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塑料ITO膜磁控溅射卷绕镀膜机的研制
1
作者 李宪华 张文刚 郑新 《真空》 CAS 北大核心 2000年第6期38-39,共2页
本文介绍了塑料 ITO膜磁控溅射卷绕镀膜机的研制 ,就采用磁控溅射卷绕法制备
关键词 塑料ITO膜 磁控溅射卷绕氏膜机 成膜工艺
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