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影响磁控阴极溅射法镀膜玻璃质量的原因及解决办法
1
作者
赵峰
《玻璃》
1994年第3期36-39,45,共5页
介绍磁控阴极溅射法镀膜玻璃的生产原理、特点和影响镀膜玻璃质量的原因和解决的办法。讨论了氩气对膜层的影响、环境对膜层的牢固度的影响、原片质量及洗涤后二次污染对膜层的影响。指出溅射效果的好坏与现场的环境有密切的关系。
关键词
磁控阴极溅射法
镀膜玻璃
质量
环境
下载PDF
职称材料
题名
影响磁控阴极溅射法镀膜玻璃质量的原因及解决办法
1
作者
赵峰
机构
中国耀华玻璃集团公司镀膜玻璃厂
出处
《玻璃》
1994年第3期36-39,45,共5页
文摘
介绍磁控阴极溅射法镀膜玻璃的生产原理、特点和影响镀膜玻璃质量的原因和解决的办法。讨论了氩气对膜层的影响、环境对膜层的牢固度的影响、原片质量及洗涤后二次污染对膜层的影响。指出溅射效果的好坏与现场的环境有密切的关系。
关键词
磁控阴极溅射法
镀膜玻璃
质量
环境
分类号
TQ171.6 [化学工程—玻璃工业]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
影响磁控阴极溅射法镀膜玻璃质量的原因及解决办法
赵峰
《玻璃》
1994
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