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单烷基磷酸酯钾盐和烷基糖苷对钴互连化学机械抛光的影响
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作者 田雨暄 王胜利 +3 位作者 罗翀 王辰伟 孙纪元 张国林 《电镀与涂饰》 CAS 北大核心 2024年第4期47-55,共9页
[目的]目前钴(Co)互连化学机械抛光(CMP)使用的传统唑类抑制剂(如苯并三氮唑)一般有毒性,会对环境造成危害。[方法]在以甘氨酸为配位剂、过氧化氢为氧化剂和SiO_(2)(平均粒径60 nm)为磨料的情况下,添加阴离子型表面活性剂单烷基磷酸酯钾... [目的]目前钴(Co)互连化学机械抛光(CMP)使用的传统唑类抑制剂(如苯并三氮唑)一般有毒性,会对环境造成危害。[方法]在以甘氨酸为配位剂、过氧化氢为氧化剂和SiO_(2)(平均粒径60 nm)为磨料的情况下,添加阴离子型表面活性剂单烷基磷酸酯钾盐(MAPK)和非离子型表面活性剂烷基糖苷(APG)作为抑制剂,得到绿色环保的抛光液。先从Co的去除速率和静态腐蚀速率、抛光液的润湿性及抛光后Co的表面品质入手,研究了MAPK与APG对Co互连CMP的影响。接着通过电化学分析和密度泛函理论分析,构建出两种表面活性剂在Co表面的吸附模型,探讨了它们对Co互连CMP的影响机制。[结果]MAPK与APG复配时抛光液的润湿性最好,Co镀膜片在CMP过程中的去除速率和静态腐蚀速率分别为454 nm/min和1 nm/min,抛光后表面品质良好,无腐蚀缺陷。[结论]MAPK和APG都较环保,有望替代传统抑制剂用于钴互连化学机械抛光。 展开更多
关键词 钴互连 化学机械抛光 单烷基磷酸酯钾盐 烷基糖苷 去除速率 密度泛函理论
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烷基磷酸酯钾盐在聚酯短纤维上的应用 被引量:12
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作者 孙玉 郑帼 窦春花 《纺织学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第5期73-75,共3页
从宏观及微观两方面探讨了烷基磷酸酯钾盐(PK)对聚酯短纤维抗静电性和摩擦特性的影响。实验表明,烷基磷酸酯钾盐单、双酯的量比及温、湿度对纤维的抗静电性都有较大影响;PK乳液的粒径对其影响不大,但对纤维的摩擦特性有显著影响。通过... 从宏观及微观两方面探讨了烷基磷酸酯钾盐(PK)对聚酯短纤维抗静电性和摩擦特性的影响。实验表明,烷基磷酸酯钾盐单、双酯的量比及温、湿度对纤维的抗静电性都有较大影响;PK乳液的粒径对其影响不大,但对纤维的摩擦特性有显著影响。通过环境扫描电镜的观察发现,当PK乳液吸附量为0.1%时,能较好地包裹住纤维表面,当吸附量为0.3%时,C18PK在纤维表面的堆积多于C12PK。 展开更多
关键词 烷基磷酸酯钾盐 聚酯短纤维 抗静电性 摩擦特性 粒径
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烷基醚磷酸酯钾盐的合成及抗静电性探讨 被引量:6
3
作者 王万兴 于松华 徐群 《日用化学工业》 CAS CSCD 北大核心 1991年第4期6-9,共4页
本文研究了C_(11~13)醇醚磷酸酯钾盐的合成,确定出较佳的合成工艺条件,并测试了其抗静电性能,结果表明该产品作为涤纶纺丝的抗静电剂,具有较好的抗静电性能。
关键词 烷基醚 磷酸酯钾盐 合成 抗静电剂
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烷基磷酸酯钾盐乳液性能的研究 被引量:3
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作者 徐进云 魏俊富 +1 位作者 郑帼 孙玉 《天津工业大学学报》 CAS 北大核心 2010年第2期45-47,共3页
基于聚苯硫醚短纤维纺丝和加工工艺对烷基磷酸酯钾盐的性能要求,研究烷基磷酸酯钾盐的表面张力、润湿性、乳化性、起泡性、乳液稳定性等乳液性能及其影响因素.结果表明:随着烷基磷酸酯钾盐烷基链的增加,表面张力增大,润湿性降低,起泡性... 基于聚苯硫醚短纤维纺丝和加工工艺对烷基磷酸酯钾盐的性能要求,研究烷基磷酸酯钾盐的表面张力、润湿性、乳化性、起泡性、乳液稳定性等乳液性能及其影响因素.结果表明:随着烷基磷酸酯钾盐烷基链的增加,表面张力增大,润湿性降低,起泡性逐渐减小,泡沫稳定性增强;烷基链的长度对烷基磷酸酯钾盐的乳化性影响不大;随着pH值增大,烷基磷酸酯钾盐乳液的发泡能力减小,泡沫稳定性变差;随着烷基磷酸酯钾盐乳液粒径的减小,离心量减少,乳液稳定性增强;随着温度的升高,乳液的稳定性增强. 展开更多
关键词 烷基磷酸酯钾盐 乳液 聚苯硫醚 表面张力 润湿性 乳化性 乳液稳定性
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烷基磷酸酯钾盐乳液粒径的研究 被引量:3
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作者 孙玉 郑帼 窦春花 《精细石油化工》 CAS CSCD 北大核心 2006年第1期43-46,共4页
研究了影响烷基磷酸酯钾盐乳液粒径的各种因素,分析了乳液粒径与稳定性之间的关系,并且深入探讨了乳液粒径对聚酯短纤维性能的影响。结果表明,随着中和温度的升高,pH值的增大,烷基磷酸酯钾盐乳液粒径减小;但随着冷却时间的延长,C12烷基... 研究了影响烷基磷酸酯钾盐乳液粒径的各种因素,分析了乳液粒径与稳定性之间的关系,并且深入探讨了乳液粒径对聚酯短纤维性能的影响。结果表明,随着中和温度的升高,pH值的增大,烷基磷酸酯钾盐乳液粒径减小;但随着冷却时间的延长,C12烷基磷酸酯钾盐乳液粒径增大,C18烷基磷酸酯钾盐乳液粒径减小。乳液稳定性随着粒径的减小而增加,乳液粒径对聚酯短纤维的抗静电性影响较小,但对纤维的摩擦特性有较大影响。 展开更多
关键词 烷基磷酸酯钾盐 粒径 絮凝 聚酯短纤维 抗静电性 摩擦特性
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烷基磷酸酯钾盐中游离十二醇含量测定 被引量:2
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作者 尤进茂 李怀娜 丁养军 《日用化学工业》 CAS CSCD 北大核心 1994年第5期33-35,共3页
本文探讨了十二烷基磷酸酯钾盐中游离醇的提取方法,并对所提取的游离醇进行了衍生化处理,利用气相色谱法进行含量测定。本方法操作简单、快速,适用于工业生产中的控制及分析。
关键词 烷基磷酸酯钾盐 气相色谱 表面活性剂 十二醇
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烷基磷酸酯钾盐在聚苯硫醚短纤维上的应用 被引量:2
7
作者 徐进云 杨洪祥 +2 位作者 郑帼 孙玉 魏俊富 《合成纤维》 CAS 2010年第2期43-45,共3页
根据聚苯硫醚短纤维纺丝和加工工艺对抗静电性和摩擦性能的要求,研究了烷基磷酸酯钾盐的碳链长度、单双酯比例、pH值、纤维含油率、环境湿度对聚苯硫醚短纤维抗静电性和摩擦性能的影响。结果表明,随着烷基碳链长度的增加,烷基磷酸酯钾... 根据聚苯硫醚短纤维纺丝和加工工艺对抗静电性和摩擦性能的要求,研究了烷基磷酸酯钾盐的碳链长度、单双酯比例、pH值、纤维含油率、环境湿度对聚苯硫醚短纤维抗静电性和摩擦性能的影响。结果表明,随着烷基碳链长度的增加,烷基磷酸酯钾盐抗静电性下降,平滑性增加;提高烷基磷酸酯钾盐的单/双酯比例、pH值、纤维含油率和环境湿度也有助于改善聚苯硫醚短纤维的抗静电性。 展开更多
关键词 烷基磷酸酯钾盐 聚苯硫醚 抗静电性 摩擦 单双酯比例 含油率 环境湿度
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烷基磷酸酯钾盐乳化稳定性研究 被引量:1
8
作者 戴伊萍 杨毓莹 +4 位作者 舒建生 沙晓祥 李干佐 朱长德 牟建海 《精细化工》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第z1期32-34,共3页
烷基磷酸酯钾盐乳液的稳定性极大地影响其作为阴离子表面活性剂的应用。该文应用胶体化学理论,从乳状液稳定性原理出发,对烷基磷酸酯钾盐的乳化工艺进行了研究,采取初生皂法乳化工艺,乳化反应温度50~60℃,反应时间10~20min,控制反应... 烷基磷酸酯钾盐乳液的稳定性极大地影响其作为阴离子表面活性剂的应用。该文应用胶体化学理论,从乳状液稳定性原理出发,对烷基磷酸酯钾盐的乳化工艺进行了研究,采取初生皂法乳化工艺,乳化反应温度50~60℃,反应时间10~20min,控制反应产物的pH=10±1,可得到含有溶致液晶的、类似双连续型的稳定的烷基磷酸酯钾盐乳液。 展开更多
关键词 烷基磷酸酯钾盐 乳状液 稳定性
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单烷基醚磷酸酯钾盐对粘胶短纤维油剂性能的影响 被引量:1
9
作者 刘鹏 郁蕉竹 +2 位作者 谷亚新 刘运学 于云武 《合成纤维工业》 CAS 2019年第6期23-25,共3页
以单烷基醚磷酸酯钾盐为抗静电剂,与矿物油和表面活性剂复配制备一种新型粘胶短纤维油剂,考察了单烷基醚磷酸酯钾盐添加量对粘胶短纤维的比电阻(ρ)、表面张力(τ)等性能的影响,并采用扫描电镜表征了粘胶短纤维的表面形貌,测试了不同抗... 以单烷基醚磷酸酯钾盐为抗静电剂,与矿物油和表面活性剂复配制备一种新型粘胶短纤维油剂,考察了单烷基醚磷酸酯钾盐添加量对粘胶短纤维的比电阻(ρ)、表面张力(τ)等性能的影响,并采用扫描电镜表征了粘胶短纤维的表面形貌,测试了不同抗静电剂添加量的油剂的红外光谱。结果表明:添加了单烷基醚磷酸酯钾盐的油剂具有优异的抗静电性能;经油剂质量分数为10%的工作液上油处理,随着油剂中单烷基醚磷酸酯钾盐质量分数从0增加到20%,粘胶短纤维的ρ从69.53×10^6Ω·cm明显下降到3.06×10^6Ω·cm;经油剂质量分数为1%的工作液上油处理,随着油剂中单烷基醚磷酸酯钾盐浓度的增加,粘胶短纤维的τ没有明显变化,均显著低于未经上油处理粘胶短纤维的τ;该油剂具有较低ρ、较小τ,能够满足纤维后处理工序快速上油的需求。 展开更多
关键词 单烷基醚磷酸酯钾盐 粘胶短纤维 油剂 比电阻 表面张力
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非水电位滴定法测定烷基磷酸酯钾盐的单、双酯 被引量:4
10
作者 刘卫国 王勤静 朱鹤荣 《纺织学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1998年第1期38-41,共4页
应用非水电位滴定法测定烷基磷酸酯钾盐中的单、双酯,无需分离.测定的变异系数分别为3.0%和5.3%(n=12).本法有效消除了非离子表面活性剂和无机磷酸盐的干扰.适用于化纤油剂的质量检验和上油槽中油剂浓度的测定.
关键词 非水电位滴定法 油剂 烷基磷酸酯钾盐 单酯 双酯
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烷基磷酸酯钾盐的质量探讨 被引量:1
11
作者 舒建生 《金山油化纤》 1999年第4期31-33,共3页
通过实验,探讨了烷基磷酸酯钾盐(PK)质量对纤维质量的影响,并对影响PK稳定性的主要因素进行了分析,提出根据不同的需要,调节PK的质量,生产符合要求的油剂。
关键词 质量 油剂 烷基磷酸酯钾盐 化学纤维
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烷基磷酸酯钾盐的单,双酯测定
12
作者 王勤静 《表面活性剂工业》 1996年第4期42-45,53,共5页
本研究用非水电位滴定法测定各种烷基磷酸酯钾盐中的单、双酯,无需分离。测定的变异系数分别为2.3%和7.8%。本法有效消除了非离子表面活性剂和无机磷酸盐的干扰。适用于化纤油剂的质量检验和上油槽占的油剂的深度的测定。
关键词 非水电位滴定 烷基磷酸酯钾盐 表面活性剂 酯盐
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用电导滴定法分析烷基磷酸酯钾盐中阴离子活性物
13
作者 刘卫国 《金山油化纤》 1990年第2期1-9,29,共10页
分析阴离子表面活性剂活性物浓度,一般有亚甲基兰法,海明1622混合指示剂两相滴定法,对甲苯胺法,以及其他如溴酚兰、甲基紫、乙基紫、二氯萤光黄作指示剂的滴定法等,这些方法对于硫酸酯盐、磺酸盐、苯磺酸盐类表面活性剂,一般终点较明显... 分析阴离子表面活性剂活性物浓度,一般有亚甲基兰法,海明1622混合指示剂两相滴定法,对甲苯胺法,以及其他如溴酚兰、甲基紫、乙基紫、二氯萤光黄作指示剂的滴定法等,这些方法对于硫酸酯盐、磺酸盐、苯磺酸盐类表面活性剂,一般终点较明显,结果较满意。 展开更多
关键词 电导滴定法 磷酸酯钾盐 活性物
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AEO-3磷酸酯的可控制备及其钾盐在抗静电剂领域的应用
14
作者 张雪丰 禄倩倩 +3 位作者 庄耀中 张凤鸣 马剑斌 杨振宇 《纺织科学与工程学报》 CAS 2024年第3期13-18,共6页
化学纤维由于本身吸湿性差,在纺丝过程中容易产生静电,需要添加纺丝油剂,抗静电剂作为纺丝油剂的重要组成成分,对于纺丝工艺和后道加工具有重要意义。以AEO-3为原料、P_(2)O_(5)为磷酸化试剂,经过酯化、水解和中和等步骤制备了AEO-3磷... 化学纤维由于本身吸湿性差,在纺丝过程中容易产生静电,需要添加纺丝油剂,抗静电剂作为纺丝油剂的重要组成成分,对于纺丝工艺和后道加工具有重要意义。以AEO-3为原料、P_(2)O_(5)为磷酸化试剂,经过酯化、水解和中和等步骤制备了AEO-3磷酸酯钾盐型抗静电剂,主要探究了对合成工艺影响最大的投料比、酯化时间和水解时间对产物中单酯、双酯、游离磷酸、电导率和表面张力等的影响规律,实验结果表明:当AEO-3和P_(2)O_(5)的投料比为3:1、酯化时间为4 h,水解时间为4 h时,所制备的AEO-3磷酸酯钾盐型抗静电剂的效果最好,此时单酯含量高达62.4%,双酯含量为31.5%,1%含固量水溶液的电导率高达1702 us/cm,表面张力为30.6 mN/m,具有良好的抗静电效果。另外,该抗静电剂与化纤油剂主要成分矿物油(10#和15#白油)、月桂醇油酸脂等的相溶性好,具有实际应用价值。 展开更多
关键词 AEO-3磷酸酯钾盐 抗静电剂 表面活性剂 可控工艺 化纤油剂
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烷基磷酸酯与共轭亚油酸形成杂化囊泡的研究 被引量:1
15
作者 梁潇丹 程若辉 +3 位作者 方云 樊晔 张豪杰 何怡静 《日用化学工业》 CAS CSCD 北大核心 2017年第5期241-245,共5页
脂肪酸囊泡(FAV)的中空壳核结构能够包埋活性分子。为改善FAV仅在其p Ka附近形成的缺陷,以拓宽FAV的应用范围,将安全性和温和性阴离子表面活性剂烷基磷酸酯钾盐(MAPK)添加到共轭亚油酸中,通过动态激光光散射(DLS)和透射电子显微镜(TEM)... 脂肪酸囊泡(FAV)的中空壳核结构能够包埋活性分子。为改善FAV仅在其p Ka附近形成的缺陷,以拓宽FAV的应用范围,将安全性和温和性阴离子表面活性剂烷基磷酸酯钾盐(MAPK)添加到共轭亚油酸中,通过动态激光光散射(DLS)和透射电子显微镜(TEM)研究了囊泡化的pH窗口,发现9%MAPK存在时就可以在中性至酸性环境中形成杂化FAV,不明显改变原有FAV的形貌及粒径,且随着MAPK添加量的增大,杂化FAV的pH窗口有逐渐拓宽的趋势。这一结果显示了杂化FAV在化妆品和个人卫生护理用品等领域的应用前景。 展开更多
关键词 烷基磷酸酯钾盐 脂肪酸囊泡 化妆品 个人卫生护理用品
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壬基酚聚氧乙烯磷酸盐催化乙氧基化反应
16
作者 邓启刚 宋伟明 郎咸坤 《齐齐哈尔大学学报(自然科学版)》 2004年第3期1-3,共3页
以壬基酚聚氧乙烯醚(NP-4)为原料合成了壬基酚聚氧乙烯醚磷酸酯钾盐,用电位滴定法测定了单双酯的含量,并分别用于催化乙氧基化反应。通过色质连用仪测定了乙氧基化产物的分子量分布。研究结果表明,当n(壬基酚聚氧乙烯醚(NP-4))n(五氧化... 以壬基酚聚氧乙烯醚(NP-4)为原料合成了壬基酚聚氧乙烯醚磷酸酯钾盐,用电位滴定法测定了单双酯的含量,并分别用于催化乙氧基化反应。通过色质连用仪测定了乙氧基化产物的分子量分布。研究结果表明,当n(壬基酚聚氧乙烯醚(NP-4))n(五氧化二磷)=12,在700C下反应5h,单酯的含量为75%.以其钾盐(cat-1)为催化剂,当n(正辛醇)n(环氧乙完(EO))=14,催化剂用量为0.5%,在1500C下反应5h,正辛醇的转化率可达到90%,同时乙氧基化产物的分子量分布选择性指标是相同条件下NaOH为催化剂的1.7倍。 展开更多
关键词 壬基酚聚氧乙烯醚磷酸酯钾盐 乙氧基化 单酯 催化
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表面活性剂对黄芩苷微波萃取的影响 被引量:10
17
作者 龚盛昭 程江 杨卓如 《日用化学工业》 CAS CSCD 北大核心 2005年第1期23-26,共4页
研究了表面活性剂对微波萃取黄芩苷的影响,筛选出对微波萃取黄芩苷具有明显协同作用的表面活性剂———单烷基磷酸酯钾盐(MAPK)。通过试验,得到MAPK协同微波萃取黄芩苷的较佳工艺:以质量分数为0 15%的MAPK水溶液为萃取剂,微波300W萃取2... 研究了表面活性剂对微波萃取黄芩苷的影响,筛选出对微波萃取黄芩苷具有明显协同作用的表面活性剂———单烷基磷酸酯钾盐(MAPK)。通过试验,得到MAPK协同微波萃取黄芩苷的较佳工艺:以质量分数为0 15%的MAPK水溶液为萃取剂,微波300W萃取2次,每次按m(萃取剂)∶m(黄芩粉)=10∶1加入萃取剂,萃取4min。萃取液用质量分数为15%的HCl调pH=1~2,析出沉淀,过滤,滤饼用水洗和乙醇洗,干燥,即得黄芩苷粗产品,收率为6 8%,黄芩苷质量分数约为88 1%。结果表明:MAPK能降低微波功率,缩短微波辐射时间,并能提高黄芩苷的收率和纯度,对微波萃取黄芩苷具有明显的协同作用。 展开更多
关键词 阴离子表面活性剂 单烷基磷酸酯钾盐 黄芩苷 微波萃取
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涤纶短纤纺丝油剂 被引量:3
18
作者 徐国玢 林景和 《合成纤维工业》 CAS CSCD 1989年第6期51-55,共5页
本文论述了性能优异的涤纶短纤油剂的几个主要技术问题:①烷基磷酸酯钾盐是涤纶短纤油剂主组分。控制其单酯、双酯、聚酯比例是烷基磷酸酯钾盐质量的关键,因它直接影响乳液稳定性和纤维上油均匀性;②原料脂肪醇内烷烃的含量不应超过5%,... 本文论述了性能优异的涤纶短纤油剂的几个主要技术问题:①烷基磷酸酯钾盐是涤纶短纤油剂主组分。控制其单酯、双酯、聚酯比例是烷基磷酸酯钾盐质量的关键,因它直接影响乳液稳定性和纤维上油均匀性;②原料脂肪醇内烷烃的含量不应超过5%,因烷烃不参与酯化反应,水溶性差。脂肪醇原料碘值要求在0.2以下,如超过此值需用次亚磷酸处理才可得到较好的色泽;③油剂组分中添加少量脂肪族类氧化胺作为抗静电辅助剂,可在低湿下得到抗静电效果;④油剂组分中添加特种烷基磷酸酯,可增加油剂固体状性能,从而改善油剂在纤维表面的状态,使粘性上升,集束性增加。通过上述措施,所得的涤纶短纤油剂在棉纺厂后加工中,有较好的气候适应性,克服了高湿条件下由于吸湿发粘而引起绕龙头、绕罗拉、堵喇叭口,低湿条件下由于湿度低抗静电不良而引起的粘卷、绕西林、棉网上飘下吸、绕罗拉、粗纺涌头等常见通病。 展开更多
关键词 烷基磷酸酯钾盐 纺丝油剂 涤纶短纤 发粘 脂肪醇 辅助剂 气候适应性 单酯 碘值 固体状
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大容量涤纶短纤维油剂的研制及应用 被引量:2
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作者 杨毓莹 舒建生 +1 位作者 戴伊萍 沙晓祥 《合成纤维工业》 CAS CSCD 北大核心 2003年第6期8-10,共3页
研究了大容量高速纺丝的涤纶短纤维用油剂JDS -2 0 5 /JDS -2 0 6配方。该油剂中含有特种结构的烷基磷酸酯钾盐和烷基胺聚氧乙烯醚单体。该油剂经过了 1,7.5 ,3 0kt/a装置的工业应用和纺纱评价 ,在3 0kt/a大容量涤纶短纤维工业装置上应... 研究了大容量高速纺丝的涤纶短纤维用油剂JDS -2 0 5 /JDS -2 0 6配方。该油剂中含有特种结构的烷基磷酸酯钾盐和烷基胺聚氧乙烯醚单体。该油剂经过了 1,7.5 ,3 0kt/a装置的工业应用和纺纱评价 ,在3 0kt/a大容量涤纶短纤维工业装置上应用获得成功。 展开更多
关键词 涤纶短纤维 油剂 配方 纺丝 烷基磷酸酯钾盐 烷基胺聚氧乙烯醚单体
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PK系列二型抗静电剂的研制
20
作者 陈淑芬 柴瑞田 《表面活性剂工业》 1992年第3期24-29,共6页
关键词 抗静电剂 烷基 磷酸酯钾盐 PK系列
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