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磁场溅射+磁场退火对Ce_9Fe_(91)薄膜高频软磁性能的优化
1
作者
熊坚
袁斌
+4 位作者
洪家君
谢林
熊玲华
周雪云
侯翠岭
《磁性材料及器件》
CAS
2017年第6期9-13,共5页
为了研究磁场溅射和磁场退火对材料磁性能的影响,用磁控溅射制备了几组CeFe薄膜,分别为衬底不加磁场的样品(No)和溅射时衬底加磁场的样品(FS),No和FS样品在外部磁场作用下分别在260℃、360℃热退火处理得到的样品。通过比较磁滞回线和...
为了研究磁场溅射和磁场退火对材料磁性能的影响,用磁控溅射制备了几组CeFe薄膜,分别为衬底不加磁场的样品(No)和溅射时衬底加磁场的样品(FS),No和FS样品在外部磁场作用下分别在260℃、360℃热退火处理得到的样品。通过比较磁滞回线和高频磁谱,发现No样品磁退火之后各项性能几乎没变化。而磁场溅射的样品矫顽力更大,面内单轴各向异性场也更大,共振频率变化不大。磁场溅射之后再磁场退火显著地降低了CeFe薄膜的矫顽力,增大饱和磁化强度,增高共振频率。因此最有效的方法是同时利用磁场溅射和磁场退火来提高CeFe薄膜的软磁特性和高频截止频率。
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关键词
CeFe薄膜
软磁性能
面内单轴各向异性
磁场溅射
磁场
退火
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职称材料
磁控溅射技术进展及应用(上)
被引量:
47
2
作者
徐万劲
《现代仪器》
2005年第5期1-5,共5页
近年来磁控溅射技术的应用日趋广泛,在工业生产和科学研究领域发挥巨大作用。随着对具有各种新型功能的薄膜需求的增加,相应的磁控溅射技术也获得进一步的发展。本文将介绍磁控溅射技术的发展,以及闭合磁场非平衡溅射、高速率溅射及自...
近年来磁控溅射技术的应用日趋广泛,在工业生产和科学研究领域发挥巨大作用。随着对具有各种新型功能的薄膜需求的增加,相应的磁控溅射技术也获得进一步的发展。本文将介绍磁控溅射技术的发展,以及闭合磁场非平衡溅射、高速率溅射及自溅射、中频及脉冲溅射等各种新技术及特点,阐述磁控溅射技术在电子、光学、表面功能薄膜、薄膜发光材料等许多方面的应用。
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关键词
薄膜
沉积方法
磁控
溅射
技术
闭合
磁场
非平衡
溅射
高速率
溅射
自
溅射
脉冲
溅射
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职称材料
弧光放电氩离子清洗源
被引量:
2
3
作者
王福贞
陈大民
颜远全
《真空》
CAS
2019年第1期27-33,共7页
弧光放电氩离子清洗源是提高膜基结合力的新技术。由空心阴极枪、热丝弧枪、阴极电弧源发射的高密度弧光电子流把氩气电离,用得到的高密度的氩离子流清洗工件。工件偏压200V以下,工件偏流可以达到10A-30A,弧光放电氩离子流密度大,对工...
弧光放电氩离子清洗源是提高膜基结合力的新技术。由空心阴极枪、热丝弧枪、阴极电弧源发射的高密度弧光电子流把氩气电离,用得到的高密度的氩离子流清洗工件。工件偏压200V以下,工件偏流可以达到10A-30A,弧光放电氩离子流密度大,对工件的清洗效果好。本文介绍了几种配置弧光放电氩离子清洗源的电弧离子镀膜机和磁控溅射镀膜机。
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关键词
固体弧光放电氩离子清洗源
气体弧光放电氩离子清洗源
结合力
旋靶管型柱状非平衡闭合
磁场
的磁控
溅射
镀膜机
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职称材料
一种保护玻璃防水雾透明导电薄膜的设计与制备
4
作者
马永龙
刘红光
《光学与光电技术》
2011年第3期56-58,63,共4页
为了使光学仪器能适应低温潮湿环境,设计了一种复合型的保护玻璃防水雾透明导电薄膜。采用非平衡闭合磁场反应溅射技术在K9玻璃基底上沉积了氧化铟锡(ITO)导电膜以及复合型的透明导电膜系。采用光谱仪、方阻仪测试了样品的透射光谱以及...
为了使光学仪器能适应低温潮湿环境,设计了一种复合型的保护玻璃防水雾透明导电薄膜。采用非平衡闭合磁场反应溅射技术在K9玻璃基底上沉积了氧化铟锡(ITO)导电膜以及复合型的透明导电膜系。采用光谱仪、方阻仪测试了样品的透射光谱以及方块电阻,并对样品进行了环境试验。结果表明,样品的光学技术指标以及抗恶劣环境性能均达到了使用要求。
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关键词
透明导电薄膜
非平衡闭合
磁场
反应
溅射
ITO薄膜
环境试验
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职称材料
题名
磁场溅射+磁场退火对Ce_9Fe_(91)薄膜高频软磁性能的优化
1
作者
熊坚
袁斌
洪家君
谢林
熊玲华
周雪云
侯翠岭
机构
九江学院理学院江西省固体微结构重点实验室
出处
《磁性材料及器件》
CAS
2017年第6期9-13,共5页
基金
江西省自然科学基金资助项目(20161BAB206104)
江西教育科技厅项目(GJJ151070)
文摘
为了研究磁场溅射和磁场退火对材料磁性能的影响,用磁控溅射制备了几组CeFe薄膜,分别为衬底不加磁场的样品(No)和溅射时衬底加磁场的样品(FS),No和FS样品在外部磁场作用下分别在260℃、360℃热退火处理得到的样品。通过比较磁滞回线和高频磁谱,发现No样品磁退火之后各项性能几乎没变化。而磁场溅射的样品矫顽力更大,面内单轴各向异性场也更大,共振频率变化不大。磁场溅射之后再磁场退火显著地降低了CeFe薄膜的矫顽力,增大饱和磁化强度,增高共振频率。因此最有效的方法是同时利用磁场溅射和磁场退火来提高CeFe薄膜的软磁特性和高频截止频率。
关键词
CeFe薄膜
软磁性能
面内单轴各向异性
磁场溅射
磁场
退火
Keywords
CeFe film
soft magnetic properties
in-plane uniaxial anisotropy
high frequency properties
field-sputtering
field-annealing
分类号
TM271.2 [一般工业技术—材料科学与工程]
O484.43 [理学—固体物理]
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职称材料
题名
磁控溅射技术进展及应用(上)
被引量:
47
2
作者
徐万劲
机构
北京大学物理学院
出处
《现代仪器》
2005年第5期1-5,共5页
基金
硅基发光研究项目得到国家自然科学基金委员会光电重大计划重点项目90201037资助
文摘
近年来磁控溅射技术的应用日趋广泛,在工业生产和科学研究领域发挥巨大作用。随着对具有各种新型功能的薄膜需求的增加,相应的磁控溅射技术也获得进一步的发展。本文将介绍磁控溅射技术的发展,以及闭合磁场非平衡溅射、高速率溅射及自溅射、中频及脉冲溅射等各种新技术及特点,阐述磁控溅射技术在电子、光学、表面功能薄膜、薄膜发光材料等许多方面的应用。
关键词
薄膜
沉积方法
磁控
溅射
技术
闭合
磁场
非平衡
溅射
高速率
溅射
自
溅射
脉冲
溅射
Keywords
Magnetron Sputtering yield Unbalanced magnetron sputtering Closed-field Unbalanced magnetron sputtering Sustained self-sputtering
分类号
O484.1 [理学—固体物理]
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职称材料
题名
弧光放电氩离子清洗源
被引量:
2
3
作者
王福贞
陈大民
颜远全
机构
北京联合大学
大连纳晶科技公司
深圳嘉德真空光电有限公司
出处
《真空》
CAS
2019年第1期27-33,共7页
文摘
弧光放电氩离子清洗源是提高膜基结合力的新技术。由空心阴极枪、热丝弧枪、阴极电弧源发射的高密度弧光电子流把氩气电离,用得到的高密度的氩离子流清洗工件。工件偏压200V以下,工件偏流可以达到10A-30A,弧光放电氩离子流密度大,对工件的清洗效果好。本文介绍了几种配置弧光放电氩离子清洗源的电弧离子镀膜机和磁控溅射镀膜机。
关键词
固体弧光放电氩离子清洗源
气体弧光放电氩离子清洗源
结合力
旋靶管型柱状非平衡闭合
磁场
的磁控
溅射
镀膜机
Keywords
vacuum arc discharge argon ion cleaning source
gas arc discharge argon ion cleaning source
adhesive strength
magnetron sputtering system with unbalanced closed magnetron field of cylindrical cathode
分类号
TG173 [金属学及工艺—金属表面处理]
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职称材料
题名
一种保护玻璃防水雾透明导电薄膜的设计与制备
4
作者
马永龙
刘红光
机构
海军驻中南地区光电系统军事代表室
中国人民解放军
出处
《光学与光电技术》
2011年第3期56-58,63,共4页
文摘
为了使光学仪器能适应低温潮湿环境,设计了一种复合型的保护玻璃防水雾透明导电薄膜。采用非平衡闭合磁场反应溅射技术在K9玻璃基底上沉积了氧化铟锡(ITO)导电膜以及复合型的透明导电膜系。采用光谱仪、方阻仪测试了样品的透射光谱以及方块电阻,并对样品进行了环境试验。结果表明,样品的光学技术指标以及抗恶劣环境性能均达到了使用要求。
关键词
透明导电薄膜
非平衡闭合
磁场
反应
溅射
ITO薄膜
环境试验
Keywords
transparent conductive coatings
unbalanced closed field magnetron reactive sputtering
ITO coatings
environ- mental test
分类号
O484 [理学—固体物理]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
磁场溅射+磁场退火对Ce_9Fe_(91)薄膜高频软磁性能的优化
熊坚
袁斌
洪家君
谢林
熊玲华
周雪云
侯翠岭
《磁性材料及器件》
CAS
2017
0
下载PDF
职称材料
2
磁控溅射技术进展及应用(上)
徐万劲
《现代仪器》
2005
47
下载PDF
职称材料
3
弧光放电氩离子清洗源
王福贞
陈大民
颜远全
《真空》
CAS
2019
2
下载PDF
职称材料
4
一种保护玻璃防水雾透明导电薄膜的设计与制备
马永龙
刘红光
《光学与光电技术》
2011
0
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
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