期刊文献+
共找到1篇文章
< 1 >
每页显示 20 50 100
探讨用最巨大仪器研究最微小粒子(四) nm工艺流程仪器及代工全球60%芯片制造的tsmc-OEM模式制造“智能”(上)
1
作者 沈经 《仪器仪表标准化与计量》 2018年第4期1-1,2-8,共8页
3个模糊观念:1)重视"智能制造"忽视制造"智能",2)把"铸造厂的foundry"与"VLSI的OEM"都看成"代工",3)把高技术知识产权的核心价值看成"附加值",令人热衷于劳动力密集型代工... 3个模糊观念:1)重视"智能制造"忽视制造"智能",2)把"铸造厂的foundry"与"VLSI的OEM"都看成"代工",3)把高技术知识产权的核心价值看成"附加值",令人热衷于劳动力密集型代工。30年后,该升级到制造"智能"即VLSI芯片制造。介绍制造全球60%VLSI名牌芯片的张忠谋博士56岁创"tsmc-OEM"模式代工及nm工艺流程的仪器群。 展开更多
关键词 光刻 电子摇摆器 极紫外 离子束注入参杂 晶网 大规模集成电路 原始设计制造商
下载PDF
上一页 1 下一页 到第
使用帮助 返回顶部