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影响磁控阴极溅射法镀膜玻璃质量的原因及解决办法
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作者 赵峰 《玻璃》 1994年第3期36-39,45,共5页
介绍磁控阴极溅射法镀膜玻璃的生产原理、特点和影响镀膜玻璃质量的原因和解决的办法。讨论了氩气对膜层的影响、环境对膜层的牢固度的影响、原片质量及洗涤后二次污染对膜层的影响。指出溅射效果的好坏与现场的环境有密切的关系。
关键词 磁控阴极溅射法 镀膜玻璃 质量 环境
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