磁控溅射制备碳/铬复合镀层的结构特征及自润滑性能

采用非平衡磁控溅射技术在45钢片和单晶硅片上制备出自润滑碳/铬复合镀层;采用X射线光电子能谱仪检测镀层化学成分,用X射线衍射仪分析镀层相结构,用扫描电子显微镜和透射电子显微镜观察镀层显微结构,用销-盘式摩擦磨损试验机研究镀层自润滑性能。结果表明:镀层相结构为非晶态,主要由碳和铬两种单质及其化合物组成;铬靶电流影响镀层显微结构,随着电流增加,镀层表面变得粗糙,颗粒间结合越来越紧密,镀层摩擦因数增大;铬靶电流为0.1A和0.3A时镀层有大量石墨相存在,具有良好的自润滑性能和承载能力。

从三价铬镀液电沉积非晶态Cr—C镀层的研究

1 前言 非晶态材料具有优良的物理、化学和力学性能,已获得较为广泛的应用。 制造非晶态材料的方法有急冷法,离子注入法,CVD法,激光及化学镀和电镀等,其中电镀法所用设备简单,可制成面积大和形状复杂的非晶态薄层材料,适合于连续作业和大规模生产,且可制备其它方法无法获得的非晶态材料。