微波协同有机膨润土一体化工艺处理中性红染料废水的研究

分别用阳离子表面活性剂氯化十六烷基吡啶(CPC)、溴化十六烷基三甲铵(CTMAB)与两种膨润土组合,并引入微波于一体化工艺中处理染料废水,采用正交实验选择一种较好组合。通过单因素影响分析,对比研究了微波辐照和常规振荡条件下,CPC有机膨润土合成—废水处理一体化工艺吸附中性红的适宜条件、性能及作用机理;并与振荡条件下活性炭对中性红的脱色效果作比较。结果表明:CPC浓度120mg/L(28%CEC),一体化工艺脱色效果明显高于活性炭吸附工艺,微波工艺的处理效果略优于振荡工艺。

电非对称双频容性耦合CF_4/Ar放电电极间距对放电模式和刻蚀剖面的影响

容性耦合等离子体技术广泛应用在半导体工业、生物医药、环境等领域,是不可替代的核心处理技术.基于电非对称双频源驱动的容性耦合等离子体因其可以实现离子能量和离子通量的相对独立调控而一直被寄予厚望.本文采用一维流体耦合蒙特卡罗模型和刻蚀槽模型,对基于电非对称效应的双频容性耦合CF_4/Ar混合气体放电进行了模拟研究.研究表明,随着电极间距的增大,自偏压的绝对值和电负性均减小.此外,由于放电区域变大但边界损失保持不变,会导致外部馈入功率显著增加和等离子体密度增大.本文采用CF_4/Ar混合气体,其中Ar含量很高,气体电负性不是很高,因此放电模式在不同的电极间距下都是a模式和双极扩散模式的共同作用.在电极间距逐渐变大的过程中,因为自偏压的变化导致离子能量分布中最大离子能量减小并且离子能量展宽变窄,功率极板处离子通量的变化不明显,中性基团通量的增大十分显著,这些变化最终导致相同时间内的刻蚀速率和形貌发生改变.所以,在未来研究中,不仅离子能量和通量的独立控制,优化离子通量和中性基团通量的协同作用达到调节刻蚀速率、改善刻蚀形貌同样是重要研究内容.