交流双极脉冲磁控溅射电源研制及ZnO:Al透明薄膜制备

设计一台高性能的交流双极脉冲电源,用于驱动反应式磁控溅射靶机在透明基底上制备Zn O:Al薄膜。对电源的输出电压、电流、等离子体放电特性和光电辐射光谱特性进行测试,讨论不同工作气压对电源电气特性的影响。实验结果表明,该电源多变量可控,具备良好的电弧削弱能力,可驱动磁控溅射靶机在活性气体环境中制备出高沉积率的Zn O:Al透明薄膜。系统结构简单,性价比高,具有较强的市场推广能力。