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小圆面非平衡磁控原子源研究
1
作者 郑思孝 《四川大学学报（自然科学版）》 CAS CSCD 1992年第4期580-582,共3页
在文[1—6]的基础上,研制了小圆面非平衡磁控源,取得了同轴圆柱磁控原理用于平面磁控源并达到实用的小型化。1
关键词 非平衡 磁控原子源 磁控放电
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