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LIGA技术及其在微驱动器中的应用
1
作者
陈刚
张立彬
胥芳
《微纳电子技术》
CAS
2002年第3期33-38,共6页
介绍了LIGA加工工艺以及多层掩模技术、复制技术和外形磨削成型技术的现状。给出LIGA技术在微驱动器中的应用。
关键词
多层掩模
技术
复制
技术
外形
磨削成型技术
LIGA
技术
下载PDF
职称材料
双曲面麻花钻几何参数与刃磨参数关系探讨
2
作者
李超
陈玲
《辽宁工程技术大学学报(自然科学版)》
EI
CAS
北大核心
2005年第2期270-272,共3页
探讨了目前还没有引起研究人员广泛关注的双曲面麻花钻的几何参数和磨削成型这种钻型所必须的一组刃磨参数。由于该钻型的主刃是双曲面上的曲线,主刃上任一点的锋角都不同,无法代表整个主刃的结构特点。因此用主刃的外缘和横刃转点的锋...
探讨了目前还没有引起研究人员广泛关注的双曲面麻花钻的几何参数和磨削成型这种钻型所必须的一组刃磨参数。由于该钻型的主刃是双曲面上的曲线,主刃上任一点的锋角都不同,无法代表整个主刃的结构特点。因此用主刃的外缘和横刃转点的锋角作为其设计几何参数值,并以尾隙角为补充参数,建立确定双曲面刃磨参数的一组方程。
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关键词
双曲面麻花钻
几何参数
磨削成型技术
刀具
钻头
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职称材料
题名
LIGA技术及其在微驱动器中的应用
1
作者
陈刚
张立彬
胥芳
机构
浙江工业大学机电工程学院
出处
《微纳电子技术》
CAS
2002年第3期33-38,共6页
文摘
介绍了LIGA加工工艺以及多层掩模技术、复制技术和外形磨削成型技术的现状。给出LIGA技术在微驱动器中的应用。
关键词
多层掩模
技术
复制
技术
外形
磨削成型技术
LIGA
技术
Keywords
LIGA technology
mask
replication
microactuator
分类号
TN305.7 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
双曲面麻花钻几何参数与刃磨参数关系探讨
2
作者
李超
陈玲
机构
南京师范大学电气学院
出处
《辽宁工程技术大学学报(自然科学版)》
EI
CAS
北大核心
2005年第2期270-272,共3页
基金
安徽省教育厅基金资助项目(2003kj-107)
江苏省自然科学基金资助项目(BK2004141)
南京师范大学科研基金资助项目(184070H2B47)
文摘
探讨了目前还没有引起研究人员广泛关注的双曲面麻花钻的几何参数和磨削成型这种钻型所必须的一组刃磨参数。由于该钻型的主刃是双曲面上的曲线,主刃上任一点的锋角都不同,无法代表整个主刃的结构特点。因此用主刃的外缘和横刃转点的锋角作为其设计几何参数值,并以尾隙角为补充参数,建立确定双曲面刃磨参数的一组方程。
关键词
双曲面麻花钻
几何参数
磨削成型技术
刀具
钻头
Keywords
twist drill
hyperboloid
grinding parameter
geometric parameter
分类号
TG713 [金属学及工艺—刀具与模具]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
LIGA技术及其在微驱动器中的应用
陈刚
张立彬
胥芳
《微纳电子技术》
CAS
2002
0
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职称材料
2
双曲面麻花钻几何参数与刃磨参数关系探讨
李超
陈玲
《辽宁工程技术大学学报(自然科学版)》
EI
CAS
北大核心
2005
0
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职称材料
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