期刊文献+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
共找到4篇文章
< 1 >
每页显示 20 50 100
已选择0条
导出题录 引用分析
参考文献
引证文献
 统计分析
检索结果
已选文献
显示方式：
磁控溅射机离子电源的双重作用
1
作者 梁贵军 《电子元件与材料》 CAS CSCD 1993年第4期31-33,共3页
概述了磁控溅射机离子电源的正极——电子捕集器的双重作用:除了捕集逃逸电子外,还具有增加膜层中氧化物成分的作用。
关键词 磁控溅射机 离子电源 电子捕集器
下载PDF
半导体成膜用磁控溅射机
2
作者 洪声 《等离子体应用技术快报》 1994年第7期9-10,共2页
关键词 磁控溅射机 半导体 薄膜 成膜
下载PDF
塑料ITO膜磁控溅射卷绕镀膜机的研制
3
作者 李宪华 张文刚 郑新 《真空》 CAS 北大核心 2000年第6期38-39,共2页
本文介绍了塑料 ITO膜磁控溅射卷绕镀膜机的研制 ,就采用磁控溅射卷绕法制备
关键词 塑料ITO膜 磁控溅射卷绕氏膜机 成膜工艺
下载PDF
一种磁制冷机的磁制冷装置
4
作者 马昌军 《西华大学学报（自然科学版）》 CAS 2007年第5期88-88,共1页
本发明提供了一种在磁制冷材料表面制作薄膜的方法及装置。采用不同的靶材，可以在磁制冷材料上紧密形成0．1～6μm厚的薄膜，使磁制冷材料在磁制冷机中使用时不受热交换液体的腐蚀，同时不影响热交换。靶材可以是合金如不锈钢，也可以... 本发明提供了一种在磁制冷材料表面制作薄膜的方法及装置。采用不同的靶材，可以在磁制冷材料上紧密形成0．1～6μm厚的薄膜，使磁制冷材料在磁制冷机中使用时不受热交换液体的腐蚀，同时不影响热交换。靶材可以是合金如不锈钢，也可以是纯金属如钛、铝、铜、镍或锆。被处理的磁制冷材料可以是颗粒状、片状或丝状。本发明使用的处理装置为低温磁控溅射机，溅射枪和靶材安装在真空室的上部， 展开更多
关键词 制冷装置 磁制冷机 磁制冷材料 磁控溅射机 材料表面 热交换 靶材 不锈钢
下载PDF
已选择0条
导出题录 引用分析
参考文献
引证文献
 统计分析
检索结果
已选文献
上一页 1 下一页 到第 页
使用帮助 返回顶部