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离子投影光刻
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作者 AlfredA.Mondeli IvanL.Berry 《电子工业专用设备》 1998年第3期54-59,共6页
对于013μm以下几何作图,离子投影光刻是一种适用的技术。该技术没有光学衍射局限性和电子光刻接近效应,并能使几何图形缩减,进行动态畸变校正。欧州的研究计划正在寻求解决IPL方面的技术难题。
关键词 离子投影光刻 IPL 光刻技术
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现代光刻技术 被引量:6
2
作者 陈大鹏 叶甜春 《核技术》 CAS CSCD 北大核心 2004年第2期81-86,共6页
作为当前集成电路制造的主流技术,光学光刻在趋近其分辨力极限的同时,面临着越来越大的挑战,即便在波前工程和分辨力增强技术的帮助下,光学光刻的分辨力也难以满足快速发展的半导体产业的技术需求。接近式 X 射线光刻技术(XRL)、散射角... 作为当前集成电路制造的主流技术,光学光刻在趋近其分辨力极限的同时,面临着越来越大的挑战,即便在波前工程和分辨力增强技术的帮助下,光学光刻的分辨力也难以满足快速发展的半导体产业的技术需求。接近式 X 射线光刻技术(XRL)、散射角限制电子束投影光刻技术(SCALPEL)、电子束直写光刻技术(EBDW)、极紫外线即软 X 射线投影光刻技术(EUVL)、离子投影光刻技术(IPL)等下一代光刻技术(NGL)将会在特征线宽为 100—70 nm 的技术节点介入集成电路制造的主流技术中。从目前 NGL 技术发展的趋势和市场需求的多元化来看,竞争的结果很可能是各种 NGL 技术并存。当特征尺寸进入纳米尺度(≤100 nm)以后,最终只有那些原子级的成像技术才能成为胜者。 展开更多
关键词 光刻 分辨力 X射线光刻技术 电子束直写 极紫外线投影光刻 离子投影光刻
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21世纪微电子光刻技术 被引量:4
3
作者 姚汉民 刘业异 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2001年第10期47-51,73,共6页
介绍了248nm,193nm。
关键词 准分子激光投影光刻 X射线光刻 极紫外光刻 电子束投影光刻 离子投影光刻 微电子 光刻技术
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纳米制造和测量技术产业化的研究
4
作者 李文萍 顾文琪 《光电工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第12期15-18,22,共5页
从加工尺度的连续性和加工技术的完整性这一新的角度,分析了纳米加工产业化面临的问题,并提出了相应的解决方案一多离子柬聚焦投影技术。多离子柬聚焦投影技术将填补传统微机加工技术和半导体图形技术之间0.5~5μm的加工空白,并会... 从加工尺度的连续性和加工技术的完整性这一新的角度,分析了纳米加工产业化面临的问题,并提出了相应的解决方案一多离子柬聚焦投影技术。多离子柬聚焦投影技术将填补传统微机加工技术和半导体图形技术之间0.5~5μm的加工空白,并会在1~100nm尺度间实现自上至下技术和自下至上技术的有机结合。纳米测量技术产业化的研究中,以提高扫描探针技术的样品质量作为出发点。在聚焦离子束和扫描电镜平台上集成Ar离子束的“三束”显微镜能有效降低样品的损伤,大大推动了纳米测量技术的发展。 展开更多
关键词 离子束聚焦投影 掩模板 纳米制造 纳米测量
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新一代光刻技术探讨 被引量:1
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作者 青山 《电子信息(印制电路与贴装)》 2000年第1期38-40,共3页
关键词 光刻技术 限极紫外光 X射线 离子投影
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下一代光刻技术展望 被引量:2
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作者 温尚明 袁大发 +2 位作者 唐勇 孙秋燕 白德开 《光电工程》 CAS CSCD 1999年第S1期161-167,共7页
介绍了下一代光刻技术的技术要点,国外研究概况和进展。重点讨论了极紫外(软X射线)光刻、电子束光刻和离子束光刻技术的进展,提出了我国开展下一代光刻技术研究的技术路线。
关键词 极紫外光刻 X射线光刻 电子束光刻 离子投影光刻
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Generalized Quantum Two-Qutrit-State Splitting 被引量:2
7
作者 YUAN Hao LIU Yi-Min ZHANG Zhan-Jun 《Communications in Theoretical Physics》 SCIE CAS CSCD 2008年第10期873-878,共6页
A three-party scheme for splitting an arbitrary unknown two-qutrit state is proposed,where two non-maximally-entangled three-qutrit states are taken as the quantum channel among three parties.With the sender'shelp... A three-party scheme for splitting an arbitrary unknown two-qutrit state is proposed,where two non-maximally-entangled three-qutrit states are taken as the quantum channel among three parties.With the sender'shelp,if and only if both receivers collaborate together,they can securely share the quantum state in a probabilisticway by introducing an ancilla qutrit and performing appropriate unitary operations.The relation between the successprobability and coefficients characterizing the quantum channel is revealed.The security of the present scheme is analyzedand confirmed.Moreover,the generalization of the three-party scheme to more-party case is also sketched. 展开更多
关键词 generalized quantum state splitting partially entangled state generalized Bell-state measurement single-qutrit projective measurement
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