温度升高增大;温度高于1570℃时,速率因反应物表面被生成物覆盖降低。由于还原产物CO平衡分压差别小,选择生成Si3N4或SiC的临界温度不明显。碳热还原/氮化法合成氮化硅的原理需进一步探讨。 展开更多
关键词 还原/氮化 临界温度 生成物选择性 CO平衡分压
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