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题名黄磷尾气回收系统的安全设计要点
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作者
王孝武
孙水裕
李来明
王雄
涂宁宇
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机构
广东工业大学环境科学与工程学院
国投原宜磷化有限公司
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出处
《环境污染治理技术与设备》
CSCD
北大核心
2003年第9期39-41,共3页
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文摘
对一个 5 0 0 0t/a的黄磷电炉的尾气回收系统的设计进行了全面的安全分析 ,指出了其中存在的不足。在此基础上 ,提出了改进的设计方案 ,并在生产应用中取得了明显的成效 。
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关键词
黄磷电炉
尾气回收
安全
爆炸
磷蒸气
中国
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Keywords
phosphorus gas emission
recovery system
security design
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分类号
X78
[环境科学与工程—环境工程]
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题名白磷转化为红磷过程中爆炸原因探析
被引量:2
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作者
徐泽庆
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机构
峨眉半导体材料厂所
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出处
《四川有色金属》
2001年第2期47-51,共5页
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文摘
本文通过对工艺中白磷和红磷的结构及其有关性质的分析 ,提出和分析了白磷转化为红磷的模拟过程 。
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关键词
白磷
红磷
温度
磷蒸气压
爆炸
化合物半导体
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Keywords
white phosphorus
red phosphorus
temperature
phosphours vapour pressure
explosion
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分类号
TN304.2
[电子电信—物理电子学]
TQ126.31
[化学工程—无机化工]
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题名熔体温度对InP合成的影响
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作者
杨建业
王阳
李帅
李晓岚
孙聂枫
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机构
中国电子科技集团公司第十三研究所
中国电子科技集团公司第十三研究所专用集成电路重点实验室
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出处
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2016年第11期847-851,共5页
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文摘
熔体温度的精准测量和合理控制是快速合成化学配比磷化铟(InP)的关键,并直接影响晶体质量。由于单晶炉内温度梯度较大并且熔体表面有一层三氧化二硼覆盖层,测量高温高压单晶炉内熔体温度精度不高,针对这一难题,通过分析热偶位置对其测量结果的影响,修正热偶测量温度与实际熔体温度的偏差,使测控精度由±30℃提高至±5℃。基于熔体温度测量准确度的提高,实验结果表明,在合成过程中随着磷注入量的增加,控制熔体温度从1 110℃逐步降低到接近InP熔点的1 070℃时,合成效果最佳,成功实现2 h可重复合成4.7 kg化学配比的InP。
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关键词
磷化铟
磷蒸气注入
熔体温度
原位合成
化学配比
富铟
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Keywords
InP
phosphorus steam injection
melt temperature
insitu synthesis
stoichiometric
In-rich
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分类号
TN304.23
[电子电信—物理电子学]
TN304.05
[电子电信—物理电子学]
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题名基于原位合成法的InP单晶炉合成装置设计
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作者
梁仁和
金艳
周世增
孙聂枫
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机构
北京京仪世纪电子股份有限公司
专用集成电路重点实验室
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出处
《微纳电子技术》
CAS
北大核心
2014年第11期743-747,751,共6页
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基金
国家科技重大专项资助项目(2011ZX01006-001)
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文摘
基于磷蒸气注入原位合成技术及液封直拉磷化铟(InP)单晶的原理,设计了CZ-50型InP单晶炉。介绍了该单晶炉的主体结构,特别是原位合成装置的结构。该装置不仅可以实现磷蒸气注入法原位合成InP多晶材料,并且根据InP材料合成及单晶生长的特殊性,对该装置进行了结构创新设计:在炉盖上设计并安装了一套可升降的热偶测温装置,实现了在生产过程中,对坩埚内熔体温度进行在线测量;通过在炉体内部加设观察窗遮挡装置及对观察窗进行加热的方法,解决了长期以来InP材料合成及单晶生长过程中由于磷的挥发特性所导致的观察窗污染问题。
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关键词
磷化铟(InP)
单晶炉
原位合成
液封直拉(LEC)
磷蒸气注入
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Keywords
indium phosphide (InP)
single crystal furnace
in-situ synthesis
liquid encapsulated Czochralski (LEC)
phosphorusvapor injection
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分类号
TN304.23
[电子电信—物理电子学]
TF806
[冶金工程—有色金属冶金]
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题名加氢尾油催化裂解催化剂的失活动力学研究
被引量:1
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作者
王景芹
曹祖宾
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机构
辽宁石油化工大学石油化工学院
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出处
《石化技术与应用》
CAS
2007年第3期206-209,共4页
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文摘
以辽河加氢尾油为原料,改性ZSM-5分子筛为催化剂,采用X射线衍射法、NH3吸附TPD法和碳氢等分析法,考察了磷及水蒸气改性对ZSM-5分子筛的酸性和积炭的影响,并建立了催化剂积炭动力学模型。结果表明,水蒸气处理磷改性ZSM-5分子筛结构未被破坏,其积炭质量分数低于未改性、磷改性或水蒸气改性者;对ZSM-5分子筛催化裂解加氢尾油动力学行为的研究,获得了积炭质量分数动力学方程。
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关键词
加氢尾油
磷和水蒸气改性
分子筛催化剂
积炭
动力学
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Keywords
hydrocracking tail oil
phosphorus and steam modification
ZSM-5 zeolite
coking
dynamics
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分类号
TQ423.93
[化学工程]
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