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VLSI工艺中BPSG薄膜的研究 被引量:3
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作者 王强 姜斌 +1 位作者 邓宏 李如东 《电子元件与材料》 CAS CSCD 北大核心 2005年第1期53-56,共4页
BPSG(硼磷硅玻璃)薄膜作为一种重要的层间介质,在半导体集成电路中广泛使用。常压化学气相沉积的BPSG薄膜中B、P含量(质量分数)对BPSG的性能有着显著影响。以WJ—999R机台为基础,详细研究了B、P含量的变化对对BPSG薄膜的沉积率、蚀刻率... BPSG(硼磷硅玻璃)薄膜作为一种重要的层间介质,在半导体集成电路中广泛使用。常压化学气相沉积的BPSG薄膜中B、P含量(质量分数)对BPSG的性能有着显著影响。以WJ—999R机台为基础,详细研究了B、P含量的变化对对BPSG薄膜的沉积率、蚀刻率及其对回流效果的影响。研究发现:沉积率随着B含量的增加而增加;当P含量由0至1%时沉积率突然降低,随后随P含量的增加无显著变化。蚀刻率则随B含量的增加而降低,随P含量的增加而增加。B含量对回流效果的影响显著强于P含量的影响,每增加1%的B,玻璃软化温度降低约40℃。过高过低的B、P含量会产生异常,在3%B,5%P含量下BPSG薄膜有着优良的性能。 展开更多
关键词 半导体技术 磷硅玻璃 常压化学气相沉积 磷酸硼结晶
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Crystal Structure of Borophosphate with 6_1 Screw Axis Helices
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作者 石恒真 单永奎 +2 位作者 戴立益 刘煜炎 翁林红 《Chinese Journal of Structural Chemistry》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2003年第4期391-394,共4页
A brilliant purple octahedral single crystal is hydrothermally synthesized by the reaction of CoCl26H2O, H3BO3 and H3PO4 in NaOH aqueous solution of CH3(CH2)15N(CH3)3Br, and its crystal structure has been characterize... A brilliant purple octahedral single crystal is hydrothermally synthesized by the reaction of CoCl26H2O, H3BO3 and H3PO4 in NaOH aqueous solution of CH3(CH2)15N(CH3)3Br, and its crystal structure has been characterized by single-crystal X-ray diffraction. The compound, NaCo(H2O)2BP2O8稨2O (Mr = 336.72), belongs to hexagonal, space group P6122 with a = 9.447(5), c = 15.83(1) , V = 1223(1) 3, Dc = 2.742 g/cm3, Z = 6, F(000) = 1002 and m = 2.606 mm-1. The three-dimensional framework in the compound is built up from the linkage tetrahedral ribbons, in which the BO4 and PO4 tetrahedra alternate with CoO6 octahedra. The sodium ions and water molecules are located within the free thread of the helical ribbons. 展开更多
关键词 BOROPHOSPHATE single crystal helice TETRAHEDRA
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