基于MEMS技术的微型磁性开关阵列

为了在二维微驱动系统中实时检出磁性移动块的存在位置 ,提出并试制了一种基于MEMS工艺的微型磁性开关阵列 ,它作为一种位置传感器通过扫描查询方式工作。对该传感器的工作原理、制做工艺做了详细的描述 ,并给出了一些实验结果。

基于MEMS技术的微型磁性开关阵列

为了在二维微驱动系统中实时检出移动块的存在位置 ,试制了一种基于MEMS工艺的微型磁性开关阵列 ,它作为一种位置传感器通过扫描查询方式工作。本文对该传感器的工作原理、制作工艺做了详细的描述 。