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光电子材料的磨粒加工技术综述 被引量:1
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作者 朱火明 苏珍发 《超硬材料工程》 CAS 2009年第6期36-41,共6页
随着通讯、信息产业的迅速发展,各种光电子元件得到惊人的发展并趋于高性能化,对光电子材料的加工技术也提出了更高的要求。文章从锯切、磨削、抛光三个方面介绍了光电子材料的磨粒加工技术,并对光电子材料磨粒加工技术的发展趋势进行... 随着通讯、信息产业的迅速发展,各种光电子元件得到惊人的发展并趋于高性能化,对光电子材料的加工技术也提出了更高的要求。文章从锯切、磨削、抛光三个方面介绍了光电子材料的磨粒加工技术,并对光电子材料磨粒加工技术的发展趋势进行了展望。 展开更多
关键词 超硬材料工具 光电子材料 磨粒加工技术
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