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离化团粒束沉积技术中Te团粒的形成
1
作者
王惠三
《等离子体应用技术快报》
1996年第1期4-5,共2页
关键词
薄膜
离化团粒束
半导体膜
碲
团粒
沉积
下载PDF
职称材料
离化团粒束:物理和技术
2
作者
Yamada,I
华和
《国外核聚变与等离子体应用》
1994年第3期43-65,共23页
关键词
团粒
离化团粒束
沉积
薄膜生长
下载PDF
职称材料
离化团粒束系统生成的铁电PbTiO3膜的性能
3
作者
王惠三
《等离子体应用技术快报》
1994年第9期14-15,共2页
关键词
薄膜沉积技术
铁电薄膜
离化团粒束
系统
钛酸铅
下载PDF
职称材料
用离化团粒束实现反应性加速团粒腐蚀
4
作者
肖旭萍
《等离子体应用技术快报》
1996年第12期7-7,共1页
关键词
离化团粒束
团粒
腐蚀
等离子体沉积
下载PDF
职称材料
离化的团粒束沉积镀膜技术
5
作者
王漫
《国外核聚变与等离子体应用》
1992年第4期49-60,共12页
关键词
离化团粒束
沉积
薄膜
镀膜
下载PDF
职称材料
题名
离化团粒束沉积技术中Te团粒的形成
1
作者
王惠三
出处
《等离子体应用技术快报》
1996年第1期4-5,共2页
关键词
薄膜
离化团粒束
半导体膜
碲
团粒
沉积
分类号
TN304.055 [电子电信—物理电子学]
O484.1 [理学—固体物理]
下载PDF
职称材料
题名
离化团粒束:物理和技术
2
作者
Yamada,I
华和
出处
《国外核聚变与等离子体应用》
1994年第3期43-65,共23页
关键词
团粒
离化团粒束
沉积
薄膜生长
分类号
O484.1 [理学—固体物理]
下载PDF
职称材料
题名
离化团粒束系统生成的铁电PbTiO3膜的性能
3
作者
王惠三
出处
《等离子体应用技术快报》
1994年第9期14-15,共2页
关键词
薄膜沉积技术
铁电薄膜
离化团粒束
系统
钛酸铅
分类号
TN304.26 [电子电信—物理电子学]
下载PDF
职称材料
题名
用离化团粒束实现反应性加速团粒腐蚀
4
作者
肖旭萍
出处
《等离子体应用技术快报》
1996年第12期7-7,共1页
关键词
离化团粒束
团粒
腐蚀
等离子体沉积
分类号
TG174.442 [金属学及工艺—金属表面处理]
下载PDF
职称材料
题名
离化的团粒束沉积镀膜技术
5
作者
王漫
出处
《国外核聚变与等离子体应用》
1992年第4期49-60,共12页
关键词
离化团粒束
沉积
薄膜
镀膜
分类号
TG174.44 [金属学及工艺—金属表面处理]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
离化团粒束沉积技术中Te团粒的形成
王惠三
《等离子体应用技术快报》
1996
0
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职称材料
2
离化团粒束:物理和技术
Yamada,I
华和
《国外核聚变与等离子体应用》
1994
0
下载PDF
职称材料
3
离化团粒束系统生成的铁电PbTiO3膜的性能
王惠三
《等离子体应用技术快报》
1994
0
下载PDF
职称材料
4
用离化团粒束实现反应性加速团粒腐蚀
肖旭萍
《等离子体应用技术快报》
1996
0
下载PDF
职称材料
5
离化的团粒束沉积镀膜技术
王漫
《国外核聚变与等离子体应用》
1992
0
下载PDF
职称材料
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