溅射输运理论中的经典散射截面

利用溅射理论中常用的 Lindhard标度相互作用势碰撞散射分析了 Sigmund单幂散射截面与双幂散射截面之间的区别。分析表明 ,对于 Born- Mayer相互作用势碰撞散射 ,双幂截面可以给出比单幂截面好得多的描述。特别对于 Urbassek的 Kr- C相互作用势 。