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题名BP数字识别自动监控系统
被引量:5
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作者
张红
刘磊
孙彦峰
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机构
吉林大学集成电子学国家重点联合实验室吉林大学实验区
吉林大学集成光电子学国家重点联合实验室吉林大学实验区
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出处
《小型微型计算机系统》
CSCD
北大核心
2009年第3期503-506,共4页
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基金
国家自然科学基金青年基金项目(60603031)资助
教育部博士学科点专项科研基金项目(20060183044)资助
吉林省技术发展计划项目基金项目(20050527)资助
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文摘
设计并实现了磁控溅射仪自动监控系统,对实验过程进行自动监控并记录实验数据,由服务器主控程序监控实验,存储并识别数字数据,识别过程是调用Matlab语言编写的识别系统生成的动态链接库,用BP神经网络训练神经元来进行识别,可以由客户端主控程序调用并查看实验数据曲线,实现实时的远程监控,解决了磁控溅射仪没有数据输出接口不方便记录实验数据的困难及实验过程中高辐射对人体危害的问题.整个系统识别效率高,速度快,准确性高,自动监控实验过程,具有很高的实用价值和应用前景.
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关键词
磁控溅射仪
神经网络
数字识别
自动监控系统
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Keywords
magnetron sputtering apparatus
neural networks
digital recognition
automatic monitoring system
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分类号
TP273
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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