磁浸没透镜的宽束曲轴像差理论

本文采用宽束曲轴电子光学理论 ,研究了磁浸没透镜的电子光学特性 ,得出了主轨迹方程和曲近轴轨迹方程 ,并利用数学软件Mathematica推导出了其全部二级像差系数 .针对轴上磁场分布具有解析表达式的磁浸没透镜 ,文中还计算了它的曲轴二级像差 ,并给出了其孔径像差的弥散图形情况 。

无束腰的磁浸没透镜系统的理论研究和数值模拟

采用曲轴坐标系统 ,导出了磁浸没透镜的宽束曲光轴理论 ,研究了初始正则角动量矩不为零的无束腰磁透镜系统的电子光学性质 ;数值模拟出了能产生缩倍聚场分布的磁透镜结构 ,并计算了具有解析表达式的缩倍聚场的高斯成像性质 。

复合静电-磁浸没透镜的宽束曲轴聚焦性质及像差理论

研究了新型的复合静电 磁浸没透镜的曲光轴高斯电子光学性质及像差特性。应用宽束曲轴理论 ,导出了三维局部正交坐标系中的电子运动的中心轨迹方程和曲光轴的近轴轨迹方程 ;利用数学软件Mathematica推导出了复合静电 磁浸没透镜全部曲轴二级像差系数。作为实例 ,文中针对轴上磁场和电场具有某种解析表达式的旋转对称的静电 磁浸没透镜系数 ,计算了它的曲轴高斯聚焦特性和二级像差 。

磁浸没透镜的宽束曲轴像差分析的微分代数方法研究

微分代数是计算机数值分析领域中的一个非常有效的方法 ,可以实现任意高阶微分的准确计算 .本文根据微分代数方法的基本原理 ,将其引入到磁浸没透镜的宽束曲轴像差的分析计算中 ,得到了任意阶曲轴像差的微分代数表达式 .文中针对轴上磁场具有某种解析表达式的一个实际的磁浸没透镜系统 ,利用微分代数的曲轴像差分析方法 ,计算了它的曲轴像差 ,并给出了全部二阶和三阶几何像差的分布图形 .

用于投射式电子束曝光系统的磁浸没透镜的优化设计

以磁浸没透镜的电流密度值的大小为优化参量 ,以成像系统的轴上像散为目标函数 ,利用单纯形优化法对用于投射式电子束曝光系统的新型磁浸没透镜进行了优化设计。结果表明 ,目标函数由未经优化前的 35 8.187nm降低到 5 0 .6 93nm。同时单纯形优化法不需要已知目标函数与优化参量之间的解析关系式及求导 。

光学镜头、光学零部件

TH703 2002020848磁浸没透镜的宽束曲轴像差理论=Theory of curvedaxes aberration with wide beam for magnetic im-mersed lenses[刊,中]/程敏,唐天同(西安交通大学电子与信息工程学院.陕西,西安(710049))∥电子学报.—2001,29(6).—811-813采用宽束曲轴电子光学理论,研究了磁浸没透镜的电子光学特性,得出了主轨迹方程和曲近轴轨迹方程,并利用数学软件 Mathematica

光学元件

0118405磁浸没透镜的宽柬曲轴像差理论[刊]/程敏//电子学报.—2001,29(6).—811～813(E)0118406用应变仪探测光纤光栅波长移动的传感网络[刊]/谢芳//光电子·激光.—2001,12(5).—503～505(E)本文提出并实验了一种新的探测光纤光栅波长移动的系统。该系统采用抖动调制的方法逐步逼近光纤光栅反射光谱的中心波长、并用应变仪作为系统的读出装置,彻底消除压电陶瓷的非线性和滞后性带来的误差,使测量系统的精度得到明显提高。