同轴磁场对非平衡磁控溅射系统放电特性的影响

采用激励电流可以调整的电磁线圈来激发非平衡磁场,调整约束磁场和放电空间等离子体状态。实验结果表明调整非平衡磁场显著影响系统的放电特性,使放电特性偏离常规的磁控溅射系统放电特性,增强了等离子体的引出效果。在Ar放电的条件下,详细研究了溅射系统的工作伏安特性随不同的工作气体、气压和溅射功率的变化规律。根据蔡尔得公式,讨论了非平衡磁场对于磁控溅射系统中放电特性的影响规律。

对靶非平衡磁控溅射系统平面探针诊断

对靶非平衡磁控溅射系统由两个相对磁控溅射靶和一个磁镜场约束系统构成 ,通过调整电磁线圈的激励电流可以控制磁镜场的空间分布状态 ,测量了合成磁场的空间分布状态。采用平面探针方法 ,在两靶中间位置测量了收集电流密度。结果表明 ,探针的收集电流密度随磁镜场的激励电流增加显著增大 ,在偏压 15 0V、工作气体 Ar、压力 0 .2 Pa和磁控溅射靶工作电流 3A时 ,收集的电流密度可以达到 5 .77m A / cm2 。

非平衡磁控溅射系统的研究

介绍了非平衡磁控溅射系统的原理、试验性能情况 。

非平衡磁控溅射系统的离子束流控制

在非平衡磁控溅射沉积非磁性金属薄膜过程中,离子 原子到达比、沉积速率等参数是影响薄膜结构和性能的重要因素。根据非平衡磁控溅射沉积过程中离子的分布特点,分别考虑离子和中性粒子的传输,导出了对圆形平面靶非平衡磁控溅射沉积薄膜的放电功率、气压和离子束流密度等参数之间的关系,阐明了放电参数对于沉积过程离子束流密度等参数的影响。在Ar放电条件下,测量了系统的伏安特性;采用偏压平面离子收集电极测量了溅射系统轴向离子束流密度随不同的气压、溅射电流和空间位置的变化规律。结果表明模型分析的结论和实验数据的变化趋势相符合。

非平衡磁控溅射沉积系统伏安特性模型研究

非平衡磁控溅射沉积系统的伏安特性对阴极溅射和薄膜沉积过程具有重要的影响 .通过分析在常规磁控溅射沉积系统中非平衡磁场对于放电过程的影响 ,根据蔡尔得定律研究了非平衡磁场对磁控溅射沉积系统伏安特性影响的基本规律 ;

Influence of Ti on Microstructure and Magnetic Properties of FePt Granular Films

在室温下,应用对靶直流磁控溅射设备在普通玻璃基片上制备了FePt(30 nm)／Ti(t nm)颗粒膜样品,随后,在真空中进行了原位退火。详细研究了Ti衬底层对FePt颗粒膜的微结构和磁特性的影响。X射线衍射图谱表明样品形成了较有序的L10织构,Ti和FePt形成了三元FePtTi合金。当Ti层厚度t=5 nm、退火温度Ta=500℃时,样品具有高度有序的L10织构、小的颗粒尺寸和优异的磁特性。矫顽力超过了6．7 kOe,饱和磁化强度为620emu／cc。并且具有较小的开关场分布。结果表明FePt／Ti颗粒膜系统可作为超高密度磁记录介质的候选者。

高风险等级实验室“无人化”成套设备

实验室的发展依托于工业现代化发展,为提高高风险等级实验室运行的可视性和安全性,将自动化辅助设备、气体泄漏自动处理装置以及能检测人体生理参数的智能手环与实验室使用过程中的各环节有机结合,为促进实验室智能化水平的进一步提升有着良好的促进作用。以自动化辅助设备在实验室中的磁控溅射镀膜设备的应用为例,探讨自动化技术在实验室中的应用,并针对当前应用中存在的问题提出了相关建议,以促进实验室环境设旋的安全有效发展。

Experimental research of optical fiber hydrogen gas sensing system based on palladium-silver alloy

A novel optical fiber hydrogen sensing system based on palladium(Pd) and sliver(Ag) is proposed. By direct current(DC) magnetron process, Pd/Ag alloy ultra-thin films were deposited on the substrate to eliminate the hydrogen embrittlement of sensor based on pure Pd. Several samples with different thin film thicknesses were fabricated at different substrate temperatures and tested in the optical fiber hydrogen sensor setup. We do a series of experiments for obtaining optimum sputtering parameters, such as optimum sputtering temperature and thickness of Pd/Ag alloy film. The humidity effect and reliability experiment for the optical fiber hydrogen gas sensor are reported in detail. The testing results demonstrate the Pd/Ag alloy is a promising material for optical fiber hydrogen gas sensor.