低功耗磁溅式真空镀膜机自动控制系统

本文阐述了以PLC和触摸屏为核心的低功耗真空镀膜机自动控制系统。系统的分子泵单元节能90％以上,并介绍了该系统的软硬件结构,降低控制系统的功耗的方法,以及对靶单元实现闭环控制,控制电流的精度达0.5％,从而获得稳定的靶电流。

用PLC实现的磁溅式三靶真空镀膜机控制系统

设计的磁溅式三靶真空镀膜机控制系统,采用三菱PLC和EasyView触摸屏,具有参数设置、工艺流程控制、故障报警、保护等功能.文中介绍了PLC控制系统硬件与软件结构,以及对靶单元实现闭环控制,获得稳定靶电流情况.

用PLC实现的磁溅式三靶真空镀膜机控制系统

设计的磁溅式三靶真空镀膜机控制系统,采用三菱PLC和EasyView触摸屏,具有参数设置、工艺流程控制、故障报警、保护等功能。文中介绍了PLC控制系统软硬件结构,及抗干扰措施。