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WSix沉积前清洗中一种失效现象及改进方法 被引量:1
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作者 孙震海 郭国超 韩瑞津 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2008年第3期245-247,256,共4页
研究并讨论了在WSix制备的前清洗中,用气态氟化氢(HF)清洗时,多晶硅表面有从其体内析出的含磷物,这种析出物很容易跟气态HF中的微量水汽结合,形成HPO3晶体。这样的晶体在Si片表面不容易被检测到,却可以很大程度地影响芯片的良率。本系... 研究并讨论了在WSix制备的前清洗中,用气态氟化氢(HF)清洗时,多晶硅表面有从其体内析出的含磷物,这种析出物很容易跟气态HF中的微量水汽结合,形成HPO3晶体。这样的晶体在Si片表面不容易被检测到,却可以很大程度地影响芯片的良率。本系统观测了这一现象,解释了这种失效的机制,并且给出这种失效模式的解决方案。 展开更多
关键词 硅化钨沉积 磷析出 沉积前清洗
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稀土La对高强IF钢中磷元素及含磷相析出的影响 被引量:3
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作者 任东 金自力 +3 位作者 任慧平 李媛媛 李一鸣 张继舜 《稀有金属》 EI CAS CSCD 北大核心 2021年第4期437-445,共9页
采用有无稀土镧的440 MPa高强IF钢为研究对象,分别在两种钢铸坯凝固、热轧卷取、冷轧、退火过程中取样,研究稀土镧对P元素及含P析出相析出行为的影响。对两种钢退火后组织、力学性能、析出物种类进行观察与测定。电感耦合等离子体质谱仪... 采用有无稀土镧的440 MPa高强IF钢为研究对象,分别在两种钢铸坯凝固、热轧卷取、冷轧、退火过程中取样,研究稀土镧对P元素及含P析出相析出行为的影响。对两种钢退火后组织、力学性能、析出物种类进行观察与测定。电感耦合等离子体质谱仪(ICP-MS)测定两种钢不同状态下电解出的第二相中P元素浓度,并计算得析出P占成分中P的比值。使用透射电镜加能谱(TEM+EDS)确定含P析出相种类、形貌、数量及分布。结果表明:稀土镧使得高强IF钢组织细化,抗拉强度提高;高强IF钢在铸坯凝固、热轧卷取及退火过程中稀土镧均抑制P元素析出,使成品中P的固溶量增加约12%;Nb+Ti+P高强IF钢在热轧卷取和退火过程中析出的含P相均为Fe(Nb+Ti)P复合相。对两种试样冷轧及最终成品状态中Fe(Nb+Ti)P析出相面密度和平均尺寸进行统计,结果表明,两种状态下试样1的面密度差值大于试样2,并且两种状态下试样1中Fe(Nb+Ti)P析出相的平均尺寸差值小于试样2,说明稀土镧可以减少Fe(Nb+Ti)P相析出,同时可以促使Fe(Nb+Ti)P析出相长大。稀土镧对Fe(Nb+Ti)P相的析出方式无影响,即退火前期Fe(Nb+Ti)P尺寸小且多为点状和棒状,分布较分散,随退火时间延长新的Fe(Nb+Ti)P相在之前形成的较大Fe(Nb+Ti)P相上继续形核并析出,出现串状和树枝状等复杂形貌且分布逐渐团聚;稀土镧对Fe(Nb+Ti)P形成机制无影响,高强IF钢中首先形成FeTi与FeNb混合富集相,随着热轧和退火过程进行,钢中固溶的P元素不断析出并扩散进入优先形成的FeTi与FeNb混合相中形成Fe(Nb+Ti)P相。 展开更多
关键词 高强IF钢 稀土La 析出与固溶 Fe(Nb+Ti)P
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Hierarchical cobalt phenylphosphonate nanothorn flowers for enhanced electrocatalytic water oxidation at neutral pH 被引量:1
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作者 Mei-Rong Liu Yang-Peng Lin +3 位作者 Kai Wang Shumei Chen Fei Wang Tianhua Zhou 《Chinese Journal of Catalysis》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2020年第10期1654-1662,共9页
Cobalt-based phosphate/phosphonates are a class of promising water oxidation catalysts at neutralpH.Herein,we reported a facile hydrothermal synthesis of various nanostructured cobalt phe-nylphosphonates.It is found t... Cobalt-based phosphate/phosphonates are a class of promising water oxidation catalysts at neutralpH.Herein,we reported a facile hydrothermal synthesis of various nanostructured cobalt phe-nylphosphonates.It is found that the number of hydroxyl group of structure-directing reagent iscrucial for the construction of 3D hierarchical structures including hierarchical nanosheet flow-er-like assemblies and nanothorn microsphere.These samples were characterized by scanningelectron microscopy,transmission electron microscopy,X-ray diffraction,infrared,and X-ray pho-toelectron spectroscopy techniques.They can act as highly efficient electrocatalysts for the oxygenevolution reaction at neutral pH.Among these,hierarchical cobalt phenylphosphonate nanothornflowers present excellent performance,affording a current density of 1 mA cm^-2 required a smalloverpotential of 393 mV.This work offers a new clue to develop high-performance metal phospho-nate/phosphate catalysts toward electrochemical water oxidation. 展开更多
关键词 PHOSPHATE Morphology ELECTROCATALYSIS Neutral pH Oxygen evolution reaction PHOSPHONATES
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超声与碱预处理对剩余污泥磷及有机物释放的影响 被引量:13
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作者 刘昌 曾萍 +4 位作者 宋永会 程建光 于会彬 祝超伟 李斌 《环境科学学报》 CAS CSCD 北大核心 2014年第5期1276-1284,共9页
为了回收污泥所含的磷,采用碱和超声波对3种剩余污泥进行预处理以释放磷,考察了处理前后PO3-4-P(正磷酸盐)、TP(总磷)、SCOD(可溶性COD)、TOC(总有机碳)、TS(总固体)、VS(挥发性固体)的释放规律及溶解性有机物的三维荧光特性变化.结果表... 为了回收污泥所含的磷,采用碱和超声波对3种剩余污泥进行预处理以释放磷,考察了处理前后PO3-4-P(正磷酸盐)、TP(总磷)、SCOD(可溶性COD)、TOC(总有机碳)、TS(总固体)、VS(挥发性固体)的释放规律及溶解性有机物的三维荧光特性变化.结果表明,碱和超声波处理均能有效破解污泥,释放磷和有机物;城市污泥比制药污泥更容易破解;城市污泥无机磷的释放高于有机磷,而工业污泥的有机磷释放高于无机磷;采用生物脱氮除磷工艺的城市污泥释放磷最多,释放有机物最少,有利于磷的进一步回收.碱处理和超声处理都不会从根本上改变污泥上清液中有机物的组分,但碱处理能促进污泥蛋白质类、腐殖酸类和富里酸类有机物的释放. 展开更多
关键词 剩余污泥 碱处理 超声波 磷析出 三维荧光
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