离子注入机离子束生成系统的原理及维修

介绍了离子注入机的整体结构及典型离子束生成系统的结构与工作原理。以表格的形式给出了常见的故障现象、可能原因及处理方法,对未来离子束生成系统的维修具有一定的指导作用。