真空灭弧室真空度测量方法的探讨

通过磁控放电原理的阐述,指出在外激励电源、真空灭弧室的几何尺寸、所用材料一定时,真空灭弧室内的真空度与电离的电荷量有非常准确的对应关系。介绍了采用电离电荷量测量真空灭弧室真空度的方法及在南京地区一年来的现场实测的应用情况。